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二、歐姆接觸 實(shí)際情況: 半導(dǎo)體材料與金屬接觸都形成勢(shì)壘。 當(dāng)勢(shì)壘很薄時(shí),發(fā)生隧道效應(yīng),形成歐姆接觸 n 隧道效應(yīng)的特點(diǎn) 在勢(shì)壘高度確定的條件下,隧穿的幾率 依賴于勢(shì)壘的寬度 根據(jù)擴(kuò)散理論: d = 2e re0 (VD -V ) qND 制作歐姆接觸最常用的方法是用重?fù)诫s 的半導(dǎo)體與金屬接觸。 d = 25 A N D = 6.2 1019 cm-3 o 接觸情況對(duì)比 理想接觸 金屬的功函數(shù)決定接觸 類型及勢(shì)壘高度 實(shí)際接觸 整流接觸 由于存在表面態(tài),接觸時(shí) 總是形成勢(shì)壘,且勢(shì)壘高 度受金屬功函數(shù)影響不大 歐姆接觸 Wm WS Wm WS 電子的阻擋層 整流接觸 電子的反阻擋層 歐姆接觸 用重?fù)诫s的半導(dǎo)體與金屬 接觸,利用隧道效應(yīng)形成 歐姆接觸 謝 謝
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