ESD靜電設(shè)備產(chǎn)品檢測(cè)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)

1、1.目的:1.11.2編擬本靜電防護(hù)外圍環(huán)境設(shè)施檢測(cè)辦法是要以一有系統(tǒng)之管制方式，以求達(dá)到本廠靜電防護(hù)設(shè)備之完善管理檢測(cè)系統(tǒng)避免經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間使用，防護(hù)設(shè)備或材料由于自然或人為之破壞以致喪失其ESD乍用.2.范圍:適用于XX電子有限公司，保護(hù)ESD敏感性電子組件及產(chǎn)品所使用的所有相關(guān)材3.權(quán)責(zé):3.1工程部：負(fù)責(zé)制訂靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)規(guī)范3.2各相關(guān)部門(mén)：依循靜電防護(hù)外圍設(shè)施材料檢測(cè)辦法實(shí)施，及相關(guān)資料歸檔.4.參考文件:4.1 ANSI/EIA-6254.2 ANSI/ESD S20.20-1999靜電放電電壓過(guò)應(yīng)力5.定義及相關(guān)朮語(yǔ):5.1 ESD(Electrostatic Disch

2、arge):5.2 EOS(Electrical Over Stress):5.3 CGP( Com mon Grou nd P oi nt共同接地點(diǎn)5.4 EP A(ESD P rotected Area) 靜電防護(hù)區(qū)6流程圖:6.1 無(wú).7內(nèi)容7.1.導(dǎo)電地板測(cè)試Floor Materials test spec:Resista nee to Gro und poi nt : 10 4 Q - 106 QResista nee top to top :10 4 Q - 106 Q測(cè)試儀器:數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓:10V）9閘:舊7.1.1測(cè)試方法7.1.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥

3、至10伏檔位.7.1.1.2用潮濕的抹布將地面和雙錘擦拭干淨(jìng).7.1.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀，分別將雙錘放在地板上或一端放在地板上另一端接接地測(cè)試點(diǎn).（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò) 90cm）7.1.1.4按住測(cè)試鍵（約3秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.1.2作業(yè)規(guī)范7.121平均每1000平方英尺必須有壹個(gè)測(cè)試點(diǎn).7.1.2.2地板檢測(cè)及清洗周期為每30天1次.7.1.2.3地板清洗時(shí)需先用洗地機(jī)將地板澈底洗干凈，再進(jìn)行打臘將地板表面恢復(fù)原貌及光亮的最佳方式，打臘后的地板須經(jīng)ESD僉測(cè)合格 方可.7.2 ESD接地系統(tǒng)量測(cè)ESD Common Ground test sp ec:ESD

4、Ground Resistance:R >10 Q測(cè)試儀器：MK-8406 數(shù)顯 Ground System Monitor7.2.1測(cè)試方法721.1插上電源，按下極性選擇開(kāi)關(guān)，此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試，否則表示接線極性錯(cuò)誤.7.2.1.2開(kāi)啟主機(jī)電源，此時(shí)屏幕顯示OPEN FAIL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.721.3插入測(cè)試線，并將測(cè)試末端之鱷魚(yú)夾夾在欲測(cè)的接地在線7.2.1.4警報(bào)聲隨即停止，此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及 OK字樣.7.2.2作業(yè)規(guī)范7.2.2.1生產(chǎn)線ESDX作站變更時(shí)，變更產(chǎn)線之部門(mén)應(yīng)及時(shí)通知部門(mén) ESD負(fù)責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè)；否則后果由變更部門(mén)負(fù)責(zé).7.222 ESD接地系統(tǒng)檢

5、測(cè)周期為每30天1次.7.3設(shè)備接地系統(tǒng)量測(cè)Device Ground test sp ec:Device Ground Resistance:R > 10 Q測(cè)試儀器：MK-8406 數(shù)顯 Ground System MonitorIhlL H-ILIi731測(cè)試方法731.1插上電源，按下極性選擇開(kāi)關(guān)，此時(shí)極性燈亮方可測(cè)試，否則表示接線極性錯(cuò)誤.731.2開(kāi)啟主機(jī)電源，此時(shí)屏幕顯視OPEN FAIL字樣,且有警報(bào)聲伴隨.7.3.1.3插入測(cè)試線，并將測(cè)試末端之鱷魚(yú)夾夾在欲測(cè)試的機(jī)器外殼上7.3.1.4警報(bào)聲隨即停止，此時(shí)屏幕顯示出測(cè)試值及 OK字樣.7.3.2作業(yè)規(guī)范7.3.2.1生

6、產(chǎn)線的設(shè)備變更時(shí)，變更產(chǎn)線之部門(mén)應(yīng)及時(shí)通知部門(mén) ESD負(fù)責(zé)人對(duì)其重新檢測(cè)；否則后果由變更部門(mén)負(fù)責(zé).7.3.2.2 設(shè)備接地檢測(cè)周期為每30天1次.7.4靜電衣帽測(cè)試An tistatic Smock test spec:Resista nee An tistatic Smock top :1069Q 10 Q一丄741測(cè)試方式741.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.4.1.2用潮濕的抹布將鉛錘擦拭干淨(jìng).7.4.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀，將衣服展開(kāi)平放于普通絕緣桌面上.7.4.1.4分別將雙錘放在衣服的兩個(gè)袖口除處 （注意兩錘間的距離保持在90c m 內(nèi)）.7.4.1.5按住測(cè)試鍵（約3

7、秒）后，讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.4.2驗(yàn)收規(guī)范7.4.2.169靜電衣帽驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)值為10 Q 10 Q .742.2靜電衣帽驗(yàn)收量為5%（含 100件內(nèi)）;驗(yàn)收時(shí)出現(xiàn)0.5%不良時(shí)應(yīng)及時(shí)給予判退貨.742.3在線作業(yè)員靜電衣檢測(cè)周期為每 30天1次.7.5導(dǎo)電車(chē)測(cè)試49Q 10 QCon ductive Racks Mats test spec:Resista nee Con ductive Racks Mats top :10測(cè)試儀器：數(shù)顯式雙錘表面阻抗測(cè)試器（測(cè)試電壓：100V）7.5.1測(cè)試方式7.5.1.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.7.5.1.2用潮濕的抹布將車(chē)子表面和鉛錘

8、擦拭干淨(jìng).7.5.1.3連接表面阻抗測(cè)試儀，分別將雙錘一端放在車(chē)子上另一端放在導(dǎo)電地板上.（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò)30cm）7.5.1.4按住測(cè)試鍵（約5秒）后，讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.5.2作業(yè)規(guī)范7.5.2.1導(dǎo)電車(chē)必須在規(guī)定的日期內(nèi)按控管標(biāo)簽準(zhǔn)時(shí)檢測(cè)檢測(cè)，否則后果由使用部門(mén)負(fù)責(zé).7.522導(dǎo)電車(chē)的導(dǎo)電輪必須每30天清洗1次.7.5.2.3導(dǎo)電車(chē)檢測(cè)周期為每30天1次.7.6導(dǎo)電桌墊測(cè)試Con ductive Table test sp ec:69Resista nee Table top :10 Q - 10 Q761測(cè)試方法761.1將表面阻抗測(cè)試儀撥之100伏檔位.761.2

9、用潮濕的抹布將桌墊表面和鉛錘擦拭干淨(jìng)7.6.1.3接表面阻抗測(cè)試儀，分別將雙錘放在桌墊上或一端放在桌墊上另一端接ESD接地點(diǎn).（注意兩測(cè)試點(diǎn)的距離不可超過(guò) 90cm）7.6.1.4按住測(cè)試鍵（約5秒）后,讀取儀器上所顯示的數(shù)值.7.6.2作業(yè)規(guī)范7.6.2.1桌墊檢測(cè)周期為每個(gè)月1次.7.622導(dǎo)電桌墊必須經(jīng)1MQ的電阻接地，且每日上班前要對(duì)其進(jìn)行清潔.7.623工作臺(tái)或流水線之桌墊在2米內(nèi)必須有一接地線接地.7.7導(dǎo)電容器（料盒，導(dǎo)電箱）的測(cè)試An tistatic Container test spec:46Resista nee Con tai ner top :10Q 10 Q測(cè)試儀器

10、:簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀7.7.1測(cè)試方法7.7.1.1用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干淨(jìng).7.7.1.2將表面阻抗測(cè)試儀放置與待測(cè)物體上（注意：測(cè)試儀背面導(dǎo)電軌7.7.1.37.7.2作業(yè)規(guī)范7.7.2.17.722要與被測(cè)物體充分接觸）.按下面板上的TEST鍵,讀取LED丁亮處所顯示的值.所有物料在ESD防護(hù)區(qū)內(nèi)必須做好靜電防護(hù)動(dòng)作.（如:包裝或儲(chǔ)存時(shí)使用靜電屏蔽袋，翠盤(pán),真空包裝袋，靜電泡棉；運(yùn)輸時(shí)使用靜電箱，導(dǎo)電料盒，導(dǎo)電車(chē)；維修及作業(yè)時(shí)使用導(dǎo)電毛刷，防靜電溶劑瓶，導(dǎo)電鑷子，防靜電套板）.所有容易產(chǎn)生靜電的物料或絕緣材質(zhì)必須使用離子風(fēng)扇7.8其它靜電產(chǎn)品的測(cè)試911屏蔽袋：10 Q - 10

11、 Q911輸送帶：10 Q - 10 Q46鑷子：10 Q 10 Q69手套：10 Q 10 Q宀 911泡棉：10 Q - 10 Q46毛刷：10 Q - 10 Q911溶劑瓶：10 Q - 10 Q46瓦楞紙：10 Q - 10 Q測(cè)試儀器：簡(jiǎn)易型表面阻抗測(cè)試儀mm , 7.8.1測(cè)試方法781.1用潮濕的抹布將待測(cè)物體擦拭干淨(jìng).781.2將表面阻抗測(cè)試儀放置待測(cè)物體上（注意：測(cè)試儀背面的導(dǎo)電軌要與被測(cè)物體充分接觸）.7.8.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED丁亮處所顯示的值.7.8.2作業(yè)規(guī)范7.8.2.1 ESD防護(hù)區(qū)外嚴(yán)禁使用不防靜電和靜電放電物質(zhì)來(lái)貯存（普通塑料袋,塑料盒,普

12、通泡棉）所有容易產(chǎn)生靜電或靜電放電的物品（如: 塑料袋，梳子）未經(jīng)ESD人員確認(rèn)嚴(yán)禁帶入ESD防護(hù)區(qū)內(nèi).7.822 ESD 防護(hù)區(qū)外物料包裝或儲(chǔ)存時(shí)使用靜電屏蔽袋，真空包裝袋；運(yùn)輸時(shí)使用靜電箱，導(dǎo)電料盒，導(dǎo)電車(chē).7.9各設(shè)備的EOS測(cè)試（烙鐵頭、輸送帶、屏幕接頭、電動(dòng)起子)791.1取三用電表將指針播到AC250V上檔位.7.9.1.2將紅棒接到待測(cè)設(shè)備外殼.791.3黑棒分別接觸電源接座的基準(zhǔn)線孔、大地孔及ESD接地線.7.9.1測(cè)試方法i得到三個(gè)數(shù)值，記錄于EOS僉查記錄表.基準(zhǔn)線大地孔ESD接地線正常數(shù)值應(yīng)小5.5V（如果 大于標(biāo)準(zhǔn)值既為漏電，原因 是大地孔未接地）正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V

13、正常數(shù)值應(yīng)小于0.3V7.9.1.47.9.2作業(yè)規(guī)范7.9.2.1每日上班前各線全能員必須對(duì)其在線治、工具及進(jìn)行EOS僉測(cè),并認(rèn)真填寫(xiě)記錄.7.9.2.2領(lǐng)班在線檢測(cè)過(guò)程如有發(fā)現(xiàn)漏電時(shí)應(yīng)及時(shí)反應(yīng)給部門(mén)負(fù)責(zé)人7.10靜電手環(huán)（腳環(huán)）檢驗(yàn).7.10.1 測(cè)試方法7.10.1.1將有線靜電環(huán)內(nèi)部金屬片緊貼檢驗(yàn)者手腕上7.10.1.2靜電環(huán)鱷魚(yú)夾子與靜電儀夾子相交 (手不要觸碰夾子相結(jié)處 , 以免測(cè)試不準(zhǔn)確 )7.10.1.3另一只手按下“ PRESS HER”E 檢測(cè)結(jié)果如下 :中間綠燈亮(GOOD且有響聲:靜電環(huán)回路檢測(cè)正常左邊紅燈亮 (HIGH):靜電環(huán)阻抗偏高右邊紅燈亮 (LOW):靜電環(huán)阻

14、抗偏低7.10.2 作業(yè)規(guī)范7.10.2.1靜電手環(huán)的佩戴和檢測(cè)時(shí)內(nèi)部金屬片必須緊貼皮膚7.10.2.2靜電環(huán)在作業(yè)當(dāng)中嚴(yán)禁擅自借給他人使用7.10.2.3每次檢測(cè)前，請(qǐng)先用800Kohm和lOMohm標(biāo)準(zhǔn)電阻件對(duì)其靜電環(huán)測(cè)試儀進(jìn)行驗(yàn)證 .7.11 導(dǎo)電鞋檢驗(yàn) .7.11.1 測(cè)試方法7.11.1.1先將兩腳站于踏板上 , 按下測(cè)試按鈕 .7.11.1.2亮綠燈(PASS)時(shí),表示導(dǎo)電鞋良好.7.11.1.3亮紅燈(HI-FAIL)或紅燈(LOW-FAIL)時(shí)，表示導(dǎo)電鞋不良應(yīng)立即更換. !_-77.11.2作業(yè)規(guī)范7.1121導(dǎo)電鞋檢測(cè)時(shí)，請(qǐng)勿將鞋子濕水，以免測(cè)試不準(zhǔn)確.7.11.2.2 所有人員（包括來(lái)賓）進(jìn)入EPA生產(chǎn)車(chē)間時(shí)必須做導(dǎo)電鞋檢測(cè)，否則嚴(yán)禁入內(nèi).7.11.2.3導(dǎo)電鞋檢測(cè)時(shí)嚴(yán)禁代替他人做測(cè)