實(shí)驗(yàn)室氣體管路安裝施工方案

1、實(shí)驗(yàn)室氣體管路安裝施工方案1、施工過(guò)程安排1、準(zhǔn)備：熟悉設(shè)計(jì)方案和施工圖紙,現(xiàn)場(chǎng)對(duì)照比擬,準(zhǔn)備合格的施工工具,購(gòu)置合格的材料配件.儲(chǔ)存好材料的說(shuō)明書(shū)交與業(yè)主.采購(gòu)時(shí)要認(rèn)準(zhǔn)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)認(rèn)可的高純潔凈材料商,要有合格的證實(shí)和標(biāo)識(shí),從而對(duì)工程的平安性做最根本保證.產(chǎn)品的品牌主要見(jiàn)報(bào)價(jià).2、加工：支架的布置安裝,管道的切割,平口,焊接,預(yù)制,查看連接好每個(gè)接口,施工時(shí)注意周邊的環(huán)境保護(hù)無(wú)塵室的標(biāo)準(zhǔn).每天的配管之前必須焊接一個(gè)樣品,先讓我公司QC人員檢查合格后交于業(yè)主檢查,如雙方確認(rèn)合格前方可開(kāi)始施工.所有焊接口均須做好焊接記錄,焊接的人員一定是經(jīng)過(guò)培訓(xùn)有證件的人員焊接,從而保證安裝的合格性.加工設(shè)備：精

2、密全自動(dòng)氮弧焊機(jī)、砂輪磨光機(jī)DN125、割管機(jī)5、25、彎管器1/4、扳手、平挫、梯子等,各廣5只.3、吹掃測(cè)試：加工安裝好后用高純氮?dú)獯祾?清洗,注意每種氣體的各個(gè)標(biāo)簽和焊道的標(biāo)準(zhǔn).做好保壓測(cè)試的數(shù)據(jù)最好是超過(guò)一份,從而讓整個(gè)氣體系統(tǒng)和合格沒(méi)有折扣.4、移交：工程完工合格后交貨方把系統(tǒng)文件,測(cè)試記錄表和數(shù)據(jù)、施工圖紙和竣工圖紙交于業(yè)主.2、管道支架制作安裝1、閥件支撐架(1)閥件支撐架的材質(zhì)需為熱浸鋅或不銹鋼制品,且可利用在天花板、墻緣、梁柱及設(shè)施等之上固定閥件.(2)閥件支撐的擺設(shè)位置根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際狀況,測(cè)量并安裝固定.(3)閥件支撐架綜合考慮閥門(mén)操作、氣體種類(lèi)、維護(hù)及配設(shè)之美觀程度等.(4

3、)閥件之間的架設(shè)間距考慮平行架設(shè)之預(yù)留量.(5)閥件支撐前、須先確認(rèn)閥件配置點(diǎn),視施工環(huán)境需求參加輔助配件如T型板固定、L行角鋼.(6)閥件支撐考慮便于日后維護(hù)之拆裝.(7)閥件支撐架是以調(diào)壓閥為中央,再連結(jié)其它閥件；固定時(shí),調(diào)整與管道呈垂直狀,不得歪斜.(8)大小頭安裝于管路經(jīng)濟(jì)位置,杜絕浪費(fèi).2、管道支撐(1)支架的材質(zhì)為熱鍍鋅或不銹鋼制品且可利用在天花板、墻緣、梁柱及設(shè)施等之上固定管線.(2)支架的擺設(shè)位置依據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際狀況測(cè)量后制作安裝.(3)配管時(shí)需考慮管道操作處、氣體種類(lèi)、維護(hù)及配設(shè)之美觀程度等.(4)管線之間的架設(shè)間距至少為20mm以上.(5)管道支撐水平點(diǎn),以牙條套入型鋼墊片后固

4、定于天花板,或使用葫蘆吊架(6)依管徑需求選擇使用葫蘆吊架、U(P)型管夾或電工管夾固定管道.使用葫蘆吊架、U(P)型管夾時(shí),須于先行以EPDM塑膠墊纏繞于管面后固定.(7)注意管道支撐前,須確認(rèn)未與其它管道交錯(cuò)、并欲留施工空間.管道支撐固定后,須確認(rèn)所有管道不得晃動(dòng)、歪斜.3、氣體管道施工準(zhǔn)備氣體管道施工作業(yè)程序1、管材切割預(yù)制切割前確認(rèn)配管外表無(wú)有害痕跡、破損.配管切割時(shí)使用不銹鋼專(zhuān)用切割器(StainlessSteelTubeCutter)或?qū)Ｓ檬謩?dòng)割刀緩慢進(jìn)行切割,管徑大于25A時(shí),須保持切面直度(90士0.5)o管道橫放水平固定,預(yù)防切屑進(jìn)入管內(nèi).切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì),用無(wú)

5、塵布料LINT-FREECLOTH沾IPA異丙醇擦試干凈.切割后用專(zhuān)用的切面加工器處理切面,使端面平整.進(jìn)行切面加工時(shí),為預(yù)防切屑進(jìn)入管內(nèi),使加工面處于下流,從下流沖放潔凈的氣體,加工后,使切面朝下,從上方敲打幾次,去除切屑雜質(zhì).切面加工完成后,確認(rèn)切面處理是否良好.假設(shè)檢查合格,用高純度工業(yè)用氮?dú)馊コ涔芡獗?確認(rèn)配管內(nèi)外無(wú)雜質(zhì)或異?，F(xiàn)象后,于兩端加蓋封密.中大口徑管子3/41采用專(zhuān)用的切割機(jī)切割中大口徑管子2切割后將切割端朝下稍微抖動(dòng)消除切屑,然后用潔凈氣體從上往下吹掃3切割后目視檢查是否有灰塵污染如存在污染再吹洗一次或用無(wú)塵紙擦拭4切割后用端面處理器進(jìn)行端面處理坡口型式應(yīng)為I型；并銃去毛

6、刺,必要時(shí)使用錘刀,應(yīng)十分小心的進(jìn)行修邊處理5端面處理及銃毛刺過(guò)程中,應(yīng)保證端面朝卜,處理后輕輕抖動(dòng)消除切屑6端面處理后,用潔凈氣體從上流往下流吹洗處理端面為下流7端面處理后目視檢查是否有切屑污染8管于的端面加蓋9使用專(zhuān)用吸塵器消除切割及處理過(guò)程中產(chǎn)生的粒子對(duì)于小口徑配管1/4一1/2,切割原那么如下：1切割前應(yīng)確認(rèn)配管外表無(wú)有害痕跡、破損2配管切割時(shí)須使用不銹鋼專(zhuān)用切割器緩慢進(jìn)行切割3原那么上被切割管應(yīng)橫放水平固定、預(yù)防切屑進(jìn)入管內(nèi).4配管切割后須用潔凈的氣體吹掃管子切割端、切割端應(yīng)置于低處,氣流從高處往低處吹洗.5切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì)、須用無(wú)塵紙及IPA擦凈.6切割后應(yīng)用專(zhuān)用的切

7、面加工器處理切面,坡口型式應(yīng)為I型,并用特殊的銃毛刺機(jī)消除毛刺,此時(shí)應(yīng)小心不可鑿得太多；一直保持端面朝下7進(jìn)行切面和銃毛刺加工時(shí)、為了預(yù)防切屑進(jìn)入管內(nèi)、應(yīng)始終置加工面于下流、從上流沖放潔凈的氣體.加工后、使切面朝下、從上方敲打幾次、去除切屑雜質(zhì).8如確認(rèn)配管內(nèi)外無(wú)雜質(zhì)或異常現(xiàn)象、于兩端加蓋待用.9配管不能橫放水平切割.2、彎管1/2以下管徑采用彎管施工,假設(shè)因現(xiàn)場(chǎng)因素?zé)o法執(zhí)行,那么一律使用Elbow施工.彎管需使用適宜之彎管器,不可使用手彎,除美觀外也可降卑微粒子產(chǎn)生.彎管曲率至少以1/2管道五倍彎曲率為原那么.1原那么上只有直徑小于1/2的管道才可彎曲,配管彎曲時(shí)除了量尺寸外不可取開(kāi)兩端蓋子

8、2)配管彎曲應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)的彎管器進(jìn)行操作3)對(duì)不同尺寸的管道彎管半徑規(guī)定如下1/4(標(biāo)準(zhǔn)彎徑5D)R=約為30mm3/8(標(biāo)準(zhǔn)彎徑5D)R=約為48mm1/2(標(biāo)準(zhǔn)彎徑5D)R=約為64mm管子彎曲時(shí),管子的正負(fù)角度應(yīng)小于15度4、氣體管道卡套連接安裝(Let-lok)(1)施工前,檢查卡套型(Let-lok)接頭之各元件是否齊全；元件包含接頭本體xl個(gè)、母套頭(Nut)x2個(gè)、金屬箍套圈(Ferrule)x2組.如下圖：(2)將配管管材裁減至所需尺寸,或預(yù)制好之管材依序套上母套頭、金屬箍套圈.(3)將管材連接端確實(shí)套人接頭本體,并頂至內(nèi)部底端；用手旋緊母套頭.(4)旋緊后,以簽字筆在母套頭上之

9、一面作標(biāo)記；再以?xún)芍О馐址謩e夾住接頭.(5)本體六角承頭部及母套頭,施力旋轉(zhuǎn)11/4圈,如下列圖：(6)、NPT接頭安裝r：Trt|rT,：iiifi一.力|icAir-(1)NPT牙型接頭一端為卡套型(Let-lok)接頭；另一端為螺紋接頭.(2)NPT牙連接于機(jī)臺(tái)前,須以TYPE-SEAL先行以漸進(jìn)法纏繞于牙端3圈.(3)連接機(jī)臺(tái)時(shí),先以手旋緊接頭,再以扳手施力旋緊.(4)連接管道與卡套型(Let-lok)接頭端；于母套頭內(nèi)置入Ferrule后插入管件,再以手旋緊母套頭,旋緊后,以扳手施力旋緊口/4圈.所有施工都本著經(jīng)濟(jì)合理的原那么進(jìn)行.5、氣體管道焊接安裝焊接前自動(dòng)焊接機(jī)的狀況由制作焊接

10、試樣進(jìn)行檢查確認(rèn),每日開(kāi)始工作和結(jié)束工作均制作焊接試樣,開(kāi)始試樣和結(jié)束試樣保存作為工程質(zhì)量檢驗(yàn)記錄.自動(dòng)焊接符合以下條件焊接認(rèn)證自動(dòng)軌道焊接的技工均擁有一定的焊接根底,并且持有焊機(jī)公司認(rèn)證證書(shū)和國(guó)內(nèi)相應(yīng)證書(shū).步驟：A焊接吹掃氣體要求(1)焊接時(shí)使用之氣體為高純氧氣,對(duì)焊接及保護(hù)用氮?dú)馄涑隹谔帒?yīng)達(dá)以下指標(biāo)氮?dú)饧兌炔坏陀?9.999%氧含量不大于1.Oppm水分含量不大于1.Oppm總的碳?xì)浠衔锊淮笥?.Oppm(2)吹凈氣體分流筒使用高潔凈度閥件,調(diào)壓閥及0.01UM過(guò)濾器,過(guò)濾器置于最末端氣體出口位置.B焊接作業(yè)焊接程序參?GTI-SEMI-CP03焊接程序?(1)焊接施工a、設(shè)備應(yīng)專(zhuān)用專(zhuān)管

11、,操作人員在操作前應(yīng)穿著工作服.絕緣鞋、手套、并配戴防護(hù)面罩,在通風(fēng)不良的場(chǎng)合焊接時(shí),應(yīng)戴防護(hù)口罩.b、禁止在有易燃易爆氣體、物體的場(chǎng)合使用,調(diào)整焊栓鋁棒時(shí),應(yīng)在關(guān)機(jī)狀態(tài)下進(jìn)行,設(shè)備應(yīng)按標(biāo)注的持續(xù)率使用.c、焊炬應(yīng)輕拿輕放,保持清潔枯燥,禁止其接觸水、油或其它液體和粉塵,焊接電纜禁止踩壓.d、定期檢查焊機(jī)內(nèi)部的緊固螺絲,引線接頭有無(wú)松動(dòng),發(fā)現(xiàn)隱患及時(shí)排除,焊接電源與焊接位置距離3米以上,焊機(jī)在運(yùn)輸運(yùn)行中預(yù)防振動(dòng).、使用及操作1 .焊接前應(yīng)先備好氯氣瓶,瓶上裝好氮?dú)饬髁坑?jì),然后用氣管與焊機(jī)背面板上的進(jìn)氣孔接好,連接處要緊好以防漏氣.2 .將氫弧焊槍、氣接頭、電纜快速接頭、限制接頭分別與焊機(jī)相應(yīng)插

12、座連接好.工件通過(guò)焊接地線與“+接線栓連接.3 .將焊機(jī)的電源線接好,并檢查接地是否可靠.4 .接好電源后,根據(jù)焊接需要選擇交流氮弧焊或直流氮弧焊,并將線路切換開(kāi)關(guān)和限制切換開(kāi)關(guān)搬到交流AC檔或直流DC檔.注意：兩開(kāi)關(guān)必須同步使用.5 .將焊接方式切換開(kāi)安置于“氯弧位置.6 .翻開(kāi)氨氣瓶和流量計(jì),將試氣開(kāi)關(guān)拔至“試氣位置,此時(shí)氣體從焊槍中流出,調(diào)好氣流后,再將試氣與焊接開(kāi)關(guān)拔至“焊接位置.7 .焊接電流的大小,可用電流調(diào)節(jié)手輪調(diào)節(jié),順時(shí)針旋轉(zhuǎn)電流減小,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)電流增大.電流調(diào)節(jié)范圍可通過(guò)電流大小轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)來(lái)限定.8 .選擇適宜的鴇棒及對(duì)應(yīng)的卡頭再將鋁棒磨成適宜的錐度,并裝在焊槍內(nèi),上述工作完成

13、后按動(dòng)焊槍上開(kāi)關(guān)即可進(jìn)行焊接了.2保護(hù)氣的吹洗方法a.保護(hù)氣.吹掃是為了使UHP管道系統(tǒng)內(nèi)外表在焊接高溫中免受氧化.b.通常吹掃管道采用不銹鋼管,與被要焊的管道的連接采用PTFE材料不可采用會(huì)釋放氣體的聚氨乙烯材料c.保護(hù)氣體的純度應(yīng)為管端將焊的管子氧分低于Ippm,水分低于Ippm,氧分、水分應(yīng)定時(shí)測(cè)量.e.背保護(hù)氣壓力應(yīng)在被焊管于出口端用氣壓計(jì)測(cè)量,并調(diào)節(jié)為3050mmHg,焊接區(qū)域全氣壓計(jì)有一定距離時(shí),調(diào)節(jié)前應(yīng)考慮壓力損失.f.焊接直到焊接區(qū)域冷卻至ioo"c之前都要保持有背保護(hù)氣.直吹掃.(3)焊接對(duì)口a.焊接管子對(duì)口必須為正方并緊密連接.在對(duì)口位置所允許的圓角和倒角為壁厚的

14、十分之一；b.連接口需在鴇極的中央位置.(4)點(diǎn)焊固定a.自動(dòng)焊時(shí)如管子尺寸大于3/4有必要點(diǎn)焊；點(diǎn)焊采用四點(diǎn)固定法；b.點(diǎn)焊時(shí)焊接熔深應(yīng)小于管子壁厚的90%,在點(diǎn)焊時(shí)用保護(hù)氣體進(jìn)行潔凈處理；c.點(diǎn)焊點(diǎn)數(shù)根據(jù)尺寸不同而異但應(yīng)小于4點(diǎn)；d.點(diǎn)焊應(yīng)完成后應(yīng)全面去除氧化膜,檢查焊接面是否完全吻合,外表是否平整,間隙是否過(guò)大,最大間隙不超過(guò)0.13mmo(5)焊接a.操作時(shí)參照各臺(tái)焊機(jī)的使用手冊(cè)操作；b.在焊接過(guò)程中應(yīng)始終保持焊槍及焊件的清潔,鴇極尖部是否有磨損；c.焊接過(guò)程中應(yīng)盡量減少對(duì)母材的熱輸入量；e.在焊接過(guò)程中,所有附加的輔助器械都會(huì)及時(shí)到位；f.目視檢查焊后外外表無(wú)任何異常,用鋼絲刷刷去焊

15、接區(qū)外外表的氧化膜；g.完成焊接后,焊工必須在焊點(diǎn)處簽寫(xiě)姓名和日期并貼上標(biāo)簽,提請(qǐng)焊接檢驗(yàn)員對(duì)其進(jìn)行檢查；h.焊接檢驗(yàn)員確定該焊縫為合格焊縫焊縫后,焊工應(yīng)當(dāng)在焊接檢驗(yàn)記錄表記錄所有成品焊縫的焊接參數(shù).此記錄表至少應(yīng)包括：焊縫號(hào)早晨開(kāi)始焊接時(shí)的焊接樣品號(hào)焊機(jī)型號(hào)焊機(jī)序列號(hào)焊接母材類(lèi)型焊接母材的熔煉爐號(hào)焊材尺寸焊機(jī)操作工標(biāo)識(shí)號(hào)檢驗(yàn)人員的簽名j.必須用一軸側(cè)圖(系統(tǒng)圖)來(lái)記錄該管道,且該圖有唯一圖號(hào).在此圖中應(yīng)說(shuō)明系統(tǒng)號(hào)(如GX2,P2等),并用號(hào)標(biāo)出各個(gè)焊縫位置.D.品質(zhì)檢查(1)配管管線檢查：配管達(dá)美觀,走管橫平豎直；管線聯(lián)接正確無(wú)誤；管架無(wú)搖晃,管線固定牢靠；(2)焊接檢查：焊接工序完成以后,

16、焊接外外表按要求使用鏡子和光照進(jìn)行100%的全位置視覺(jué)檢查,以保證外表無(wú)缺陷,每一個(gè)焊接的檢驗(yàn)結(jié)果將記錄在焊接記錄中.焊道的外外表寬度均勻,焊縫邊緣整潔,有清晰的魚(yú)鱗紋路,且外外表的突起與凹陷,小于壁厚的10%o外外表呈黑色時(shí)該焊道焊道為不合格焊縫.焊縫外外表寬度要大于管道壁厚3倍以上.焊道的內(nèi)外表寬度均勻,焊縫邊緣整潔,要求無(wú)內(nèi)凹和氧化變色.內(nèi)外表寬度要小于管道壁厚2倍.不合格焊縫斷面內(nèi)凸合格焊縫斷面合格焊縫外外表6、管道安裝要求1本工程管道連接采用自動(dòng)數(shù)碼焊接工藝與卡套鏈接工藝結(jié)合,使用母體材料熔接,保證不泄漏2管道焊接好后要進(jìn)行拋光,用專(zhuān)用拋光劑拋光.3管道要進(jìn)行污染保護(hù),塑料堵頭焊接前不允許摘下,預(yù)防異物進(jìn)入,未焊接完工的要蓋好塑料堵頭.4敷設(shè)要整潔有序標(biāo)識(shí)管道氣體流向標(biāo)識(shí)