第1章基本光學(xué)量的測試技術(shù)

1、2022-4-2921.概述2022-4-2942022-4-2952022-4-296tan200fytan2 fy2200fyfy00yyff2022-4-297 DCDykff000 1111222202222000kyDffkyDff 2022-4-298 /00ff0yDkkB/%15. 0001. 06003. 024005. 0001. 02222ff%24. 0ff2022-4-299 pNfyyf12 2022-4-2910精密測角法測量原理圖tan0yf 2022-4-29112022-4-2913afU夫朗和斐圓孔衍射圖艾里斑2102)(2aJII2022-4-2914a

2、22022-4-2915afU夫朗和斐圓孔衍射圖艾里斑2022-4-29162022-4-2917Da61. 0261. 021max61. 000maxfDfd2022-4-2918/5 . 0tanfDU UUmaxmaxsinUnNA 2022-4-2919fDfDfx042. 1)636. 1678. 2()(12180603250 xfD21. 0 2022-4-29202022-4-29222022-4-29232022-4-2924FDf22. 122. 10F02. 10F947. 002022-4-2925fa001N02022-4-2926D22. 1D02. 1D947.

3、 0F22. 11F02. 11F947. 01NA61. 0NA51. 0NA47. 02022-4-292733coscos11NNttcoscos11NNss100806004020204060Nt / N, N s/ N (%)Ns / NNt / N理論分辨率隨視場理論分辨率隨視場變化的曲線變化的曲線2022-4-29282022-4-292994387. 02/112q2.1 分辨率圖案分辨率圖案ZBN35003-89國家專業(yè)標準圖案例：國家專業(yè)標準圖案例：線條寬度線條寬度 寬度寬度P按等比級數(shù)按等比級數(shù)規(guī)律依次遞減規(guī)律依次遞減 PP0 q n-1 ；P0160m； ；n185 P

4、841.25m分組分組 將將85種不同寬度的分辨率線種不同寬度的分辨率線條分成七組，通常稱為條分成七組，通常稱為1號到號到7號板，號板，即即A1A7分辨率板。分辨率板。 每號分辨率板包含有每號分辨率板包含有25種不同寬度的分辨率線條；種不同寬度的分辨率線條； 相鄰兩號分辨率圖案之間有一部分單元是彼此重復(fù)的相鄰兩號分辨率圖案之間有一部分單元是彼此重復(fù)的 ； 同一寬度的分辨率線條又按四個不同的方向排列構(gòu)成一同一寬度的分辨率線條又按四個不同的方向排列構(gòu)成一個個“單元單元” 2022-4-2930cf ) ( 2062652cfPa2022-4-2931)(mm / -10ffNNc2022-4-29

5、321cos1fx332cos12cos1cos2cttffPafP220coscos21NffNPNctt2022-4-29342cos12cos1cos2cttffPafP220coscos21NffNPNcttcoscos210NffNPNcss2022-4-29352022-4-29362022-4-29372022-4-29382022-4-29392022-4-294011111cossinxyr1111111111111 cossin( ,)0 cossinxyrT x yxyr2022-4-29411111111 cossin,0 cossinrWWxyRWWTrWWxyxyR

6、111cossinrWWxyR2022-4-294222( , )()W x yD xy111cossin2rxyDR10 12rxDR2022-4-294312rxDR2022-4-294422222( , )()()W x yA xyD xy221112 2 ()( cossin)rA xyDxyR2022-4-2945321024rDyxyAAR2022-4-2946321024rDyxyAAR3202DyxyA2220DyxAy 2022-4-2947 刀口陰影法檢驗1. 刀口陰影法基本原理 刀口陰影法檢驗1. 刀口陰影法基本原理2022-4-2949 刀口陰影法檢驗1. 刀口陰影法基

7、本原理2022-4-29502022-4-29512022-4-29522022-4-29542022-4-29552022-4-2956 dd) , ,(),() , (vuvuvuhvuovui2022-4-2957 vuvuvuhvuovuidd) , ,(),() , (2022-4-2958),() , ,(vvuuhvuvuh2022-4-2959 vuvvuuhvuovuidd),(),() , (2022-4-29602022-4-2961 vuvuhvuhvuPSFdd),(),(),(vuvvuuPSFvuovuidd),(),() ,(2022-4-2962vuvvuuP

8、SFvuovuidd),(),() ,(),(),(),(srOTFsrOsrIvusvruvuPSFsrOTFdd)(j2exp),(),( 2022-4-2963( , )( , )expj( , )OTF r sMTF r sPTF r s2022-4-2964vuruvuPSFrOTFdd)j2exp(),()0 ,(1 vvuPSFuLSFd ),()(2022-4-2965uuruLSFrOTFd)j2exp()()()(jexp)()(rPTFrMTFrOTF2022-4-2966uuuouLSFuuuLSFuouid)()(d)()() (2022-4-2967)2cos()(

9、0urIIuoa2022-4-2968)(2cos)(2sin)(2cos)(2sind2sin)(2cosd2cos)()(000rPTFrurMTFIIrurHIrurHIIruuruuLSFIururuuLSFIIuiasacaaauruuLSFrHuruuLSFrHrHrHrPTFrHrHrMTFsccscd)2sin()()(d)2cos()()()(/ )(arctan)()()()(s222022-4-2969)()()(0rCrCrMTFiminmaxminmaxIIIIC)(jexp)()(rPTFrMTFrOTF2022-4-29712( , )( , )expj() d

10、dASF u vCP x yuxvyx yR2022-4-29722( , )exp j( , ) ( , )0 A x yW x yP x y在光瞳內(nèi)在光瞳外2022-4-2973*( , )( , )( , )PSF u vASF u v ASF u v*( , )( , )exp 2j()d d( , )(,)d dGOTF r sPSF u vrusvu vcP x y P xx yy x y 2( , )( , )expj() d dASF u vCP x yuxvyx yR2022-4-2974/xyfxRfyRyxxyG光瞳位移光瞳光瞳位移的重疊區(qū)OOxy2022-4-2975(

11、,)d d =xyGGOTF ffcx yS2022-4-29762sin2()xOTF fcDfRx2022-4-29772022-4-29782022-4-29792022-4-29802022-4-2981)(2cos)()(0rPTFrurMTFIIuia2022-4-2982)()(2cos)()(d) () () (1110111rPTFrPTFrurMTFrMTFIIuuuiusuia)( ),(1rPTFrMTF2022-4-2983)()()()(1rOPTrSrOrI)(1rI2022-4-2984 ururruIuo)(52cos51)(32cos312cos41)(0

12、)5( )(52cos)5( 451)3()(32cos)3( 431)(2cos)( 41) (0rPTFurrMTFrPTFurrMTFrPTFrurMTFIui2022-4-2985 光學(xué)傳遞函數(shù)測試技術(shù)2. 光學(xué)傳遞函數(shù)測試原理及方法 )5( )(52cos)5( 451)3()(32cos)3( 431)(2cos)( 41)(0rPTFtrrMTFrPTFtrrMTFrPTFt rrMTFItitttVtu rVrt2022-4-2986)(2cos)( 4)(0rPTFt rrMTFItit2022-4-29872022-4-2988cos0rr 2022-4-29892022-4-29902022-4-29912022-4-29922022-4-2994yxsyrxWyxWiCsxOTFGdd),(),(2exp),(2022-4-29952022-4-2996 軸外點理論分辨率與軸 上點理論分辨率的關(guān)系MtCPPMCOuPPuf f uMCsin61. 0cosDPPDcos/ff22coscos1sin61. 0261. 0sin61. 0ufDu3coscost33coscos11NNtt2022-4-2997cos/ffcoscos1sin61. 0