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1、巨磁阻傳感器原理及應(yīng)用,巨磁阻(GMR)效應(yīng),法國科學(xué)家阿爾貝費爾和德國科學(xué)家彼得格林貝格爾因分別獨立發(fā)現(xiàn)巨磁阻效應(yīng),巨磁阻(GMR)效應(yīng):這是一種在鐵磁性層與非鐵磁性層交替疊置的結(jié)構(gòu)中觀測到的量子效應(yīng),是指某些磁性或合金材料的磁電阻在一定磁場作用下急劇減小,而r/r急劇增大的特性,一般增大的幅度比通常的磁性與合金材料的磁電阻約高10倍,GMR效應(yīng)的理論和機理,GMR效應(yīng)的理論和機理,GMR效應(yīng)的理論很復(fù)雜,許多機理至今還不清楚,目前普遍接受的解釋是兩流模型,如圖1所示。多個鐵磁層中的磁矩方向由施加的外磁場控制,當(dāng)鐵磁性層的磁矩反平行排列時見圖1(a),載流子受到的自旋散射最大,多層膜電阻最高

2、;當(dāng)鐵磁性層的磁矩平行排列時見圖1(b),載流子受到的自旋散射最小,多層膜的電阻最低,巨磁阻(GMR)的電子特性,巨磁阻(GMR)的電子特性,圖2是一個典型的多層GMR材料在外加磁場下的電阻變化情況。圖2中的輸出表明,無論是正向還是反向的外加磁場變化,都能帶來相同的磁阻變化,也就是說GMR效應(yīng)是全極性的。曲線的斜率體現(xiàn)了磁性敏感程度,通常以V(mV)Oe為單位。當(dāng)阻值不隨磁場繼續(xù)變化時,磁性材料就達到了其磁性飽和區(qū)。兩條曲線中的偏移是磁性材料的磁滯導(dǎo)致的,從零磁場到飽和磁場所帶來的阻值變化就稱為磁阻,巨磁阻傳感器應(yīng)用,一:硬盤巨磁阻效應(yīng)的讀出磁頭 :極大的提高了磁盤記錄密度,極大提高了硬盤的容

3、量,同時縮小了硬盤的體積。目前硬盤最大容量已經(jīng)達到4TB。遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于應(yīng)用巨磁阻效應(yīng)前的硬盤,巨磁阻傳感器應(yīng)用,二:角度、位置傳感器 ,用于數(shù)控機床、汽車測速、非接觸開關(guān)、旋轉(zhuǎn)編碼器等領(lǐng)域 。具有功耗小、可靠性高、體積小、價格便宜和更強的輸出信號等優(yōu)點 。如圖英飛凌采用GMR效應(yīng)生產(chǎn)傳感器,巨磁阻傳感器應(yīng)用,三:基于GMR傳感器陣列的生物檢測:GMR傳感器比電子傳感器更靈敏、可重復(fù)性強,具有更寬的工作溫度、工作電壓和抗機械沖擊、震動的優(yōu)異性能,而且GMR傳感器的工作點也不會隨時間推移而發(fā)生偏移。GMR傳感器的制備成本和檢測成本低,對樣本的需求量很小。由GMR傳感器組成的陣列,還可以結(jié)合現(xiàn)有的IC工藝,提高整體設(shè)備的集成度,進行多目標(biāo)的檢測。同時,對比傳統(tǒng)的熒光檢測法,磁性標(biāo)記沒有很強的環(huán)境噪聲,標(biāo)記本身不會逐漸消退,也不需要昂貴的光學(xué)掃描設(shè)備以及專業(yè)的操作人員,巨磁阻傳感器應(yīng)用,四:GMR傳感器芯片在軍事裝備上也有廣泛的應(yīng)用,比如:超微磁場探測器 ,地磁場探測傳感器 ,航天器磁場方位傳感器,巨磁阻傳感器前景,由于具有加工簡單、造價低、靈敏度高 ,可靠性很

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