Applied Materials絲網(wǎng)印刷機(jī)調(diào)試手冊(cè)

1、Applied Materials ConfidentialApplied Materials Confidential BACCINI自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī)自動(dòng)絲網(wǎng)印刷機(jī) 調(diào)試總結(jié)調(diào)試總結(jié)Applied Materials Confidential供電電壓供電電壓 電壓要求在385V到405V之間，不能超過(guò)405V，否則容易造成機(jī)器損壞。2SunboApplied Materials Confidential檢查壓縮空氣是否正常，氣壓表應(yīng)顯示檢查壓縮空氣是否正常，氣壓表應(yīng)顯示6Bar以上以上3Applied Materials Confidential確認(rèn)真空，正常為確認(rèn)真空，正常為-0.04MPa

2、-0.08MPa之間之間4Applied Materials Confidential實(shí)測(cè)外接線電壓實(shí)測(cè)外接線電壓 萬(wàn)用表（AC）實(shí)測(cè)線電壓（兩線間電壓）5陸峰Applied Materials Confidential如果線電壓有誤，可單測(cè)相電壓如果線電壓有誤，可單測(cè)相電壓 萬(wàn)用表（AC）紅表筆接電源端，黑表筆接地6陸峰Applied Materials ConfidentialBOX0 保險(xiǎn)絲保險(xiǎn)絲7陸峰主要包括：Applied Materials Confidential測(cè)量各電路是否對(duì)地短路測(cè)量各電路是否對(duì)地短路 黑筆接地，紅筆依次測(cè)量各端（上下）對(duì)地電阻，如果萬(wàn)用表蜂鳴器發(fā)聲（F05

3、與0F05除外），即有電路對(duì)地短路，應(yīng)先找到問(wèn)題后再上電開(kāi)機(jī)，否則會(huì)燒毀元件，尤其是保險(xiǎn)絲。8陸峰Applied Materials Confidential電壓測(cè)量電壓測(cè)量 F01，F(xiàn)06，F(xiàn)15，F(xiàn)16的線電壓（與外部電源相同，385V405V）9陸峰Applied Materials Confidential當(dāng)線電壓測(cè)量不準(zhǔn)確時(shí)，需要測(cè)量單相電壓當(dāng)線電壓測(cè)量不準(zhǔn)確時(shí)，需要測(cè)量單相電壓 黑筆接地，紅色表筆接電源端，相電壓在家220230V左右10陸峰Applied Materials ConfidentialDC24V測(cè)量測(cè)量 關(guān)閉電源，將線電壓測(cè)量無(wú)誤的保險(xiǎn)絲F01，F(xiàn)06，F(xiàn)15，F(xiàn)1

4、6合上，開(kāi)電，測(cè)F07，F(xiàn)08，DC24V11陸峰Applied Materials Confidential 首先確認(rèn)CDA OK，各處EMER STOP按鈕撥起 將BOX0的安全門(mén)關(guān)好， 按輔助電源24V電壓12陸峰輔助電源上電輔助電源上電Applied Materials Confidential確認(rèn)電源與安全模塊無(wú)異常確認(rèn)電源與安全模塊無(wú)異常 POWERSUPPLY和SAFTEY MODULES電路無(wú)異常時(shí)，輔助電源OK，輔電燈亮，如無(wú)24v輔電或燈不亮?xí)r，對(duì)照電路圖進(jìn)行異常排查13Applied Materials Confidential+AT的電壓測(cè)量的電壓測(cè)量 當(dāng)輔電DC24V

5、 OK后，+AT得電（+68V+85V）14陸峰Applied Materials Confidential合上合上+AT，0AT的保險(xiǎn)絲的保險(xiǎn)絲關(guān)掉電源開(kāi)關(guān)或者停掉DC24V輔電，再合上+AT，0AT的保險(xiǎn)絲15陸峰Applied Materials Confidential排除無(wú)法開(kāi)機(jī)的故障排除無(wú)法開(kāi)機(jī)的故障某些時(shí)候，電腦黑屏無(wú)顯示，需要檢查UPS有無(wú)開(kāi)啟，主機(jī)電源連接線，Monitor電源線，Monitor信號(hào)線是否松動(dòng)，損壞，需要排除故障，保證電腦正常運(yùn)行16Applied Materials Confidential正常的面板燈正常的面板燈 斷線的面板斷線的面板17Applied M

6、aterials Confidential確認(rèn)電腦正常開(kāi)機(jī)，硬件無(wú)異常確認(rèn)電腦正常開(kāi)機(jī)，硬件無(wú)異常18Applied Materials ConfidentialItem 1,2均有五個(gè)像機(jī)相連均有五個(gè)像機(jī)相連19Applied Materials Confidential像機(jī)連接線要重點(diǎn)檢查，接線順序要正確像機(jī)連接線要重點(diǎn)檢查，接線順序要正確20Applied Materials Confidential像機(jī)連接不正確時(shí)，會(huì)報(bào)警，無(wú)法進(jìn)入程序像機(jī)連接不正確時(shí)，會(huì)報(bào)警，無(wú)法進(jìn)入程序21Applied Materials Confidential像機(jī)報(bào)警像機(jī)報(bào)警22Applied Materia

7、ls Confidential確保開(kāi)機(jī)，確保開(kāi)機(jī)，OK07歪斜，導(dǎo)致無(wú)法開(kāi)機(jī)歪斜，導(dǎo)致無(wú)法開(kāi)機(jī)23Applied Materials Confidential第一次開(kāi)機(jī)，關(guān)閉某些選項(xiàng)第一次開(kāi)機(jī)，關(guān)閉某些選項(xiàng)24陸峰剛開(kāi)機(jī)時(shí)OVEN不需要加熱應(yīng)將Enable Oven Heating 取消勾選Applied Materials Confidential開(kāi)機(jī)開(kāi)機(jī)OVEN皮帶未升到合適高度時(shí)，會(huì)有報(bào)警皮帶未升到合適高度時(shí)，會(huì)有報(bào)警25陸峰Applied Materials Confidential如圖所示如圖所示26陸峰Applied Materials Confidential上升皮帶時(shí)，注意檢查

8、加熱管上是否有附著物上升皮帶時(shí)，注意檢查加熱管上是否有附著物27陸峰Applied Materials Confidential提升皮帶高度提升皮帶高度28陸峰Applied Materials Confidential提升皮帶高度的過(guò)程中，要時(shí)時(shí)注意皮帶與兩頭之提升皮帶高度的過(guò)程中，要時(shí)時(shí)注意皮帶與兩頭之間的距離，不要撞到間的距離，不要撞到InputOutput29Applied Materials Confidential提升皮帶高度提升皮帶高度30陸峰Applied Materials Confidential注意距離注意距離31陸峰Applied Materials Confident

9、ial注意兩頭撞到注意兩頭撞到32陸峰Applied Materials Confidential注意距離注意距離33陸峰Applied Materials Confidential注意：氣缸頂?shù)巾旤c(diǎn)，但注意：氣缸頂?shù)巾旤c(diǎn)，但SICK的位置有松動(dòng)，的位置有松動(dòng)，造成無(wú)法感應(yīng)，造成無(wú)法感應(yīng)，Alarm無(wú)法消警，要調(diào)節(jié)無(wú)法消警，要調(diào)節(jié)SICK34陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)SICK位置位置35陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)OVEN皮帶工具，十號(hào)扳手，五號(hào)內(nèi)六角皮帶工具，十號(hào)扳手，五號(hào)內(nèi)六角36陸峰Applied

10、Materials Confidential松開(kāi)皮帶定位緊固螺絲松開(kāi)皮帶定位緊固螺絲37陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)定位螺絲調(diào)節(jié)定位螺絲38陸峰Applied Materials ConfidentialPrinter整體復(fù)位整體復(fù)位39陸峰Applied Materials ConfidentialPrinter開(kāi)始復(fù)位開(kāi)始復(fù)位40陸峰開(kāi)始印刷機(jī)復(fù)位，開(kāi)始印刷機(jī)復(fù)位，移除夾具、平臺(tái)上的零件，點(diǎn)擊移除夾具、平臺(tái)上的零件，點(diǎn)擊OKApplied Materials ConfidentialOven Buffer 整體復(fù)位整體復(fù)位41陸峰Applied Ma

11、terials ConfidentialOven Reset42陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)前轉(zhuǎn)輪位置調(diào)節(jié)前轉(zhuǎn)輪位置(機(jī)器開(kāi)啟后機(jī)器開(kāi)啟后)43陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)后轉(zhuǎn)輪位置調(diào)節(jié)后轉(zhuǎn)輪位置44陸峰Applied Materials Confidential查看風(fēng)扇吹風(fēng)方向（往里抽冷風(fēng)）查看風(fēng)扇吹風(fēng)方向（往里抽冷風(fēng)）45陸峰Applied Materials Confidential用手背或紙條感覺(jué)風(fēng)向用手背或紙條感覺(jué)風(fēng)向46陸峰Applied Materials ConfidentialSetup sens

12、or所用金屬棒所用金屬棒47陸峰Applied Materials Confidential將將Printer頭抬起，將金屬棒平放在頭抬起，將金屬棒平放在Sensor臺(tái)面臺(tái)面上上48陸峰Applied Materials Confidential金屬棒放在金屬棒放在Sensor上上49Applied Materials Confidential點(diǎn)點(diǎn)Move sensor50陸峰Applied Materials Confidential當(dāng)上下數(shù)字相差為零時(shí)，保存退出當(dāng)上下數(shù)字相差為零時(shí)，保存退出51陸峰Applied Materials Confidential網(wǎng)版螺絲網(wǎng)版螺絲52陸峰Appl

13、ied Materials Confidential網(wǎng)版框網(wǎng)版框53陸峰Applied Materials Confidential網(wǎng)版網(wǎng)版54陸峰Applied Materials Confidential內(nèi)六角內(nèi)六角55陸峰Applied Materials ConfidentialA4紙紙56陸峰Applied Materials Confidential將網(wǎng)版固定在網(wǎng)框上將網(wǎng)版固定在網(wǎng)框上57陸峰Applied Materials Confidential選擇手動(dòng)模式，點(diǎn)擊選擇手動(dòng)模式，點(diǎn)擊F4，抬起抬起Printer58陸峰Applied Materials Confidential

14、將網(wǎng)板裝好，將網(wǎng)板裝好，A4紙放在臺(tái)面上紙放在臺(tái)面上59陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)Z軸的軸的Home Position60陸峰Applied Materials Confidential手動(dòng)調(diào)整網(wǎng)板與臺(tái)面的位置手動(dòng)調(diào)整網(wǎng)板與臺(tái)面的位置61陸峰Applied Materials Confidential選擇選擇4-1菜單，調(diào)整菜單，調(diào)整Home position值值62陸峰Applied Materials Confidential手動(dòng)手動(dòng)Reset Z軸軸63陸峰Applied Materials Confidential刮刀刮刀64陸峰Appli

15、ed Materials Confidential手動(dòng)將手動(dòng)將Printer Head前移前移65陸峰Applied Materials Confidential上刮刀上刮刀66陸峰Applied Materials Confidential拍下急停，手動(dòng)感覺(jué)刮刀氣缸的大小拍下急停，手動(dòng)感覺(jué)刮刀氣缸的大小67陸峰Applied Materials Confidential將將A4紙放入刮刀與網(wǎng)板之間紙放入刮刀與網(wǎng)板之間68陸峰Applied Materials Confidential手動(dòng)調(diào)整刮刀與網(wǎng)板的距離手動(dòng)調(diào)整刮刀與網(wǎng)板的距離69陸峰Applied Materials Confident

16、ial拉動(dòng)拉動(dòng)A4紙，確認(rèn)距離已到位紙，確認(rèn)距離已到位70陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)HomePosition位置位置71陸峰Applied Materials Confidential調(diào)整固定刮刀的物理限位調(diào)整固定刮刀的物理限位72陸峰Applied Materials Confidential回墨刀回墨刀73陸峰Applied Materials Confidential手動(dòng)調(diào)節(jié)印刷頭的位置前移手動(dòng)調(diào)節(jié)印刷頭的位置前移74陸峰Applied Materials Confidential上回墨刀上回墨刀75陸峰Applied Materials C

17、onfidential在回墨刀與網(wǎng)板間放放在回墨刀與網(wǎng)板間放放A4紙紙76陸峰Applied Materials Confidential當(dāng)回墨刀放下時(shí)，調(diào)節(jié)限位螺絲當(dāng)回墨刀放下時(shí)，調(diào)節(jié)限位螺絲77陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)回墨刀與網(wǎng)板之間的距離調(diào)節(jié)回墨刀與網(wǎng)板之間的距離78陸峰Applied Materials Confidential調(diào)整回墨刀物理位置調(diào)整回墨刀物理位置79陸峰Applied Materials Confidential調(diào)整臺(tái)面調(diào)整臺(tái)面80陸峰Applied Materials Confidential臺(tái)面臺(tái)面81陸峰Applied

18、 Materials Confidential松固定螺絲松固定螺絲82陸峰Applied Materials Confidential取出臺(tái)面取出臺(tái)面83陸峰Applied Materials Confidential擰緊轉(zhuǎn)軸擰緊轉(zhuǎn)軸84陸峰Applied Materials Confidential裝好臺(tái)面，手動(dòng)轉(zhuǎn)紙測(cè)試，調(diào)整好半徑裝好臺(tái)面，手動(dòng)轉(zhuǎn)紙測(cè)試，調(diào)整好半徑85陸峰Applied Materials Confidential測(cè)量測(cè)量Oven高度高度86陸峰Applied Materials Confidential測(cè)量測(cè)量Oven高度高度87陸峰Applied Materials C

19、onfidential調(diào)整調(diào)整Oven高度高度88Applied Materials Confidential調(diào)整調(diào)整Loader，準(zhǔn)備跑片，準(zhǔn)備跑片89陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)風(fēng)刀方向調(diào)節(jié)風(fēng)刀方向90陸峰Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)風(fēng)刀大小調(diào)節(jié)風(fēng)刀大小91Applied Materials Confidential調(diào)節(jié)風(fēng)刀方向與大小調(diào)節(jié)風(fēng)刀方向與大小92陸峰Applied Materials Confidential測(cè)量測(cè)量Wafer在臺(tái)面上的位置在臺(tái)面上的位置93陸峰Applied Materials Conf

20、idential測(cè)量測(cè)量Wafer在臺(tái)面上的位置在臺(tái)面上的位置94陸峰Applied Materials Confidential校準(zhǔn)校準(zhǔn)Line Camera 195Applied Materials Confidential校準(zhǔn)校準(zhǔn)Line Camera 296Applied Materials Confidential校準(zhǔn)校準(zhǔn)Line Camera 397Applied Materials Confidential校準(zhǔn)校準(zhǔn)Line Camera 498Applied Materials Confidential調(diào)整調(diào)整5-1，選九號(hào)相機(jī)選九號(hào)相機(jī)99Applied Materials C

21、onfidential移動(dòng)到指定位置移動(dòng)到指定位置100Applied Materials Confidential選選9號(hào)相機(jī)號(hào)相機(jī)101Applied Materials Confidential進(jìn)進(jìn)Trian，框選，框選Mark點(diǎn)點(diǎn)102Applied Materials Confidential框選框選103Applied Materials Confidential選定，選定，Next104Applied Materials ConfidentialOven升溫，將保險(xiǎn)絲合上升溫，將保險(xiǎn)絲合上105Applied Materials ConfidentialBuffer wafer

22、size手動(dòng)校準(zhǔn)手動(dòng)校準(zhǔn)106陸峰Applied Materials ConfidentialBuffer wafer size手動(dòng)校準(zhǔn)手動(dòng)校準(zhǔn)107陸峰Applied Materials Confidential維修原則維修原則 先軟后硬：在機(jī)臺(tái)出現(xiàn)問(wèn)題后，第一時(shí)間應(yīng)該是看報(bào)警信息，Alarm選項(xiàng),Emlo Manual Axis選項(xiàng)，Input/Output選項(xiàng)等等確定是哪里在報(bào)警，報(bào)的是什么警，結(jié)合具體的硬件再進(jìn)行判斷，做到心里大致有底，不能糊里糊涂的先動(dòng)手拆裝（如懷疑EMLO卡有問(wèn)題時(shí)，可先DOWNLOAD程序，無(wú)效后再更換EMLO卡，以免耽誤時(shí)間，或者拆裝過(guò)程中造成更大的損失 大膽假設(shè)，小心求證：在無(wú)法準(zhǔn)確確認(rèn)問(wèn)題所在的情況下，可以大膽假設(shè)機(jī)臺(tái)出現(xiàn)該故障的原因，但要小心求證，不能操之過(guò)急，再一一排除不對(duì)的假設(shè)，也許很快就會(huì)讓真相浮出水面 縮小范圍：在很多情況下，是可以大致確認(rèn)故障的范圍的，我們可以在該范圍之內(nèi)，再次分解目標(biāo)，通過(guò)驗(yàn)證，將故障部位鎖定在更小的范圍內(nèi) 順藤摸瓜：有時(shí)故障點(diǎn)并不在報(bào)警信息顯示處或由另外的故障引發(fā)的一系列故障，所以并不是頭疼就醫(yī)頭，腳疼就醫(yī)腳，需要將一