版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)
文檔簡介
第四章金屬-氧化物-半導(dǎo)所謂“MOS”指的僅是金屬-二氧化這一章里始終討論MOS系統(tǒng)。Metal–Oxide–SemiconductorField-EffectMOSFET的 施加小的正偏柵壓后的MOSp型襯底MOS電容器的能 afpVtln a d d
1/ 如果柵壓大于這個閾值,導(dǎo)帶會輕微地向能級彎曲,荷寬度的改變卻是微弱的 4
0N型半導(dǎo)體襯底,襯 勢 VlnNd4 1/
n n fn
其中 襯 勢=0.347V,N=1016cm-化硅0.9V,Φm’修正的金屬功函數(shù)-從金屬向氧化物導(dǎo)帶注入一個電子需要的能量即金屬-二氧化硅界面勢壘高度;’修正的電子親和能 零柵壓時穿過氧化I
Φm’修正的金屬功函數(shù)-從金屬向氧化物導(dǎo)帶注入一個電子需把金屬一側(cè)的能級與半導(dǎo)體一側(cè)的能級相加,可以
e
2
('
OX s E
('
g)] n+多晶硅
'Eg('
)]Eg e fp
['(' )] fp
('
并且在Si-SiO2界面處反應(yīng)生成SiO2,硅原子也Q’氧化層中的單位面積凈固定電荷,位于氧化層-零柵壓時 VOX0s0GVGVOXs
0;VO
Q VOQC
Q QC 當(dāng)平帶時,表面勢為零?S=0,平帶電壓VG
VFBVOX
msms
壓,以VTn溝器件此時?S=2?fpQmT’VGVOXSVTNVOXT2fp
'Qss'
QsD
eN QmT'
1
'
1Q '
' C C
QSDQSD
VS電壓VG降落在半導(dǎo)體表面的部分VFB:平 對于n型襯 1 ' ' CC
QQSD
柵電極柵柵電極柵P型半導(dǎo)強反型時的電荷分QnQB:半導(dǎo)體表面耗盡層中空間電荷QQGQOXQnQB閾值電壓(補理想狀態(tài)MOSFET的閾值電1理想狀2.溝道形成時的臨界狀4.出現(xiàn)強反型后 1 20VS
40
lnNAd
q2 1 i1QB
qNAxdmax20qNAVS4.1.5閾值電壓(補
QG
單位
層QGQnQBQOX 剛達到強反型時Q
n
理想下不4.1.5閾值電壓(補柵電極柵柵電極柵氧化層P型半QB空間電荷區(qū)寬(強反型時可視為Q空間電荷區(qū)寬(強反型時可視為12V
4 NxB s
A q2
1QB2s0qNAVS4.1.5閾值電壓(補柵電極柵氧柵電極柵氧化層P型半QBVV BC2 qN 12CCOXt單位柵電柵氧厚4.1.5閾值電壓(補VGVox 2F
2kTlnNA iT QBT
2F
2qNA2F11
4.1.5閾值電壓(補實際MOS結(jié)構(gòu)的特
0,Vms
4.1.5閾值電壓(補VGVFBVox
QoxQB
FF
QoxqNAxdmax2kTlnNA V
QoxqNDxd
2kTlnND
4.1.5閾值電壓(補
20
1Ad 1A4.1.5閾值電壓(補114.1.5閾值電壓(補1 1Ad A1 1VTn
Qox12qNVV(y)|
1 1
4.1.5 1Q ' '2CC
QSDQSDC
柵電容4.1.5影響閾值電壓的 0 |VT
C
t1 1Q ' '2C C
1Q
' '2
('
('
摻雜濃度影響,濃度升高一個數(shù)量級,?ms減小n+多晶硅
P+多晶硅
fp
1
' '2
1CQSDqNAxdmax20qNA2F1C1QSD20qNA2F1
1Q '
' C C
襯底雜質(zhì)在1014-1017范圍內(nèi),與襯 1Q ' '2
QSD QSD C-++P---柵氧化層界面處的反型層電子濃度(p型襯底)為閾值反型點的表面勢為φs>2φfp=0.695V。柵氧化層界面處 CC'(acc)CoxMOS電容電壓的微小變化導(dǎo)致反型數(shù)。得更負。由于它不是柵壓的函數(shù),因此C-V特性平移
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 蘇教版二年級數(shù)學(xué)上冊全冊教案教學(xué)設(shè)計
- 2024汽車行業(yè)社媒營銷趨勢-微播易CAA中國廣告協(xié)會-2024.08-98正式版
- 汽車發(fā)動機構(gòu)造與維修 教案 7.1認識發(fā)動機活塞連桿總成零部件名稱及標識符號
- 蘇教版二年級數(shù)學(xué)下冊檢測卷(含答案)
- 記賬實操-點心培訓(xùn)企業(yè)的賬務(wù)處理分錄
- 《汽車發(fā)動機構(gòu)造與維修》 課件 項目三 任務(wù)1認識配氣機構(gòu)
- 省交投白鷺錦城管網(wǎng)建設(shè)項目清單
- 《經(jīng)典詩詞誦讀》音韻之美教案
- 2024智慧居家養(yǎng)老服務(wù)解決方案
- (5)函數(shù)(A卷)-八年級數(shù)學(xué)冀教版暑假作業(yè)(含答案)
- 2025屆高考語文復(fù)習(xí):作文審題立意 課件
- 我的暑假生活總結(jié)匯報演講
- 玉米螟調(diào)查與防治 (1)課件講解
- 能源電力系統(tǒng)安全生產(chǎn)治本攻堅三年行動方案(2024-2026年)
- 高校教師入職培訓(xùn)課件
- 子宮異常出血病例查房
- 英語論文 淺談核心素養(yǎng)引領(lǐng)下如何創(chuàng)新初中英語的作業(yè)內(nèi)容和形式 論文
- GB/T 18910.4-2024液晶顯示器件第4部分:液晶顯示模塊和屏基本額定值和特性
- 水庫水雨情自動測報系統(tǒng)項目驗收方案
- 割草承包合同
- 《朝花夕拾》父親的病
評論
0/150
提交評論