半導(dǎo)體銅線工藝流程規(guī)范規(guī)范

1、 半導(dǎo)體銅線工藝流程 時間:2010-09-03 剩余:0天 瀏覽: 37 次 收藏該信息 一、 銅線鍵合工藝 A、銅線工藝對框架的特殊要求-銅線對框架的的要求主要有以下幾點： 1、 框架表面光滑，鍍層良好； 2、 管腳共面性良好，不允許有扭曲、翹曲等不良現(xiàn)象 管腳粗糙和共面性差的框架拉力無法保證且容易出現(xiàn)翹絲和切線造成的燒球不良，壓焊過程中容易斷絲及出現(xiàn)tail too short ； B、保護(hù)氣體-安裝的時候保證E-torch上表面和right nozzle 的下表面在同一個平面上才能保證燒球的時候，氧化保護(hù)良好同時氣嘴在可能的情況下盡量靠近劈刀，以 保證氣體最大范圍的保護(hù) C、劈刀的選用

2、同金線相比較，銅線選用劈刀差別不是很大，但還是有一定的差異： 1、銅線劈刀T 太小2nd容易切斷，造成拉力不夠或不均勻 2、銅線劈刀CD不能太大，也不能太小，不然容易出現(xiàn)不粘等現(xiàn)象 3、銅線劈刀H與金線劈刀無太大區(qū)別（H比銅絲直徑大8m即可，太小容易從頸部拉斷） 4、銅線劈刀CA太小線弧頸部容易拉斷，太大易造成線弧不均勻； 5、銅線劈刀FA選用一般要求8度以下（4-8度） 6、銅線劈刀OR選用大同小異 D壓焊夾具的選用 銅線產(chǎn)品對壓焊夾具的選用要求非常嚴(yán)格，首先夾具制作材料要選用得當(dāng)，同時夾具表面要光滑，要保證載體和管腳無松動要，否則將直接影響產(chǎn)品鍵合過程中燒球不良、斷線、翹絲等一系列焊線問題

3、。 二、 銅線的特性及要求 切實可行的金焊線替代產(chǎn)品 。 細(xì)銅焊線（copper F16 Tail control (減少tail too short 報警) F16 1090ABB40 Menu 1 12-16 Menu 9 20 Menu A 8 F15 bond process control(減少 NSOP NSOL) F15 (2002)10803 Menu 0 比gold wire 要 大一些 Menu 3 0 Menu 4 比bond force 稍小 Set up machine Search high ( 減少 NSOP & tail too short) Gold wire

4、 : 8-12 copper wire : 10-15 EFO parameter Wire size (mil) Current (mA) 5000-7000 time (us) 500-800 1200-1800 Set up machine BQM set up Wire size (mil) Rise time 1-2 2-3 Power level low high Power control const-p const- p Speed set F15 比gold wire 稍低. 512-640 384-512 Set up machine Set up machine To C

5、opper Wire 1 Higher EFO current for Cu 2 Shorter EFO time for Cu 3 In general, higher force & power 4 Longer Time factor 5 Higher WC force due to Cu hardness 6 Less Contact Power, use force to deform the ball during the contact stage then apply more base power Production issue Ball 球不良原因： 吹氣保護(hù)不好 銅線開

6、封后防止時間太長線有氧化（小時） Tail length 不穩(wěn)定導(dǎo)致燒球不好 Capillary 選擇型號不對 Action: 調(diào)整吹氣裝置和E-TORCE位置，保證保護(hù)良好 更換銅線 調(diào)整nd 焊接參數(shù)（base power and base force)保證tail length 穩(wěn)定 選用合適的capillary Production issue 1st NSOP 原因： Bond power 太小 Bond force 太大 Action: 在保證無crater 的前提下調(diào)整power and force Production issue 2nd NSOL 原因： Bond power

7、 太小或者太大 Bond force 太大或者太小 Action: 如果焊接后無留金痕跡應(yīng)該調(diào)大 base power 如果焊接后有明顯壓斷痕跡，應(yīng)該調(diào)小 base power and force Production issue 2nd 后 tail too short 原因： 管腳位置浮動 Bond power 太小或者太大 Bond force 太大或者太小 Action: 調(diào)整該焊點位置 如果報警后可以直接從capillary 穿下線，應(yīng)該是base power 較小，應(yīng)該調(diào)大base power或者減小base force 如果報警后線不能直接穿下capillary，必須把線拔除再穿

8、的話，應(yīng)該減小base power 或者增大base force. 四、銅線對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量的影響 1、產(chǎn)能相對較低-銅線硬度要強于金線，壓焊過程中斷絲幾率和不粘相對增大，考慮到可焊性等因素，壓焊速度相對較慢，正常情況下設(shè)備利用率是金線設(shè)備的2/3左右。 2、偏心球、燒球不良（高爾夫球）產(chǎn)生較多-銅線2nd焊點切線稍有異常，將直接影響1st焊點燒球，氣體保護(hù)范圍太小或框架、夾具異常均會影響1st焊點燒球，所以在出現(xiàn)以上現(xiàn)象是，首先應(yīng)排除硬件原因，然后再從參數(shù)方面解決。 3、不粘產(chǎn)生頻繁-由于銅線的特殊性，鍵合過程中不粘現(xiàn)象較為嚴(yán)重，在銅線鍵合過程中出現(xiàn)不粘，應(yīng)從以下方面解決： A、要保證拆

9、封的銅線無氧化，沾污，拆封的銅線要在48小時內(nèi)用完。 B、夾具表面平整光滑，載體無松動 C、保證燒球的時候，氧化保護(hù)良好 D、切線正常，無偏心球 E、裝片平整度，膠量充足（膠量不足缺膠直接影響不粘，以上銅線最為明顯），固化溫度均勻； F、劈刀選用合理 G、參數(shù)調(diào)整 4、彈坑風(fēng)險增加-由于銅線硬度要強于金線，且容易產(chǎn)生氧化，彈坑幾率風(fēng)險大大增 加。為了減小銅線彈坑風(fēng)險，需從以下方面解決： A、配備專人每班做例行彈坑驗證，包括更換品種，夾具及設(shè)備維修后。 B、加強過程監(jiān)控-更換劈刀、修改1st、EFO參數(shù)后必須作彈坑試驗； C、對一些硬件如氣嘴、流量（保護(hù)氣體），夾具，壓縮空氣等每班最少做一次檢查

10、，同時提醒作業(yè)員隨時檢查。 D、及時和客戶溝通，銅線產(chǎn)品Pad測試點（探針?。┬∮?0%，同時要保證一定的鋁層厚度，鋁層厚度對照表如下圖所示： Wire Thickness Bond pad thickness Metallization Composition m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Al, Si, Cu m Cu/NiP/Pd/Au bravoroy at 2008-12-10 00:09:38 thanks.good.up zj

11、w_828 at 2009-3-04 11 :49:38 Eagle60做TO220沒問題，線徑2。5MIL就可以，再大的話可能有點困難！ 如果成功請大家拿出來曬下，分享下！ 我司改做220，到現(xiàn)在為至還是可以的，合格率都是可以，一臺機器可以頂幾個半自動機器的，可以少不少人呢 dasiy at 2009-4-05 18 :03:10 看了大家的，我們公司也做。 公司當(dāng)時準(zhǔn)備的時候，升級版本，更改EFO BOX ，加N2H2保護(hù)氣，優(yōu)化參數(shù)。 但是 也做一些簡單的產(chǎn)品（SOT23，SOD123/323，SOT323/363，TO220/252/263，SLP系列）！ wgfzhong1985 a

12、t 2009-7-27 22 :23:50 220/263/dip8,top5/6 li7626505 at 2010-1-07 20 :20:23 sop14/8/16 dip8 TO-220 highywei at 2010-1-12 20 :37:44 EAGLE60 做的TO220 用 Kaijo FB880 做的SOP SC SOT DPAK 等等。還可以，比金線差 發(fā)布人: 曾斌 電話: 086 級別: VIP(個人) 查看店鋪 傳真: 價格: 面議 發(fā)布者IP： 網(wǎng)址: 郵件 地區(qū): 蘇州市 昆山 地址: 江西興國 (PC: 342400 ) 提醒您： 所有信息的真實性與合法性由信息提供者負(fù)責(zé),請您在進(jìn)行交易時注意辨別真?zhèn)巍?對于您所進(jìn)行的任何交易我們不作擔(dān)保，并且不承擔(dān)任何法律責(zé)任。 建議選擇同城當(dāng)面交易、二手商家的信息，提高警惕。信息，提高警惕。手機號碼所在地查詢： IP地址所在地查詢： 本文共有留言 3 篇閱讀 37