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1T/CASMESXXX—2024防微振隔振器性能檢測(cè)規(guī)范本文件規(guī)定了防微振隔振器性能檢測(cè)的產(chǎn)品分類、基本要求、檢測(cè)要求、檢驗(yàn)規(guī)則。本文件適用于防微振隔振器性能檢測(cè)。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T531.1硫化橡膠或熱塑性橡膠壓入硬度試驗(yàn)方法第1部分:邵氏硬度計(jì)法(邵爾硬度)GB/T528硫化橡膠或熱塑性橡膠拉伸應(yīng)力應(yīng)變性能的測(cè)定GB/T1222彈簧鋼GB/T2423.18環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn)Kb:鹽霧,交變(氯化鈉溶液)GB/T2423.102電工電子產(chǎn)品環(huán)境試驗(yàn)第2部分:試驗(yàn)方法試驗(yàn):溫度(低溫、高溫)/低氣壓/振動(dòng)(正弦)綜合GB/T2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第1部分:按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃GB/T3512硫化橡膠或熱塑性橡膠熱空氣加速老化和耐熱試驗(yàn)GB/T7759.1硫化橡膠或熱塑性橡膠壓縮永久變形的測(cè)定第1部分:在常溫及高溫條件下GB/T7759.2硫化橡膠或熱塑性橡膠壓縮永久變形的測(cè)定第2部分:在低溫條件下GB/T9286色漆和清漆劃格試驗(yàn)GB/T11211硫化橡膠或熱塑性橡膠與金屬粘合強(qiáng)度的測(cè)定二板法GB/T13452.2色漆和清漆漆膜厚度的測(cè)定GB/T15168振動(dòng)與沖擊隔離器靜、動(dòng)態(tài)性能測(cè)試方法SJ/T10178隔振器特性測(cè)試方法3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1微振動(dòng)microvibration影響精密設(shè)備及儀器正常運(yùn)行的振動(dòng)幅值較低的環(huán)境振動(dòng)。3.2容許振動(dòng)值allowablevibrationvalue保證精密設(shè)備及儀器能正常運(yùn)行的支承結(jié)構(gòu)處的最大振動(dòng)量值。2T/CASMESXXX—20243.3隔振器vibrationisolators具有衰減振動(dòng)功能的支撐元件。3.4零剛度傳感器zeroStiffnessSensor高靈敏度壓電式加速度傳感器。3.5信號(hào)發(fā)生器signalgenerator具有集函數(shù)信號(hào)發(fā)生器、任意波形發(fā)生器、脈沖信號(hào)發(fā)生器、噪聲發(fā)生器、VCO、計(jì)數(shù)器、頻率計(jì)、掃頻等功能的信號(hào)發(fā)生裝置。3.6檢測(cè)點(diǎn)detectionpoint位于夾具、振動(dòng)臺(tái)或試驗(yàn)樣品上的點(diǎn)。并且要求盡可能接近于一個(gè)固定點(diǎn),在任何情況下都要與固定點(diǎn)剛性連接。4產(chǎn)品分類防微振隔振器可分為:a)零剛度隔振器系列:1)手動(dòng)零剛度隔振器;2)自動(dòng)零剛度隔振器;3)自動(dòng)調(diào)節(jié)零剛度隔振桌面;4)模塊化零剛度隔振系統(tǒng)。a)超阻尼氣浮隔振器系列:1)超薄型超阻尼氣浮隔振器;2)標(biāo)準(zhǔn)型超阻尼氣浮隔振器。b)寧靜主動(dòng)隔振器注1:零剛度隔振器基于零剛度振動(dòng)控制技術(shù)、自適應(yīng)5基本要求5.1檢測(cè)步驟檢測(cè)應(yīng)按以下步驟:a)編寫檢測(cè)方案、做好檢測(cè)準(zhǔn)備;3T/CASMESXXX—2024b)實(shí)施檢測(cè);c)對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,分析計(jì)算;d)編寫檢測(cè)報(bào)告。5.2檢測(cè)報(bào)告報(bào)告應(yīng)包含以下基本信息:a)檢測(cè)項(xiàng)目;b)檢測(cè)日期;c)主要檢測(cè)設(shè)備名稱、型號(hào)、最大允許誤差;d)檢測(cè)結(jié)果;e)檢測(cè)人員和技術(shù)負(fù)責(zé)人。6檢測(cè)要求6.1一般要求6.1.1容許振動(dòng)值用于評(píng)價(jià)電子工業(yè)用精密設(shè)備及儀器、納米實(shí)驗(yàn)室及物理實(shí)驗(yàn)室用精密設(shè)備及儀器在頻域范圍內(nèi)豎直向和水平向的容許振動(dòng)值可按表1采用。表1電子工業(yè)、納米實(shí)驗(yàn)室、物理實(shí)驗(yàn)室用精密設(shè)備及儀器容許振動(dòng)值m/s —長路徑激光設(shè)備、0.1μm的超精密加工及檢測(cè)裝—子顯微鏡(透射電鏡、掃描電鏡等VC-D) Lμm~3μm(小于3μm)的精密加工及檢測(cè)裝置—3μm的精密加工及檢測(cè)裝置、TFT-L——接觸式和投影式光刻機(jī)、薄膜太陽能電池加—2.50×10—6.1.2模擬微振動(dòng)振動(dòng)臺(tái)試驗(yàn)布置模擬微振動(dòng)振動(dòng)臺(tái)與激振器及受試結(jié)構(gòu)的連接關(guān)系如圖1所示。4T/CASMESXXX—2024圖1模擬微振動(dòng)振動(dòng)臺(tái)試驗(yàn)布置6.2基本外形外觀質(zhì)量應(yīng)無明顯缺陷,電子線路配件無明顯缺陷,外觀質(zhì)量應(yīng)符合表2的規(guī)定。表2外觀質(zhì)量要求裂紋(外殼)、凹凸不平(上下端面)、顯示角度氣泡、雜質(zhì)、缺膠、裂紋(氣膜)、漏氣(氣室)6.3尺寸偏差用常規(guī)量具測(cè)量評(píng)定,尺寸容許誤差根據(jù)產(chǎn)品圖紙確定。6.4安裝6.4.1安裝方向?qū)⒏鞲粽衿鞯娘@示器與指針面向外側(cè)安裝。5T/CASMESXXX—20246.4.2地面平整度要求安裝范圍內(nèi)的平面平整度應(yīng)≤1mm。6.4.3產(chǎn)品及附件按產(chǎn)品清單檢查產(chǎn)品及附件種類和數(shù)量,以及是否存在損壞。6.5材料6.5.1彈簧材質(zhì)按GB/T1222的規(guī)定進(jìn)行。6.5.2橡膠試驗(yàn)設(shè)備和各項(xiàng)性能試驗(yàn)按GB/T531.1、GB/T528、GB/T3512、GB/T7759.1、GB/T7759.2、GB/T11211的規(guī)定進(jìn)行。6.6環(huán)境適應(yīng)性按GB/T2423.102的規(guī)定進(jìn)行。6.7振動(dòng)、沖擊和碰撞性能按SJ/T10178的規(guī)定進(jìn)行。6.8靜、動(dòng)態(tài)性能按GB/T15168的規(guī)定進(jìn)行。6.9減振性能6.9.1周期性正弦波激勵(lì)6.9.1.1檢測(cè)點(diǎn)位于夾具、振動(dòng)臺(tái)或試驗(yàn)樣品上的點(diǎn)。并且要求盡可能接近于一個(gè)固定點(diǎn),在任何情況下都要與固定點(diǎn)剛性連接。單個(gè)隔振器檢驗(yàn)時(shí),應(yīng)選擇不少于1個(gè)檢測(cè)點(diǎn)作為隔振性能評(píng)估點(diǎn)(圖2);對(duì)于多個(gè)隔振器組合成的隔振系統(tǒng),應(yīng)選擇不少于3個(gè)檢測(cè)點(diǎn)作為隔振性能評(píng)估點(diǎn)(圖3),宜選擇不少于4個(gè)檢測(cè)點(diǎn)作為隔振性能評(píng)估點(diǎn)(檢測(cè)點(diǎn)4)。圖2單個(gè)隔振器隔振性能評(píng)估點(diǎn)示意圖6T/CASMESXXX—2024圖3多個(gè)隔振系統(tǒng)隔振性能評(píng)估點(diǎn)示意圖6.9.1.2檢測(cè)方向以振動(dòng)輸入隔振器的點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)測(cè)量振動(dòng),測(cè)量方向中,豎向以重力加速度方向?yàn)榛鶞?zhǔn),水平方向?yàn)榇怪庇谪Q向的平面構(gòu)成;測(cè)量的三個(gè)方向應(yīng)當(dāng)正交。6.9.1.3檢測(cè)頻率在每個(gè)檢測(cè)點(diǎn)上應(yīng)測(cè)量表3所示頻率對(duì)應(yīng)的振動(dòng)信號(hào)。表3檢測(cè)頻率10123122456789458346.9.1.4檢測(cè)強(qiáng)度檢測(cè)強(qiáng)度宜根據(jù)在實(shí)際環(huán)境中測(cè)量的振動(dòng)信號(hào)在各中心頻率點(diǎn)的1/3倍頻程等級(jí)確定微振動(dòng)振動(dòng)臺(tái)臺(tái)面的振動(dòng)強(qiáng)度;同時(shí),檢測(cè)強(qiáng)度的選擇應(yīng)綜合考慮傳感器分辨率和隔微振系統(tǒng)的隔振性能。試驗(yàn)人員應(yīng)根據(jù)實(shí)際環(huán)境測(cè)量的振動(dòng)信號(hào)的1/3倍頻程分析得到環(huán)境振動(dòng)等級(jí),測(cè)試結(jié)果填寫在表4速度有效值 (μm/s)和VC等級(jí)一欄中。根據(jù)所填寫的VC等級(jí)在表5中查找對(duì)應(yīng)模擬微振動(dòng)振動(dòng)臺(tái)臺(tái)面VC監(jiān)測(cè)電壓。表4中最小監(jiān)測(cè)電壓由傳感器分辨率和隔振效率綜合決定。臺(tái)面監(jiān)測(cè)電壓應(yīng)不小于VC監(jiān)測(cè)電壓和最小監(jiān)測(cè)電壓二者的最大值。7T/CASMESXXX—2024表4微振動(dòng)模擬振動(dòng)臺(tái)臺(tái)面振動(dòng)監(jiān)測(cè)電壓表5動(dòng)臺(tái)模擬不同強(qiáng)度等級(jí)振動(dòng)與臺(tái)面監(jiān)測(cè)傳感器電壓輸出對(duì)照表8T/CASMESXXX—2024表5動(dòng)臺(tái)模擬不同強(qiáng)度等級(jí)振動(dòng)與臺(tái)面監(jiān)測(cè)傳感器電壓輸出對(duì)照表(續(xù))6.9.2掃頻激勵(lì)6.9.2.1一般要求采用對(duì)數(shù)掃頻方式檢驗(yàn)隔振器或隔振光學(xué)平臺(tái)的隔振性能,在對(duì)數(shù)掃頻法中,信號(hào)發(fā)生器的掃頻速度應(yīng)按每單位時(shí)間一個(gè)倍頻程發(fā)生信號(hào)。6.9.2.2試驗(yàn)系統(tǒng)6.9.2.2.1信號(hào)發(fā)生器選用具有掃頻功能的信號(hào)發(fā)生器進(jìn)行掃頻信號(hào)輸出,掃頻方式選擇對(duì)數(shù)。6.9.2.2.2基于掃頻試驗(yàn)的隔振效率計(jì)算方法在設(shè)置好掃頻試驗(yàn)下限頻率、上限頻率和掃頻時(shí)長后,計(jì)算每個(gè)掃描頻率產(chǎn)生的振動(dòng)臺(tái)臺(tái)面振動(dòng)幅值和隔振器或隔振平臺(tái)振動(dòng)幅值,計(jì)算每個(gè)頻率對(duì)應(yīng)的傳遞函數(shù)幅值。掃描結(jié)束后,由試驗(yàn)測(cè)試系統(tǒng)輸出隔振器在掃頻頻段內(nèi)的傳遞函數(shù)。6.9.2.3試驗(yàn)準(zhǔn)備9T/CASMESXXX—20246.9.2.3.1軟件參數(shù)設(shè)置應(yīng)符合下列要求:a)打開SVSA(結(jié)構(gòu)振動(dòng)信號(hào)采集、分析系統(tǒng)),并按常規(guī)動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)采集流程設(shè)置采集參數(shù);b)完成采集參數(shù)設(shè)置后,勾選掃頻試驗(yàn);c)點(diǎn)擊Sweep參數(shù)設(shè)置,彈出掃頻參數(shù)設(shè)置對(duì)話框;d)在分析頻段中,填入下限頻率和上限頻率,得到信號(hào)發(fā)生器參數(shù);e)記錄信號(hào)發(fā)生器參數(shù):下限頻率、上限頻率和掃描時(shí)長,點(diǎn)擊確定關(guān)閉掃頻參數(shù)設(shè)置對(duì)話框;f)點(diǎn)擊采集參數(shù)設(shè)置對(duì)話框中的確定,關(guān)閉對(duì)話框。6.9.2.3.2硬件參數(shù)設(shè)置應(yīng)符合下列要求:a)將信號(hào)發(fā)生器設(shè)置為掃頻輸出,將6.11.2.3.1中第d)項(xiàng)記錄的信號(hào)發(fā)生器參數(shù):下限頻率、上限頻率和掃描時(shí)長輸入信號(hào)發(fā)生器;b)將掃頻模式修改為對(duì)數(shù)。6.9.2.4試驗(yàn)要求6.9.2.4.1一般要求開啟SVSA數(shù)據(jù)采集功能后,同時(shí)開啟信號(hào)發(fā)生器掃頻信號(hào)輸出,根據(jù)表3所示的振動(dòng)臺(tái)監(jiān)測(cè)電壓調(diào)節(jié)功率放大器,使實(shí)測(cè)臺(tái)面監(jiān)測(cè)電壓不小于表3給出數(shù)值。6.9.2.4.2掃頻參數(shù)設(shè)置范圍有關(guān)測(cè)試參數(shù)宜根據(jù)所關(guān)注的隔振頻段從表6和表7中選取一組參數(shù)來確定附錄A.3.1所需要的軟件參數(shù)設(shè)置;有關(guān)測(cè)試參數(shù)也可根據(jù)實(shí)際需求按6.11.2.3.確定。采樣頻率推薦使用1024Hz或2048Hz。表6推薦參數(shù)范圍1組114141表7推薦參數(shù)范圍2組11442T/CASMESXXX—20246.9.2.4.3檢測(cè)強(qiáng)度掃頻激勵(lì)試驗(yàn)檢測(cè)強(qiáng)度按6.11.1.4的規(guī)定執(zhí)行。6.9.3隔振性能評(píng)估應(yīng)將正弦波激勵(lì)試驗(yàn)和掃頻激勵(lì)的試驗(yàn)結(jié)果記錄于表8中。表8隔振系統(tǒng)隔振性能試驗(yàn)記錄表T/CASMESXXX—2024表8隔振系統(tǒng)隔振性能試驗(yàn)記錄表(續(xù))6.10防腐性按GB/T2423.18的規(guī)定進(jìn)行。6.11表面涂層6.11.1涂層厚度檢驗(yàn)按GB/T13452.2的規(guī)定進(jìn)行。6.11.2涂層附著力按GB/T9286的規(guī)定進(jìn)行7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢驗(yàn)分類檢驗(yàn)分為出廠檢驗(yàn)和型式檢驗(yàn)。7.2組批以同一工藝、同一原輔材料生產(chǎn)的同一規(guī)隔振器把為一批。7.3出廠檢驗(yàn)7.3.1產(chǎn)品應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)合格并附合格說明書,方可出廠。7.3.2檢驗(yàn)項(xiàng)目如下為基本外形、尺寸偏差、安裝、減振性能。7.3.3當(dāng)批量在26件以下時(shí),應(yīng)進(jìn)行全數(shù)檢驗(yàn);當(dāng)批量大于等于26件時(shí),進(jìn)行抽樣檢驗(yàn),抽樣方案按GB/T2828.1-2012的正常檢驗(yàn)一次抽樣方案,一般檢驗(yàn)水平Ⅱ進(jìn)行抽樣,接收質(zhì)量限(AQL)取6.5。7.4型式檢驗(yàn)7.4.1有下列情況之一時(shí)應(yīng)做型式檢驗(yàn):a)新規(guī)格的產(chǎn)品的試制定型鑒定;b)當(dāng)原料、結(jié)構(gòu)、工藝等有較大改變,有可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響較大時(shí);T/CAS

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