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文檔簡(jiǎn)介
第六章
溶液鍍膜法
薄膜制備過程中,基片與溶液接觸,利用化學(xué)反應(yīng)或電化學(xué)反應(yīng)等在基片表面沉積薄膜的制備方法,包括化學(xué)鍍,Sol-Gel,MOD,陽極氧化,電鍍,LB膜等,又稱濕法鍍膜§6-1化學(xué)反應(yīng)沉積
化學(xué)鍍--實(shí)際上是指自催化化學(xué)鍍定義在還原劑的作用下,使溶液中的金屬離子還原成原子而沉積在基板上的方法。
催化劑正是膜層物質(zhì)本身。無電源,自身化學(xué)反應(yīng),它與一般的化學(xué)沉積法同屬不通電而靠化學(xué)反應(yīng)沉積金屬的方法。區(qū)別在于,是否要催化劑。
自催化化學(xué)鍍的特點(diǎn):
(1)可在復(fù)雜的鍍體表面形成均勻的鍍層。
(2)鍍層的孔隙率較低。
(3)可以直接在塑料、陶瓷、玻璃上沉積鍍膜。
(4)鍍層具有特殊的化學(xué)物理性質(zhì)。
(5)不要電源,沒有電極。反應(yīng)過程
溶膠-凝膠法
金屬化合物分解的方法來獲得所需的薄膜。步驟:將前驅(qū)物溶于合適的溶液中成為溶膠鍍液。前驅(qū)物可以是堿性氧化物、金屬有機(jī)化合物、或無機(jī)鹽,應(yīng)含有所需的金屬離子。溶膠應(yīng)具有合適的粘度和較高的濃度,以提高沉積薄膜的致密度和均勻性。采用浸漬、離心甩膠、或噴涂的方法涂在基體表面,形成溶膠膜。液態(tài)的溶膠膜經(jīng)過干燥脫水生成凝膠膜經(jīng)過熱處理和晶化處理然后而形成固體薄膜。涂膠方法浸漬提拉法浸漬→提拉法→熱處理液膜,由于溶劑大量迅速蒸發(fā),干燥形成凝膠膜,然后進(jìn)行熱處理,得一層氧化物膜,每次循環(huán)可控制膜厚5-30nm??梢远啻窝h(huán),但是必須充分干燥和熱處理。
旋覆法浸漬法膜厚控制不易,不適合于小襯底,特別是小圓襯底。而旋覆正好適合于小圓襯底,但大面積均勻膜困難?!?-2陽極氧化法
在電解液中,使鋁、鎂等金屬或者合金作陽極,并加上一定的直流電壓,利用電化學(xué)反應(yīng)在陽極金屬表面形成氧化物薄膜的方法。存在兩個(gè)過程,一個(gè)是金屬氧化物的形成,一個(gè)是金屬溶解。金屬的氧化反應(yīng):
M+nH2O→MOn+2nH+
+2ne金屬的溶解反應(yīng):
M→M2n+2ne膜的形態(tài):多孔形和屏蔽形Al為例,六角形柱壯晶柱。各柱中有通過中心的細(xì)孔。在含有二氯基酸的硫酸、草酸、磷酸中形成多孔形膜。而在硼酸鹽,磷酸鹽等中性溶液中生成薄的致密的屏障形薄膜。機(jī)理:膜局部溶解→多孔形膜不發(fā)生溶解→屏蔽形膜。用途: 多孔形膜,防金屬腐蝕,磨損,裝飾。屏蔽形膜,電解電容器。
§6-3電鍍法
電鍍:在含有被鍍金屬離子得水溶液中通過直流電,使得正離子在陰極上放電,得到金屬薄膜。化學(xué)鍍:不從外部供電,利用氧化還原反應(yīng)或者置換反應(yīng),使得金屬鹽水溶液中得金屬離子在基片表面析出的方法。Fe片插入Cu2+。置換反應(yīng)價(jià)值不大,更多的是氧化還原反應(yīng)。電鍍液:
a)水溶液,金屬鹽溶于其中,廣泛應(yīng)用。
b)非水溶液,有機(jī)或無機(jī)溶劑溶解金屬,幾乎無工業(yè)應(yīng)用。
c)熔鹽,熔融鋁鹽為工業(yè)采用。陽極:陽極為被鍍的金屬,提高陽極電位,使陰極溶解。特點(diǎn):膜層致密,光滑,無針孔但是膜層厚度受鍍件外形的影響←擴(kuò)散不均。
薄膜的制備方法:
A.垂直浸漬法浸潤與不浸潤現(xiàn)象單分子層與基板間的液面凸凹情況,視插入與提起的操作而定。將基片在單分子層上下移動(dòng),每上下移動(dòng)一次可得到1-2層膜。若基片是疏水性的,膜層的疏水端就會(huì)吸附在基板上。只能在插入的過程中附著一層膜。若基片是親水性的,只能在提起的過程中附著一層膜。
附著一層膜的,可連續(xù)附著另一層膜的,稱Y型膜ηup≈
ηdown≈1
疏水基板:只能在插入過程中附著一層膜,稱X型膜(不穩(wěn)定)ηup≈
0親水基板:只能在提出過程中附著一層膜,稱Z型膜(不穩(wěn)定)ηdown≈0水平附著法表面平滑,水平的基板從上向下緩慢下降,可制得理想的X型膜。
LB膜的特點(diǎn):
A.可制得高結(jié)晶度的有機(jī)薄膜。
B.可制得超薄,均勻,厚度及分子層數(shù)可控的薄膜
C.可方便制取各種異質(zhì)LB膜
D.通過聚合反應(yīng)可改善共熱穩(wěn)定性、機(jī)械穩(wěn)定性、并可能改變某些電學(xué)、光學(xué)性能§6-5液相外延(LPE)
定義一種從飽和溶液中,在單晶襯底上生長(zhǎng)外延層的方法。原理溶質(zhì)的溶解度隨高溫降低而減少,因此飽和溶液,它與單晶襯底接觸后被冷卻,若條件適合,析出的溶質(zhì)就外延在襯底上。LPE的優(yōu)點(diǎn):
A.生長(zhǎng)設(shè)備比較簡(jiǎn)單B.純度比較高,生長(zhǎng)速率較快C.組分和厚度可較精確控制,重復(fù)性好D.摻雜劑選擇范圍比較廣E.外延層位錯(cuò)密度較低F.操作安全缺點(diǎn):表面形貌大都不如氣相外延的好。生長(zhǎng)方法:
A.傾斜法缺點(diǎn):溶液和生長(zhǎng)晶體表面分離不完全,有部分溶液粘
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