無塵室驗證標準及程序

無塵室驗證標準及程序

大綱壹.測試驗證說明貳.測試驗證設(shè)備一覽表參.測試驗證步驟說明肆.測試驗證方法與程序

壹、測試驗證說明無塵室驗收測試規(guī)範依據(jù)如下：ISO-14644:世界標準組織制定無塵室測試之標準規(guī)範NEBB:美國國家環(huán)境平衡協(xié)會所制定無塵室測試之標準規(guī)範

無塵室測試分三階段:

第一階段AsBuilt

第二階段AtRest(由吉威配合業(yè)主部份需求點進行抽測)

第三階段Operation(由吉威配合業(yè)主部份需求點進行抽測)AsBuilt潔淨室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備未搬入之狀態(tài)AtRest潔淨室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備已搬入但未運轉(zhuǎn)之狀態(tài)OnOperation潔淨室建造完成，生產(chǎn)設(shè)備已搬入且運轉(zhuǎn)之狀態(tài)

測試前空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)已完成測試、調(diào)整、平衡，並已連續(xù)運轉(zhuǎn)48小時以上.

無塵室測試驗證項目1.濾網(wǎng)風速測試(Airflowvelocitytesting)2.濾網(wǎng)洩漏測試(Filterleakagetesting)3.無塵室內(nèi)溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting)4.無塵室內(nèi)壓差測試(Roompressurizationtesting)5.無塵室內(nèi)噪音測試(Noiseleveltesting)6.無塵室內(nèi)照度測試(Lightingleveltesting)7.無塵室內(nèi)環(huán)境微粒子測試(AirParticlecounts)8.無塵室內(nèi)地板靜電測試(FloorConductivitytesting)

貳.測試驗證設(shè)備一覽表NoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark1AirflowVelocityTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M98801+/-3%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM97311+/-3%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M89721+/-3%ofreading2FilterInstallationLeakTestPMSAerosolParticleCounterLasair-11035235-0696-4125%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasair-110150575%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasair-11036634-0697-5845%coincidencelose3AirborneParticleCountTestPMSAerosolParticleCounterLasairII-310A447345%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasairII-310A363335%coincidencelose4RoomPressurizationTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM04850+/-2%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM89721+/-2%ofreadingNoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark5Temperature&RelativeHumidityTestTestoDataLogerTesto175-H220063921/507Temperature:+/-0.10C

R/H:+/-3%

TestoDataLogerTesto175-H220063695/507Temperature:+/-0.10C

R/H:+/-4%6SoundPressureLevelTestSoundLevelMeterRIONNL-2100443361IEC/CDV61572-1Class27LightIntensityLevelTestHiokiLightIntensityLevelMeter34230834380+/-4%

ofreading,

+/-1digit8FloorConductivityTest3Mmegaohmmeter702346016+/-2%ofreading

參、測試驗證步驟說明

測試前準備工作:竣工圖面與點數(shù)確認備妥測試程序計劃及依據(jù)規(guī)範之標準.測試前無塵室空調(diào)系統(tǒng)已完成,並已持續(xù)運轉(zhuǎn)48小時以上.測試進行當中,業(yè)主需派人或代表在現(xiàn)場監(jiān)工以表測試結(jié)果認同.

肆.測試驗證方法與程序

一.濾網(wǎng)風速測試(Airflowvelocitytesting):AsBuilt

目的判定潔凈室過濾器(ULPA/HEPAfilter)的風速規(guī)格對于每個2`X4`過濾器,距離其表面150MM處均勻取2個讀數(shù)對于每個4`X4`過濾器,距離其表面150MM處均勻取4個讀數(shù)平均風速：0.45m/s±20%測試狀態(tài)：空態(tài)方法參照：IESRecommendedPractice,IES-RP-CC006.2TestingCleanroomsNEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter5.)每個過濾器分成兩個或四個測試格.裝置好儀表和十字支架并調(diào)整好儀表的內(nèi)部設(shè)定.十字支架尺寸為14’X14’，測試時把支架放在過濾器中間的位

置，接觸在過濾器的表面并且和過濾器邊緣保持平行.4.

讀取和記錄每個格子的數(shù)據(jù).

二.濾網(wǎng)洩漏測試(Filterleakagetesting):AsBuilt

目的查證過濾器的安裝瑕疵

(FILTER外緣和CeilingGrid之間)而且確定過濾器是否在安裝中因過失產(chǎn)生小的漏洞.規(guī)格測試狀態(tài)：空態(tài)1.沒有額外的塵粒在被測試的過濾器的上游。2.在ULPA/HEPA過濾器下游0.1微米粒子檢測后不能多于1個.3.對于每個過濾器，任何再修理過的表面不能超過

0.5sq.英寸.

方法參照：IESRecommendedPractice,IES-RP-CC006.2TestingCleanroomNEBBProceduralStandardforCertifiedofCleanroom(Chapter6.)1.過濾器表面風速確保是在設(shè)計范圍以內(nèi).2.取上游氣流，塵粒的尺寸在0.1微米以上.3.激光粒子計數(shù)器以0.1微米及以上通道測試過濾器檢漏，采樣量為1ft3/min.4.用粒子計數(shù)器的探頭掃描過濾器，探頭選擇可獲取均勻采樣量的尺寸,掃描速度5cm/s.

濾網(wǎng)(filter)掃瞄路徑采樣頭離過濾器之間的距離為1英寸，看是否有探測到多于1

個粒子在來源于同一個地方.6.所有已確定或是懷疑的過濾器做一下記錄，在補救及整改之后重新再測一次。當過濾器無法修補或更換,記錄下來并反映重新替換.

三.無塵室內(nèi)溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting):AsBuilt

目的

判定潔凈室HVAC系統(tǒng)容量是否能將潔凈室內(nèi)的

溫度和相對濕度維持在指定的范圍內(nèi)..規(guī)格22oC+/-2℃55%+/-5%測試狀態(tài)：空態(tài)方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter10.)1.測試之前所有氣流平衡已經(jīng)成功完成.2.測試開始前空調(diào)系統(tǒng)連續(xù)運行至少24小時以上.3.每個溫控區(qū)測試一個測試點,每個房間至少一個測試點.4.潔凈室測試表格分成不大于9平方米.5.溫度連同濕度傳感器置于測試格中央，距地板的1米的位置.6.如果測試位置有障礙物,可選擇位于阻礙物上的6英尺處,并避免潔凈室入口位置進行測試7.每次測量時間為10分鐘.8.采集所有讀數(shù)并記錄.

四.無塵室內(nèi)壓差測試(Roompressurizationtesting):AsBuilt

目的

判定潔凈室系統(tǒng)的性能，使?jié)崈羰冶３种付ǖ膲翰?。?guī)格壓力差別：依原設(shè)計各分區(qū)對外壓差測試狀態(tài)：空態(tài)方法：參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter8.)1.測試之前所有氣流平衡已經(jīng)成功完成.2.在此測試期間,潔凈室相鄰的門都是關(guān)閉的.3.測量和記下兩個潔凈室之間的壓力差別.

五.無塵室內(nèi)噪音測試(Noiseleveltesting):AsBuilt目的

測量潔凈室里的機械和電力系統(tǒng)所產(chǎn)生的噪聲規(guī)格平均噪聲：<=NC65測試狀態(tài)：空態(tài)方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter9.)1.測試之前所有氣流平衡已經(jīng)完成.2.在讀取讀數(shù)之前所有的風機單元和空調(diào)設(shè)備均已開啟.3.潔凈室每個測試格不大于40平方米.4.噪聲儀距地板以上1米的位置,同時探頭指向運行的設(shè)備.5.噪音儀測試單位NC,在每個測試點讀取數(shù)據(jù).6.如果測試位置有障礙物,可選擇位于阻礙物上的6英尺處,并於避免潔凈室入口位置進行測試.7.用算術(shù)的方法來計算房間的平均噪聲數(shù)據(jù).

六.無塵室內(nèi)照度測試(Lightingleveltesting):AsBuilt

目的在潔凈室內(nèi)工作高度位置的光照度規(guī)格平均光照度:依原設(shè)計規(guī)範需求測試狀態(tài)：空態(tài)方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter11.)1.所有的熒光燈開過至少在100小時.2.在測試前確保照明燈開著至少在2小時以上.3.潔凈室每個測試格不大于25平方米.4.光照儀表在測試格中央，距地板上1米的位置.5.如果測試位置有障礙物,可選擇位于阻礙物上的6英尺處,并避免潔凈室入口位置進行測試.6.采集所有讀數(shù)并記錄.

七.無塵室內(nèi)環(huán)境微粒子測試(AirParticlecounts):AsBuilt

目的用于檢查或驗證潔凈室是否達到設(shè)計要求的潔凈等級規(guī)格測試狀態(tài)：空態(tài)方法參考：ISO14644-1/2

NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom

1.在測試前潔凈室至少凈化12小時以上.2.潔凈室的測試格以不少于總面積開平方根的數(shù)量來均勻劃分。3.取樣量為每分鐘1個立方英尺,取樣時間為一分鐘。4.在每個點的中心最小取一分鐘，高度在1米左右.5.當有障礙物時采樣點放在障礙物12英寸上面.ISO14644-1&FederalStandard209E

潔淨等級比較表FederalStandard209EISO14644-1FSClassISOClass-1-21310410051,000610,0007100,0008ISOClassificationMaximumConcentrationlimits(particles/m3forair)forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow.0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μmISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237