標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 20228-2006《砷化鎵單晶》是中國關(guān)于砷化鎵(GaAs)單晶材料的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。這一標(biāo)準(zhǔn)詳細規(guī)定了砷化鎵單晶的分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸、儲存等要求,旨在確保砷化鎵單晶產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性,適用于半導(dǎo)體器件制造等領(lǐng)域。
標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽:
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范圍:明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的砷化鎵單晶類型,包括未摻雜、摻雜以及特定用途的砷化鎵單晶。
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規(guī)范性引用文件:列出了執(zhí)行該標(biāo)準(zhǔn)時需要參考的其他相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。
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術(shù)語和定義:對標(biāo)準(zhǔn)中使用的專業(yè)術(shù)語進行了界定,幫助讀者準(zhǔn)確理解各項要求。
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分類:根據(jù)砷化鎵單晶的直徑、導(dǎo)電類型(如N型、P型)、摻雜元素及濃度等進行分類。
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技術(shù)要求:
- 外觀:規(guī)定了砷化鎵單晶表面應(yīng)無明顯缺陷,如裂紋、夾雜等。
- 尺寸和形狀:詳細說明了單晶直徑、長度及其允許偏差,以及端面平整度等要求。
- 晶體質(zhì)量:涉及位錯密度、微缺陷分布等,以確保材料的電學(xué)性能和機械強度。
- 化學(xué)成分:規(guī)定了砷和鎵的比例以及可能的雜質(zhì)元素含量上限,確保材料純度。
- 導(dǎo)電性能:包括電阻率、霍爾系數(shù)等電學(xué)參數(shù)的指標(biāo)范圍。
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試驗方法:介紹了如何通過各種物理、化學(xué)測試手段來驗證單晶的尺寸、純度、電學(xué)性能等是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求。
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檢驗規(guī)則:規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗項目、抽樣方案及合格判定準(zhǔn)則,確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量一致性。
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標(biāo)志、包裝、運輸、儲存:詳細說明了砷化鎵單晶在標(biāo)識、包裝材料選擇、運輸防護措施及儲存條件等方面的要求,以防止損壞和污染。
實施意義:
該標(biāo)準(zhǔn)為砷化鎵單晶的生產(chǎn)、檢驗和應(yīng)用提供了統(tǒng)一的技術(shù)依據(jù),有助于提升國內(nèi)砷化鎵材料的標(biāo)準(zhǔn)化水平,促進半導(dǎo)體行業(yè)的健康發(fā)展,同時也有利于國際貿(mào)易中的產(chǎn)品質(zhì)量認(rèn)可與交流。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
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- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 20228-2021
- 2006-04-21 頒布
- 2006-10-01 實施
下載本文檔
文檔簡介
ICS29.045H83中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20228—2006砷化家單晶Calliumarsenidesinglecrystal2006-04-21發(fā)布2006-10-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
GB/T20228—2006前本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會提出本標(biāo)準(zhǔn)由信息產(chǎn)業(yè)部(電子)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:北京有色金屬研究總院。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:王繼榮、武壯文、于洪國、張海濤.
GB/T20228—2006神化家單晶1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了砷化家單晶的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則和標(biāo)志、包裝等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種方法生長的砷化鏢單品,產(chǎn)品主要用于光電器件、微波器件、集成電路、傳感元件和窗口材料等的制作。2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而.鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T1555半導(dǎo)體單品品向測定方法GB/T4326非本征半導(dǎo)體單品霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測量方法GB/T8760砷化鏢單品位錯密度的測量方法GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語GB/T14844半導(dǎo)體材料牌號表示方法GJB1927砷化家單品材料測試方法術(shù)語、定義GB/T14264確立的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)31單品inglecrystal指各種方法生長的砷化鏢體單品3.2rig0t指各種方法生長的砷化鏢單品品鍵4要求4.1產(chǎn)品分類4.1.1產(chǎn)品按導(dǎo)電類型分為SI型、n型和p型4.1.2產(chǎn)品按生長方法分為液封直拉法(LEC)、垂直梯度凝固法(VGF)、垂直布里奇曼法(VB)、水平布里奇曼法(HB)等。4.2單晶牌號單晶牌號參照GB/T148444.3單晶鍵的表示方法示例:HBGaAsTe表示水平布里奇曼法生長的摻蹄神化鏢單品LECGaAsnone表示液封直拉法非摻神化管單品。VGFGaAs
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