標準解讀

《GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)》這一標準詳細規(guī)定了電子工業(yè)中所使用的硅烷(SiH4)氣體的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保硅烷氣體的質量滿足電子工業(yè)生產過程中的特定需求。以下是對該標準主要內容的展開說明：

  1. 范圍：明確了本標準適用于以硅烷為主要成分，用于電子器件制造過程中的高純度硅烷氣體。規(guī)定了其適用的純度等級、雜質含量限制及其它關鍵質量指標。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了執(zhí)行本標準時需要參考的其他相關國家標準或規(guī)范文件，這些文件對于理解及實施具體測試和評判標準至關重要。

  3. 術語和定義：對硅烷及其相關專業(yè)術語進行定義，幫助讀者準確理解標準內容。

  4. 要求：

    • 純度：規(guī)定了硅烷氣體的最低純度要求，通常要求極高純度以避免雜質對半導體器件性能的影響。
    • 雜質含量：詳細列出了可能存在的雜質元素（如氧、氮、碳氫化合物等）及其最大允許含量，確保這些雜質不會對最終產品的性能造成不良影響。
    • 物理性質：雖不直接作為質量控制指標，但可能提供了關于氣體存儲和運輸條件的信息。

  5. 試驗方法：描述了如何通過化學分析、氣相色譜法等手段來測定硅烷的純度及雜質含量，確保測試結果的準確性和可重復性。

  6. 檢驗規(guī)則：包括了產品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、合格判定準則等，確保每批次硅烷氣體均符合標準要求。

  7. 包裝、標志、運輸和儲存：

    • 包裝：規(guī)定了硅烷氣體應采用的容器材質、密封要求，以防止氣體泄漏和外界污染。
    • 標志：要求在包裝上明確標注產品名稱、批號、純度等級、生產日期、有效期及安全警示等信息。
    • 運輸：提供了運輸過程中應遵循的安全措施和注意事項，以防止事故和保持氣體品質。
    • 儲存：指明了硅烷氣體的理想儲存條件，如溫度、壓力、避光及遠離火源等，以維持其穩(wěn)定性和純度。

該標準為電子工業(yè)領域內硅烷氣體的生產、檢測、銷售及使用提供了一套全面而嚴格的質量控制框架，保障了半導體制造業(yè)原材料的質量安全與可靠性。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 15909-2009
  • 1995-12-20 頒布
  • 1996-08-01 實施
?正版授權
GB/T 15909-1995電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)_第1頁
GB/T 15909-1995電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)_第2頁
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文檔簡介

1CS71.100.20G86中華人民共和國國家標準CB/T15909一1995電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)Gasforelectronicindustry-Silane1995-12-20發(fā)布1996-08-01實施國家技術監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標準cB/T15909-1995電子工業(yè)用氣體硅烷（SiHI）Gasforelectronicindustry-Silane1主題內客與適用范圍本標準規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、財存和安全要求等。本標準主要用于電子工業(yè)中多品硅和單品硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學汽相淀積、非品硅薄膜淀積等。分子式：SiH相對分子質量：32.117(按1991年國際相對原子質量)。101.3kPa下的沸點：一112C。20℃和101.3kPa下氣體密度：1.342kg/m2。-185C下液體密度：711kg/m2。2引用標準GB190危險貨物包裝標志！無機化工產品中氯化物含量測定的通用方法GB/T3051量法GB/T5274體分析枚準用混和氣體的制備·稱量法GB/T5832.1氣體中微量水分的測定電解法GB7144氣瓶顏色標記3技術要求3.1質量指標硅烷的質量應符合下表的要求。對硅燒中重金屬和顆粒的要求由供方與用戶商定。純度：10-一氧化碳和二氧化碳(CO+CO.),10°氯化物總量（包括氯硅燒.HCI等可離子化的氯化物),10-100烴(C～C,）,10-氫(H.),10-。9001復（N.）,10-氧(0.）,10-水（H.O)

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