精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望

精密制造工程

2008.9精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第1頁!章精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第2頁!本章內(nèi)容發(fā)展精密和超精密加工技術(shù)的重要性超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀超精密加工技術(shù)發(fā)展展望精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第3頁!發(fā)展精密和超精密加工技術(shù)的重要性我國機(jī)械行業(yè)落后主要體現(xiàn)高度的自動化技術(shù)精密和超精密加工技術(shù)精密和超精密加工技術(shù)應(yīng)用范圍尖端技術(shù)國防工業(yè)微電子工業(yè)精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第4頁!

零件加工精度表面粗糙度激光光學(xué)零件形狀誤差0.1μmRa0.01～0.05μm

多面鏡平面度誤差0.04μmRa＜0.02μm

磁頭平面度誤差0.04μmRa＜0.02μm

磁盤波度0.01～0.02μmRa＜0.02μm雷達(dá)導(dǎo)波管平面度垂直度誤差＜0.1μmRa＜0.02μm衛(wèi)星儀表軸承圓柱度誤差＜0.01μmRa＜0.002μm

天體望遠(yuǎn)鏡形狀誤差＜0.03μmRa＜0.01μm幾種典型精密零件的加工精度精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第5頁!精密和超精密的作用提高綜合性能和質(zhì)量提高穩(wěn)定性和可靠性小型化裝配互換性好，易于實(shí)現(xiàn)自動裝配精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第6頁!精密加工的種類微蝕刻技術(shù)微成型加工微切削加工LIGA技術(shù)激光加工微電火花加工精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第7頁!陀螺儀右邊的圓球就是石英制的轉(zhuǎn)子，近乎完美的球體精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第8頁!大規(guī)模集成電路的芯片技術(shù)精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第9頁!大規(guī)模集成電路的芯片技術(shù)目前0.25-0.18μm已開始進(jìn)入大生產(chǎn)。0.15-0.13μm大生產(chǎn)技術(shù)也已完成開發(fā).集成電路技術(shù)是近50年來發(fā)展最快的技術(shù)，其設(shè)計(jì)規(guī)則從1959年以來40年間縮小了140倍,而平均晶體管價(jià)格降低了107倍。集成電路自發(fā)明以來，集成電路芯片的集成度每3年提高4倍，而加工特征尺寸縮小√2倍。這Intel公司創(chuàng)始人之一的GordonE.Moore博士1965年總結(jié)出的摩爾定律.精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第10頁!微細(xì)齒輪精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第11頁!剃須刀網(wǎng)刃的精密電鑄光刻彎曲成形電鍍沉積分離精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第12頁!精密加工方法及發(fā)展預(yù)測精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第13頁!超精密加工技術(shù)的新發(fā)展超精密的加工集成系統(tǒng)設(shè)備測量、檢測計(jì)算機(jī)控制、補(bǔ)償環(huán)境超精密加工的對象有色金屬及合金硬脆材料黑色金屬復(fù)合材料精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第14頁!超精密加工的設(shè)備美國LLL實(shí)驗(yàn)室的DTM-3、LODTM超精密金剛石車床英國Cranfield的OAGM2500超精密金剛石車床歐洲COLATH的超精密金剛石切削機(jī)床日本小型超精密金剛石切削機(jī)床精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第15頁!LODTM超精密金剛石車床精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第16頁!LawrenceLivermoreLaboratory精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第17頁!超精密加工機(jī)理研究切削工具金剛石刀具——有色金屬磨削、研磨——黑色金屬工件材料的處理方式精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第18頁!工作環(huán)境溫度振動潔凈度噪聲濕度其它精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第19頁!我國超精密加工技術(shù)發(fā)展展望超精密切削磨削的機(jī)理研究超精密設(shè)備性能超精密加工檢測以及誤差補(bǔ)償超精密加工環(huán)境控制超精密加工材料研究精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第20頁!精密與超精密加工技術(shù)概述◆精密加工——在一定的發(fā)展時(shí)期，加工精度和表面質(zhì)量達(dá)到較高程度的加工工藝。超精密加工——在一定的發(fā)展時(shí)期，加工精度和表面質(zhì)量達(dá)到最高程度的加工工藝?！敉咛馗倪M(jìn)蒸汽機(jī)——鏜孔精度1mm20世紀(jì)40年代——最高精度1μm20世紀(jì)末——精密加工：≤0.1μm，Ra

≤0.01μm（亞微米加工）超精密加工：≤0.01μm，Ra≤

0.001μm（納米加工）◆微細(xì)加工——微小尺寸的精密加工超微細(xì)加工——微小尺寸的超精密加工精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第21頁!精密加工與超精密加工的發(fā)展普通加工精密加工超精密加工超高精密磨床超精密研磨機(jī)離子束加工分子對位加工車床,銑床卡尺加工設(shè)備測量儀器精密車床磨床百分尺比較儀坐標(biāo)鏜床坐標(biāo)磨床氣動測微儀光學(xué)比較儀金剛石車床精密磨床光學(xué)磁尺電子比較儀超精密磨床精密研磨機(jī)激光測長儀圓度儀輪廓儀激光高精度測長儀掃描電鏡電子線分析儀加工誤差（μm）10010110210-210-110-3190019201940196019802000年份精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第22頁!是一個(gè)國家制造業(yè)水平重要標(biāo)志例：美國哈勃望遠(yuǎn)鏡形狀精度0.01μm；超大規(guī)模集成電路最小線寬0.1μm是先進(jìn)制造技術(shù)基礎(chǔ)和關(guān)鍵例：陀螺儀球圓度0.1μm，粗糙度Ra0.01μm，導(dǎo)彈命中精度控制在50m范圍內(nèi)；飛機(jī)發(fā)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片加工誤差從60μm降至12μm，發(fā)電機(jī)壓縮效率從89%提高到94%；齒形誤差從3-4μm減小1μm，單位重量齒輪箱扭矩可提高一倍是新技術(shù)的生長點(diǎn)精密制造涉及多種基礎(chǔ)學(xué)科和多種新興技術(shù)，其發(fā)展將會帶動和促進(jìn)這些相關(guān)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展精密與超精密加工地位精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第23頁!精密和超精密舉例陀螺儀人造衛(wèi)星儀表的真空無潤滑軸承Hubble望遠(yuǎn)鏡飛機(jī)發(fā)動機(jī)葉片大規(guī)模集成電路計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)民用產(chǎn)品精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第24頁!飛機(jī)發(fā)動機(jī)的葉片精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第25頁!大規(guī)模集成電路單晶硅切片制造芯片切割封裝芯片局部顯微圖像

精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第26頁!Hubble望遠(yuǎn)鏡精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第27頁!計(jì)算機(jī)存儲介質(zhì)精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第28頁!精密制造的主要研究領(lǐng)域精密切削精密磨削和研磨特種精密加工微細(xì)加工精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第29頁!超精密加工技術(shù)的現(xiàn)狀超精密加工技術(shù)的新發(fā)展超精密加工的設(shè)備超精密加工機(jī)理研究檢測和誤差補(bǔ)償工作環(huán)境精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第30頁!中小型精密零件的加工精度加工零件(μm)Ra(μm)形狀精度激光光學(xué)零件0.01~0.0060.1磁頭0.02平面度0.04多面鏡0.01~0.02平面度0.04磁盤0.01~0.004波度0.02~0.01磁盤0.01~0.004波度0.02~0.01非球面模具0.011~0.3精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第31頁!LODTM超精密金剛石車床精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第32頁!精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第33頁!我國研發(fā)的納米級超精密數(shù)控車床NAM-800

精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第34頁!檢測和誤差補(bǔ)償工件檢測光波干涉測量隧道掃描顯微鏡機(jī)床本身精度檢測主軸工作臺徑向跳動機(jī)床重復(fù)定位精度檢測精密和超精密加工技術(shù)及發(fā)展展望共37頁，您現(xiàn)在瀏覽的是第35頁!超精密加工技術(shù)發(fā)展