GB/T 15909-1995電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4)

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)》這一標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了電子工業(yè)中所使用的硅烷(SiH4)氣體的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運輸和儲存要求，旨在確保硅烷氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)生產(chǎn)過程中的特定需求。以下是對該標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的展開說明：

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于以硅烷為主要成分，用于電子器件制造過程中的高純度硅烷氣體。規(guī)定了其適用的純度等級、雜質(zhì)含量限制及其它關(guān)鍵質(zhì)量指標(biāo)。

2. 規(guī)范性引用文件：列出了執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)時需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)范文件，這些文件對于理解及實施具體測試和評判標(biāo)準(zhǔn)至關(guān)重要。

3. 術(shù)語和定義：對硅烷及其相關(guān)專業(yè)術(shù)語進(jìn)行定義，幫助讀者準(zhǔn)確理解標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容。

4. 要求：

   • 純度：規(guī)定了硅烷氣體的最低純度要求，通常要求極高純度以避免雜質(zhì)對半導(dǎo)體器件性能的影響。
   • 雜質(zhì)含量：詳細(xì)列出了可能存在的雜質(zhì)元素（如氧、氮、碳?xì)浠衔锏龋┘捌渥畲笤试S含量，確保這些雜質(zhì)不會對最終產(chǎn)品的性能造成不良影響。
   • 物理性質(zhì)：雖不直接作為質(zhì)量控制指標(biāo)，但可能提供了關(guān)于氣體存儲和運輸條件的信息。

5. 試驗方法：描述了如何通過化學(xué)分析、氣相色譜法等手段來測定硅烷的純度及雜質(zhì)含量，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

6. 檢驗規(guī)則：包括了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等，確保每批次硅烷氣體均符合標(biāo)準(zhǔn)要求。

7. 包裝、標(biāo)志、運輸和儲存：

   • 包裝：規(guī)定了硅烷氣體應(yīng)采用的容器材質(zhì)、密封要求，以防止氣體泄漏和外界污染。
   • 標(biāo)志：要求在包裝上明確標(biāo)注產(chǎn)品名稱、批號、純度等級、生產(chǎn)日期、有效期及安全警示等信息。
   • 運輸：提供了運輸過程中應(yīng)遵循的安全措施和注意事項，以防止事故和保持氣體品質(zhì)。
   • 儲存：指明了硅烷氣體的理想儲存條件，如溫度、壓力、避光及遠(yuǎn)離火源等，以維持其穩(wěn)定性和純度。

該標(biāo)準(zhǔn)為電子工業(yè)領(lǐng)域內(nèi)硅烷氣體的生產(chǎn)、檢測、銷售及使用提供了一套全面而嚴(yán)格的質(zhì)量控制框架，保障了半導(dǎo)體制造業(yè)原材料的質(zhì)量安全與可靠性。

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