管式擴散爐操作規(guī)程

1、武漢珈偉科技有限公司文件編號：WI-版本/修訂：A /0文件 名稱管式擴散爐操作規(guī)程頁碼：1/ 5生效日期：2006年7月18日1. 工藝控制軟件的使用1.1 軟件的啟動按下“上電”按鈕，啟動工控計算機，雙擊“擴散監(jiān)控系統(tǒng)”圖標后啟動工藝控制軟件，啟動軟件后，程序進入 登錄界面，選擇用戶名，輸入密碼，即可登陸。如果修改密碼，則先輸入原密碼，再在相應(yīng)的惡框內(nèi)輸入新密碼，按確認后就可完成修改。正確輸入密碼登錄后，進入手動操作界面。1.2 溫度設(shè)置界面上有三個模擬溫度控制器圖形，分別對應(yīng)擴散爐的三端溫度控制器。溫度控制器圖形中第一行三個綠色的示值為左、中、右三個溫區(qū)的控溫熱電偶測量值。三個熱電偶之間

2、的區(qū)域正是該設(shè)備的恒溫區(qū)。第二行的三個紅色 示數(shù)為溫度控制器的溫度設(shè)定值（SV值）。三個點的SV值可以單獨設(shè)置，主要供調(diào)試和維護所用，在自動運行界面中，沒有開放。溫度設(shè)定值在本窗口可以修改。修改方法：點擊溫度控制器上的SET按鈕，SV值的顏色改變，通過"+1"等按鈕進行修改數(shù)值，然后再次點擊SET按鈕，該端點的SV值將得到修改。1.3 手動界面的溫度曲線和流量曲線顯示在手動操作界面中有一個記錄并描敘溫度的曲線圖。橫坐標為時間軸，起始長度為1小時，記錄到一小時時，時 間區(qū)域長度自動翻倍，依次類推，一直記錄，在兩種情況下將自動停止：1 ）點擊“退出系統(tǒng)”按鍵，退出工作程序；2）

3、進入程序工藝運行（此時將啟動運行狀態(tài)下的溫度曲線記錄）。溫度曲線是控制熱電偶PV的溫度記錄，左端溫度記錄曲線顯示為白色線條，中點溫度記錄為紅線條，右端溫度記錄為綠線條。見面右上角顯示有系統(tǒng)時間，每月要注意將其與標準時間核對。本界面還有流量曲線顯示，操作同溫度曲線顯示，通過手動操作間界面上的“溫度曲線/流量曲線”進行溫度曲 線顯示和流量曲線顯示的裝換。1.4 閥動作設(shè)置在手動操作界面的中上部有系統(tǒng)的氣路總圖和氣路簡圖的顯示，兩者可以通過“氣路總圖/氣路簡圖）按鈕進行切換。在窗口的右下側(cè)，有一個“設(shè)置區(qū)域”，在該區(qū)域可對電磁閥狀態(tài)和氣體流量進行設(shè)置。設(shè)置鍵為右側(cè)中部的“+1”等按鍵。在設(shè)置02閥、

4、n2閥、小n2閥氣體閥門及流量時，相應(yīng)的氣體閥門將會打開，反映在屏幕上是氣體簡圖中的閥門將會改變顏色（綠色為開，紅色為關(guān)）。設(shè)置區(qū)右側(cè)是測量數(shù)值區(qū)，可以觀察到實際氣體流量的大小，顯示單位為L/min。1.5 舟動作設(shè)置界面的右下角，有一個“測量值區(qū)域”。顯示舟的狀態(tài)（舟前進、舟后退、舟停止、前限位、后限位），舟處于那個狀態(tài)，那個狀態(tài)就顯示紅色“ True”。在手動操作屏的舟移動上只需設(shè)置舟速并選擇前進或后退即可實現(xiàn)舟的自動動作。操作過程如下：1）點擊設(shè)置區(qū)域中的舟前進或舟后退，使其選中為有效，此時已紅色突出顯示。2）單擊設(shè)置區(qū)域中的舟速，使其選中為有效，然后通過軟鍵盤設(shè)置速度值。速度值允許輸入

5、05 0 0,單位 mm/Min，速度設(shè)置為0表示舟停止狀態(tài)，數(shù)值越大速度越快，但高速狀態(tài)下不利于周的運行平穩(wěn)，所以一般設(shè) 置在2 0 03 0 0之間。3）在舟的運行中，點擊“舟停止”按鍵，周立即停止運動。4 ）舟運動時，如果判斷到舟的限位開關(guān)被壓住，周將自動停止。1.6 調(diào)試恒溫區(qū)1）根據(jù)工藝要求在計算機上設(shè)置好所需的溫度值。編制：日期：審核：日期：批準：日期：武漢珈偉科技有限公司文件編號：WI-版本/修訂：A /0文件 名稱管式擴散爐操作規(guī)程頁碼：2/ 5生效日期：2006年7月18日2）按下面板上的“加熱開”按鈕。3）當爐溫達到設(shè)定溫度并穩(wěn)定后，用標準測溫系統(tǒng)先測三個點：恒溫區(qū)中點、左

6、端點、右端點（如800mm長的恒溫區(qū)，則測爐體中點及其左右 400mm處的兩點），根據(jù)測得溫度的高低，對相應(yīng)的溫控儀的溫度修正值做出 修改，修改后待溫度穩(wěn)定 10min后再測，經(jīng)多次反復(fù)到三點調(diào)平后，再將熱電偶放至爐體左端點處穩(wěn)定15分鐘以上，然后每隔3分鐘將熱電偶拉出 50mm，根據(jù)數(shù)字表的顯示情況再對相應(yīng)溫控儀的溫度修正值作適當調(diào)整。1.7 工藝編輯單擊“數(shù)據(jù)編輯”按鈕，程序進入集成工藝編輯屏。具體操作如下：打開工藝：如果想打開其它已經(jīng)編輯的工藝，只需在“打開工藝號”下拉框中選擇所需工藝號即可。打開其它工 藝時，當前編輯的工藝不保存。編輯工藝：編輯工藝數(shù)據(jù)時，先用鼠標點擊想要編輯數(shù)據(jù)的位置

7、，然后單擊軟鍵盤的相應(yīng)按鍵，即可編輯書記。程序的工藝最多為3 0步，每次顯示15部，按“下一頁” /"上一頁"切換。編輯時最好從第一步開始，先編輯工藝時間，只有工藝時間不為零時才可編輯該步其它工藝。設(shè)置推舟狀態(tài)，0表示停止，1表示前進，2表示后退。點擊“插入步”按鈕，將出現(xiàn)“插入步號”的下拉框，選好插入步號后點擊“確定”，即實現(xiàn)插入操作。刪除步驟方法相同。工藝保存：編輯完工藝后，在“編輯工藝號”下拉框中選擇希望保存的工藝號，然后點擊“存盤退出”，貝U工藝保存完畢。不想保存，則點擊“不存盤退出”，回到手動操作界面。設(shè)置工藝升溫過程時一般分如下步驟：第一步溫度設(shè)置為 40度，時

8、間1分鐘，即設(shè)備在常溫下停留1分鐘。第二步升溫，時間為目標溫度除以6,即升溫斜率為6度/分鐘。工藝曲線歷史記錄點擊手動界面的工藝曲線按鈕，進入打開歷史記錄屏：在工藝記錄屏，不要選擇盤符及目錄，使用系統(tǒng)默認的目標位置。選中文件，文件名為“年月日 -工藝號本日第n次運行此工藝號”。在左下方有相應(yīng)的文件資料。點擊“刪除”，可將選中文件刪除。點擊“返回”可退出本窗口。點擊“歷史數(shù)據(jù)”可查看工藝運行歷史數(shù)據(jù)，在工藝運行歷史數(shù)據(jù)記錄屏中可查看歷史時間點的各項參數(shù)，記錄每6秒為一個間隔。點擊“溫度曲線”可打開工藝運行歷史溫度曲線。點擊“轉(zhuǎn)換文件”按鈕，可把選定的記錄文件轉(zhuǎn)換成同名的Excel文件。1.8 工

9、藝運行點擊手動操作屏的“工藝運行”按鈕，進入操作人員運行登錄屏，輸入正確的工藝運行信息進入工藝運行窗口。在運行窗口左上側(cè)，是本步工藝信息；點擊“運行 ”按鈕，將切換為保持狀態(tài)，程序運行的所有倒計時停止， 其他一切如常，點擊“已保持 ”可切換至運行狀態(tài)。點擊“在線編輯”可對未運行的工藝步驟進行編輯。1.9 斷點啟動控制程序在工藝自動運行時如果中途退出或因斷電、死機等原因未能正常完成設(shè)定工藝，將自動生成斷點信息， 在手動操作屏中點擊“斷點啟動”可查看發(fā)生斷點時的各種工藝參數(shù)。點擊斷點啟動運行將直接進入自動運行屏繼續(xù)運行剩余的工藝。1.10報警顯示單擊手動操作屏的“報警窗口”按鈕，將在屏幕的氣路圖顯

10、示區(qū)域顯示系統(tǒng)的報警狀態(tài)，相應(yīng)項的燈為紅色的表示在報警。如果出現(xiàn)“控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常報警”，系統(tǒng)會自動地顯示報警窗口，只需單擊“報警窗口”按鍵就會解除報警狀態(tài)。1.11退出程序點擊手動操作屏中的“退出系統(tǒng)”按鈕，輸入正確的密碼后，點擊確定按鈕即結(jié)束控制程序，程序退出后溫度設(shè) 定不變，流量設(shè)定全部為 0。編制：日期：審核：日期：批準：日期：武漢珈偉科技有限公司文件編號：WI-版本/修訂：A /0文件 名稱管式擴散爐操作規(guī)程頁碼：3/ 5生效日期：2006年7月18日1.12程序操作注意事項1）嚴禁刪除計算機內(nèi)已經(jīng)安裝的各種軟件，需要重新安裝操作系統(tǒng)或本控制系統(tǒng)時，需由經(jīng)過培訓(xùn)的人員

11、進行。2）程序退出后將關(guān)閉所有的閥門及流量，推舟停止運行，溫控儀的各個參數(shù)將保持。3）如設(shè)備長時間不運行工藝，要關(guān)掉主機電源。運行本程序時禁止玩游戲和運行其他程序，未經(jīng)允許，不 得進行磁盤操作。2. 設(shè)備各個組件的使用2.1碳化硅槳的使用1 ）首次使用前清洗A濕法清洗：用 HF:HCL:H2O=1:1:4或1:1:10，然后在去離子水中徹底清潔漂洗。B干燥：產(chǎn)品濕洗之后進入高溫前必須經(jīng)過徹底干燥，在干凈的N2吹掃環(huán)境下，室溫干燥 24小時，或者在150度下干燥4小時，吹掃后必須以低速（小于8inch/min ）低溫（低于400C）的狀況下進入爐管。400C保持1小時以后，再以10C/min的速

12、度升溫。2）維護時的清洗A濕法清洗：使用 HF:H2O=1:4的溶液清洗，根據(jù)使用具體情況來確定清洗的周期。B干燥：（參照1）2.2石英器件的使用清洗程序：1）用去離子水將石英器件沖洗干凈；2）將石英管置于5%氫氟酸溶液中浸蝕 5分鐘；3）用去離子水沖洗干凈以后，干燥待用。注意：搬運石英件時，應(yīng)小心謹慎，并隨時使用棉制手套。2.3擴散源的使用 源的灌裝：1） 裝源的石英瓶必須清洗干凈，并用N2吹干；2）確保源瓶上的閥門與瓶頸之間無泄露；3）裝源必須在有良好抽風(fēng)系統(tǒng)的房間進行，并且操作人員必須佩帶能有效保護眼睛及呼吸系統(tǒng)的防護面具，必 須戴好厚橡膠手套，不得將皮膚裸露在外。源瓶的安放：1 ）在將

13、源瓶放入恒溫槽之前不得打開源瓶上的閥門。2）向恒溫槽注入深度為槽深 2/3的水。3）雙手扶助源瓶，并將其傾斜，慢慢放入恒溫槽對應(yīng)的位置。4） 連接好氣管（小管進氣，通至源瓶的底部，攜帶源的N2從粗管排出）。5 ）打開進氣閥和出氣閥。注意：進氣管道和出氣管道千萬不可接反，裝好源瓶后進氣閥門和出氣閥門必須打開，否則通氣以后會引起源瓶爆炸，對設(shè)備造成嚴重損壞。2.4安全保護及事故處理安全保護注意事項：1）設(shè)備一定要有良好的接地2）裝擴散源時，必須在有良好的通風(fēng)排毒的條件下進行3）當系統(tǒng)出現(xiàn)報警時，必須在徹底排除故障后方可重新開機4 ）進行擴散工藝時，爐口廢氣室、源柜的排氣口，一定要與通風(fēng)系統(tǒng)相通編制

14、：日期：審核：日期：批準：日期：武漢珈偉科技有限公司文件編號：WI-版本/修訂：A /0文件 名稱管式擴散爐操作規(guī)程頁碼：4/ 5生效日期：2006年7月18日5）超溫保護要求每天工藝前測試一次出現(xiàn)故障時的處理：1）擴散源出現(xiàn)故障時，應(yīng)先關(guān)閉相應(yīng)的氣路的手動閥，并暫停工藝運行，待排除故障后才能繼續(xù)擴散工藝2 ）爐子超溫，會自動切斷加熱電源并發(fā)出聲光警報，此時應(yīng)先查找原因，待故障處理后再重新開啟加熱3 ）如發(fā)生液源溢出，要立即擦拭干凈，并暫停工藝，仔細檢查源瓶是否破裂。保養(yǎng)與維護1. 恒溫區(qū)校準周期爐子恒溫區(qū)調(diào)好以后，不是頻繁連續(xù)工藝，可三個月校準一次，連續(xù)工藝，一個月校準一次。2. 爐體保溫在隔一天以上