分子泵維修常見問題故障_第1頁
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文檔簡介

1、查找故障故障現(xiàn)象檢杳操作系統(tǒng)通電時，LED沒有閃爍秒電源是否出現(xiàn)故障確保電源已打開并且保險絲（及限流設備）未松開。發(fā)送并行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動轉(zhuǎn)軸任然不旋轉(zhuǎn)，則表示泵出現(xiàn)故障。發(fā)送串行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)檢查泵是否回復“啟動”命令如果沒有回復，則應檢查串行 通信鏈接是否通電并且“串 行啟用”是否激活以及電源 是否打開。檢查橙色狀態(tài)LED 是否閃爍。泵在多站模式下不響應檢查是否啟用多站模式確保泵有多站地址并且使用多站協(xié)議發(fā)送命令。橙色狀態(tài)LED閃爍錯誤代碼注意每個序列6下閃爍中長閃 爍的位置，以解讀錯誤代碼。查閱相關錯誤代碼并按照所提供的說明進行操作運行時

2、額定LED不亮或泵沒有以全速旋轉(zhuǎn)或泵出現(xiàn)故障入口壓力是否過高如果是這樣，應減小抽取負載 或檢查系統(tǒng)是否有大泄漏。泵運行時是否太熱增加泵的冷卻?？赡苄枰獜耐?風冷卻變成水冷?？赡苄枰?大冷卻水流量或降低水溫或 同時采取這兩種措施。檢查外部熱源確保沒有輻射過多熱 量。轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)是否順暢如果不是，泵軸承可能已損 壞。無法達到極限壓力壓力是否因水蒸氣而受限烘烤系統(tǒng)和泵。是否任何真空壓力表有污物如果是這樣，應清潔或更換。抽取速度是否不足(由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔)使其接觸良好或減小體積。層間入口壓力是否(50pa)如果層間入口壓力太大，渦輪 分子泵上的入口壓力會增大； 應確保層間入口壓力(50 pa)。前級壓力是否10mbar如果是這樣，前級壓力可能太 大。檢查后備管道是否有泄 漏。如果對處理能力要求較 高，則可能需要更大的后備 泵。系統(tǒng)的咼真空區(qū)域是否有污 物如果是這樣，應清潔咼真空系 統(tǒng)。檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。如果發(fā)現(xiàn)有，則應修補泄漏處 并清除污物。泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現(xiàn)泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同如果是這樣，則應更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風箱隔 離泵。震動是從轉(zhuǎn)動的后備泵傳遞如果是這樣，則應在后備線路過來的嗎中女裝活動風相或隔振器。噪音是不是不規(guī)則并且

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