第四章伺服系統(tǒng)

1、第第4章章數(shù)控機床的伺服系統(tǒng)數(shù)控機床的伺服系統(tǒng)l伺服驅(qū)動系統(tǒng)（Servo System）簡稱伺服系統(tǒng)，是一種以機械位置或角度作為控制對象的自動控制系統(tǒng)。4.1伺服系統(tǒng)伺服系統(tǒng)4.1.1伺服系統(tǒng)的結構伺服系統(tǒng)的結構l從基本結構來看，伺服系統(tǒng)主要由三部分組成：控制器、功率驅(qū)動裝置、反饋裝置和電機，如圖4-1所示?？刂破靼凑諗?shù)控系統(tǒng)的給定值和通過反饋裝置檢測的實際運行值的差，調(diào)節(jié)控制量；功率驅(qū)動裝置作為系統(tǒng)的主回路，一方面按控制量的大小將電網(wǎng)中的電能作用到電機之上，調(diào)節(jié)電機轉(zhuǎn)矩的大小，另一方面按電機的要求把恒壓恒頻的電網(wǎng)供電轉(zhuǎn)換為電機所需的交流電或直流電；電機則按供電大小拖動機械運轉(zhuǎn)。圖4-1 伺服

2、系統(tǒng)的基本結構4.1.2伺服系統(tǒng)的工作原理伺服系統(tǒng)的工作原理l伺服系統(tǒng)是以機械運動為驅(qū)動設備，電機為控制對象，以控制器為核心，以電力電子功率變換裝置為執(zhí)行機構，在自動控制理論的指導下組成的電氣傳動自動控制系統(tǒng)。這類系統(tǒng)控制電機的轉(zhuǎn)矩、轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)角，將電能轉(zhuǎn)換為機械能，實現(xiàn)驅(qū)動機械的運動要求。具體在數(shù)控機床中，伺服系統(tǒng)接收數(shù)控系統(tǒng)發(fā)出的位移、速度指令，經(jīng)變換、調(diào)整與放大后，由電機和機械傳動機構驅(qū)動機床坐標軸、主軸等，帶動工作臺及刀架，通過軸的聯(lián)動使刀具相對工件產(chǎn)生各種復雜的機械運動，從而加工出用戶所要求的復雜形狀的工件。4.1.3伺服系統(tǒng)的類型伺服系統(tǒng)的類型l一、開環(huán)伺服系統(tǒng)機床工作臺數(shù)控裝置步進

3、電機圖4-2 開環(huán)伺服系統(tǒng)二、閉環(huán)伺服系統(tǒng)二、閉環(huán)伺服系統(tǒng)速度比較伺服電機位置比較速度反饋位置反饋測量元件圖4-3 閉環(huán)伺服系統(tǒng)三、半閉環(huán)伺服系統(tǒng)三、半閉環(huán)伺服系統(tǒng)機床工作臺速度比較伺服電機位置比較測速機旋變圖4-4 半閉環(huán)系統(tǒng)4.2伺服電機伺服電機l4.2.1步進電機l一、步進電機的結構l步進電機是一種將電脈沖轉(zhuǎn)化為角位移的執(zhí)行機構。當步進驅(qū)動器接收到一個脈沖信號，它就驅(qū)動步進電機按設定的方向轉(zhuǎn)動一個固定的角度（即步進角）。 a圖4-5 單定子徑向分相反應式伺服步進電機結構原理圖l圖4-5是一典型的單定子、徑向分相、反應式伺服步進電機的結構原理圖。它與普通電機一樣，分為定子和轉(zhuǎn)子兩部分，其中

4、定子又分為定子鐵心和定子繞組。定子鐵心由電工鋼片疊壓而成，其形狀如圖中所示。定子繞組是繞置在定子鐵心6個均勻分布的齒上的線圈，在直徑方向上相對的兩個齒上的線圈串聯(lián)在一起，構成一相控制繞組 。二、步進電機的工作原理二、步進電機的工作原理l步進電機的工作原理實際上是電磁鐵的作用原理。圖4-6是一種最簡單的反應式步進電機，下面以它為例來說明步進電機的工作原理。圖4-6 步進電機工作原理圖l圖4-6(a)所示步進電機的步距角等于60。如果控制線路不停地按ABCA的順序控制步進電機繞組的通斷電，步進電機的轉(zhuǎn)子便不停地順時針轉(zhuǎn)動。若通電順序改為ACBA，同理，步進電機的轉(zhuǎn)子將逆時針不停地轉(zhuǎn)動。 l圖4-6

5、(b)中的步進電機，定子仍是A，B，C三相，每相兩極，但轉(zhuǎn)子不是兩個磁極而是四個。當A相通電時，是1和3極與A相的兩極對齊，很明顯，當A相斷電、B相通電時，2和4極將與B相兩極對齊。這樣，在三相三拍的通電方式中，步距角等于30，在三相六拍通電方式中，步距角則為15。三、步進電機的類型三、步進電機的類型l1、永磁式步進電機l永磁式步進電機是一種由永磁體建立勵磁磁場的步進電機，也稱為永磁轉(zhuǎn)子型步進電機，有單定子結構和兩定子結構兩種類型。其缺點是步距大，啟動頻率低；優(yōu)點是控制功率小，在斷電情況下有定位轉(zhuǎn)矩。這種步進電機從理論上講可以制成多項，而實際上則以一相或兩相為多，也有制成三相的 l2、反應式步

6、進電機l反應式步進電機是一種定、轉(zhuǎn)子磁場均由軟磁材料制成，只有控制繞組，基于磁導的變化產(chǎn)生反應轉(zhuǎn)矩的步進電機，因此有的國家又稱為變磁阻步進電機。它的結構按繞組的排序可分為徑向分相和軸向分相。而軸向分相又有兩種類型：磁通路徑為徑向（和徑向分相結構的磁路相通）；磁通路徑為軸向。按鐵心分段，則有單段式和多段式。l3、永磁感應子式步進電機l永磁感應子式步進電機定子結構與反應式步進電機相同，而轉(zhuǎn)子由環(huán)形磁鋼和兩段鐵心組成。這種步進電機與反應式步進電機一樣，可以使其具有小步距和較高的啟動頻率，同時又有永磁式步進電機控制功率小的優(yōu)點。其缺點是，由于采用磁鋼分成兩段，只是制造工藝和結構比反應式步進電機復雜。三

7、種常用步進電機的性能比較三種常用步進電機的性能比較步距角啟動頻率運行頻率消耗功率定位轉(zhuǎn)矩永磁式大低低小有反應式小高高大無永磁感應式小高高小有四、步進電機的主要特性四、步進電機的主要特性l1、步距角l2、矩角特性、最大靜態(tài)轉(zhuǎn)矩 Tjmax和啟動轉(zhuǎn)矩Tql3、啟動頻率fq?？蛰d時，步進電機由靜止突然啟動，并進入不丟步的正常運行所允許的最高頻率，稱為啟動頻率或突跳頻率。 l4、連續(xù)運行的最高工作頻率fmax l5、加減速特性 4.2.2直流伺服電機直流伺服電機l直流伺服電機是一種機床伺服系統(tǒng)中使用較廣的執(zhí)行元件。因其具有良好的啟動、制動和調(diào)速特性，在寬范圍內(nèi)能夠?qū)崿F(xiàn)平滑無極調(diào)速，故其往往使用于對伺服

8、電機的調(diào)速性能要求較高的生產(chǎn)設備中。在伺服系統(tǒng)中常用的直流伺服電機多為大功率直流伺服電機，如低慣量電機和寬調(diào)速電機等。這些伺服電機雖然結構不同，各有特色，但其工作原理與直流電機類似。一、直流伺服電機的基本結構一、直流伺服電機的基本結構l如圖4-7所示，直流伺服電機的結構主要包括三大部分：l1、定子 定子磁極磁場由定子的磁極產(chǎn)生。 l2、轉(zhuǎn)子 轉(zhuǎn)子又稱為電樞，由硅鋼片疊壓而成，表面嵌有線圈，通以直流電時，在定子磁場作用下產(chǎn)生帶動負載旋轉(zhuǎn)的電磁轉(zhuǎn)矩。l3、電刷與換向片 為使所產(chǎn)生的電磁轉(zhuǎn)矩保持恒定方向，轉(zhuǎn)子能沿固定方向均勻的連續(xù)旋轉(zhuǎn)，電刷與外加直流電源相接，換向片與電樞導體相接。圖4-7 直流伺服

9、電機結構圖二、直流伺服電機的工作原理二、直流伺服電機的工作原理l直流電機的基本原理分析得到調(diào)節(jié)電機的轉(zhuǎn)速有三種方法：l1、改變電樞電壓u 調(diào)速范圍較大，直流伺服電機常用此方法調(diào)速，即脈寬調(diào)速。 l2、變磁通量（即改變ke的值） 通常采用調(diào)壓與調(diào)磁兩種方法互相配合，以獲得很寬的調(diào)速范圍并充分利用電機的容量。l3、在電樞回路中串聯(lián)調(diào)節(jié)電阻Rt 這種辦法并不經(jīng)濟且轉(zhuǎn)速只能調(diào)低，僅用于較少的場合。三、直流伺服電機的類型三、直流伺服電機的類型l1、低慣量直流伺服電機l l2、寬調(diào)速直流力矩電機 l3、無刷直流伺服電機 四、直流伺服電機的主要特性四、直流伺服電機的主要特性l1、機械特性 l2、空載始動電壓

10、 l3、調(diào)節(jié)特性 l4、機電時間常數(shù) l5、綜合工作特性 4.2.3交流伺服電機交流伺服電機l交流伺服電機是最新發(fā)展起來的新型伺服系統(tǒng)，也是當前機床進給驅(qū)動系統(tǒng)方面的一個新動向。它克服了直流驅(qū)動系統(tǒng)中電機電刷和換向器要經(jīng)常維修、電機尺寸較大和使用環(huán)境受限制等缺點。它能在較寬的調(diào)速范圍內(nèi)產(chǎn)生理想的轉(zhuǎn)矩，結構簡單，運行可靠，用于數(shù)控機床等進給驅(qū)動系統(tǒng)為精密位置控制。一、交流伺服電機的類型一、交流伺服電機的類型l1、異步型交流伺服電機l2、同步型交流伺服電機l永磁交流伺服系統(tǒng)與直流伺服系統(tǒng)比較，具有以下優(yōu)點：l電動機無電刷和換向器，工作可靠，維護和保養(yǎng)簡單；l定子繞組散熱快；l慣量小，易于提高系統(tǒng)的

11、快速性；l適應于高速大力矩的工作狀態(tài)；l相同功率下，體積和重量較小。二、永磁同步交流伺服電機的結構二、永磁同步交流伺服電機的結構 （a）橫剖面圖 （b）縱剖面圖圖4-8 永磁同步交流伺服電機的結構三、永磁同步交流伺服電機的工作原理三、永磁同步交流伺服電機的工作原理l三、永磁同步交流伺服電機的工作原理l永磁式同步交流伺服電機的工作原理與電磁式同步電機的工作原理相同，即定子三相繞組產(chǎn)生空間旋轉(zhuǎn)磁場和轉(zhuǎn)子磁場相互作用，使定子帶著轉(zhuǎn)子一同轉(zhuǎn)動。所不同的是轉(zhuǎn)子磁極不是由轉(zhuǎn)子得三相繞組產(chǎn)生的，而是通過永磁鐵產(chǎn)生的。 圖4-9 永磁同步交流伺服電機的工作原理四、永磁同步交流伺服電機的主要特點四、永磁同步交流

12、伺服電機的主要特點l1、交流伺服電機在連續(xù)工作區(qū)可連續(xù)工作，斷續(xù)工作區(qū)范圍擴大，尤其在高速區(qū)性能優(yōu)越，有利于提高電機的加、減速能力。l2、高可靠性。用電子逆變器取代了直流電機換向器和電刷，免去了換向器及電刷的保養(yǎng)和維護。其工作壽命最終通過軸承決定。l3、較之直流電機，能量主要損耗在定子繞組與鐵心上，故散熱容易，便于安裝熱保護。l4、轉(zhuǎn)子慣量小，其結構允許高速工作。l5、體積小、質(zhì)量小。4.2.4變頻電機變頻電機l變頻電機具有直流電機特性，卻采用交流電機的結構。也就是說，雖然外部接入的是直流電，卻采用直流-交流變壓變頻器控制技術，電機本體完全按照交流電機的原理去工作的。因此，變頻電機也叫“自控變

13、頻同步電機”，電動機的轉(zhuǎn)速n取決于控制器的所設定的頻率f。圖4-10 三相電壓變頻器的電路表4-3 變頻器的分類變頻器交-交變頻器按相數(shù)分類單相三相按環(huán)流情況分類有環(huán)流無環(huán)流按輸出波形分類正弦波方波交-直-交變頻器按無功能量處理方式分類電壓型電流型按調(diào)壓方式分類脈沖幅度調(diào)制型相位控制調(diào)壓直流斬波調(diào)壓脈沖寬度調(diào)制型表4-4 交-交變頻器與交-直-交變頻器的主要特點比較比較內(nèi)容變頻器類型交-交變頻器交-直-交變頻器換能方式一次換能，效率較高二次換能，效率略低換流方式電網(wǎng)電壓換流強迫環(huán)流或負載換流裝置元件數(shù)量較多較少元件利用率較低較高調(diào)頻范圍輸出最高頻率為電網(wǎng)頻率的1/31/2頻率調(diào)節(jié)范圍寬電網(wǎng)功率

14、數(shù)較低若用可控整流橋調(diào)壓，則低頻低壓時功率因數(shù)較低；若用斬波器或PWM方式調(diào)壓，則功率因數(shù)高使用場合低速大功率拖動可用于各種拖動裝置，穩(wěn)頻穩(wěn)壓電源和不停電電源4.3位置檢測裝置位置檢測裝置l4.3.1位置檢測裝置概述l檢測裝置是數(shù)控機床閉環(huán)和半閉環(huán)控制系統(tǒng)重要的組成部分之一。它的作用是檢測工作臺的位置和速度，發(fā)送反饋信號至數(shù)控裝置，使工作臺按規(guī)定的路徑精確地移動。閉環(huán)系統(tǒng)數(shù)控機床的精度主要取決于檢測系統(tǒng)的精度。因此，研制和選用性能較有的檢測裝置是數(shù)控機床加工精度的重要保證之一。檢測裝置應該滿足的要求檢測裝置應該滿足的要求l（1）工作可靠，抗干擾性強。l（2）能滿足精度和速度的要求。l（3）使用

15、維護方便，適合機床的工作環(huán)境。l（4）易于實現(xiàn)高速的動態(tài)測量、處理和自動化。l（5）成本低。位置檢測裝置分類類型數(shù) 字 式模擬式增量式絕對式增量式絕對式回轉(zhuǎn)型編碼器圓光柵編碼器旋轉(zhuǎn)變壓器圓感應同步器圓形磁柵多極旋轉(zhuǎn)變壓器旋轉(zhuǎn)變壓器組合三速圓感應同步器直線型長光柵激光干涉儀編碼尺多通道透射光柵直線感應同步器磁柵、容柵三速感應同步器絕對值式磁尺4.3.2編碼器編碼器l編碼器是數(shù)控機床中常用的角度檢測裝置，常與伺服電機或絲杠同軸安裝，檢測伺服電機或絲杠的轉(zhuǎn)角。根據(jù)輸出信號不同，可分為絕對式編碼器和增量式編碼器；根據(jù)工作原理不同，可分為接觸式、光電式和電磁式等。一、絕對式編碼器一、絕對式編碼器l1、接

16、觸式l若采用n位碼盤，則能分辨的角度為360/2n,位數(shù)n越大，能分辨的角度越小，測量精度越高。圖4-11 4位二進制循環(huán)碼盤2、光電式、光電式l光電式絕對編碼器的碼盤由透明區(qū)及不透明區(qū)按一定編碼構成。碼盤上的碼道條數(shù)就是數(shù)碼的位數(shù)。光源發(fā)出的光經(jīng)過柱面鏡聚光后投射到碼盤上，通過透明區(qū)的光線經(jīng)過狹縫形成一束很窄的光束投射到光電管上，此時處于亮區(qū)的光電管輸出為“1”，處于暗區(qū)的光電管輸出為“0”，光電管組輸出按一定規(guī)律編碼的數(shù)字信號表示了碼盤軸的轉(zhuǎn)角大小。其結構如圖4-12所示。1-發(fā)光二極管 2柱面透鏡 3碼盤4刻線板 5光電管圖4-12 光電式絕對編碼器結構示意圖二、增量式編碼器二、增量式編

17、碼器l增量式編碼器的結構如圖4-13所示。在增量式編碼器的碼盤邊緣等間隔地制出n個透光槽，發(fā)光二極管發(fā)出的光透過槽孔被光電管所接受，當碼盤轉(zhuǎn)過1/n圈時，光電管即發(fā)出一個數(shù)字脈沖，計數(shù)器對脈沖的個數(shù)進行加減增量計數(shù)，從而判斷碼盤轉(zhuǎn)動的相對角度。在碼盤上還須設置一個基準點，以得到碼盤的相對位置。圖4-13 增量式編碼器結構示意圖1發(fā)光二極管 2柱面透鏡 3零位標記槽 4碼盤 5刻線板4.3.3旋轉(zhuǎn)變壓器旋轉(zhuǎn)變壓器l旋轉(zhuǎn)變壓器是一種常用的角位移檢測元件，由于它結構簡單，工作可靠，對環(huán)境要求低，信號輸出幅度大，抗干擾能力強，且其精度能滿足一般的檢測要求，因此被廣泛應用在數(shù)控機床上。一、旋轉(zhuǎn)變壓器的工

18、作原理一、旋轉(zhuǎn)變壓器的工作原理l旋轉(zhuǎn)變壓器是一種測量角度用的小型交流電機，有定子和轉(zhuǎn)子組成。其中定子繞組作為變壓器的一次側，接受勵磁電壓，勵磁頻率通常用400Hz、500 Hz、3000 Hz及5000Hz。轉(zhuǎn)子繞組作為變壓器的二次側，通過電磁耦合得到感應電壓。旋轉(zhuǎn)變壓器的工作原理與普通變壓器基本相似，區(qū)別在于普通變壓器的原邊、副邊繞組是相對固定的，所以輸出電壓和輸入電壓之比是常數(shù)，而旋轉(zhuǎn)變壓器的原邊、副邊繞組則隨轉(zhuǎn)子的角位移發(fā)生相對位置的改變而變化，因而其輸出電壓的大小也隨之變化。圖4-14 旋轉(zhuǎn)變壓器的工作原理二、旋轉(zhuǎn)變壓器的工作方式二、旋轉(zhuǎn)變壓器的工作方式l以正弦余弦旋轉(zhuǎn)變壓器為例，如圖

19、4-16所示，若把轉(zhuǎn)子的一個繞組短截，而定子的兩個繞組分別通以勵磁電壓，應用疊加原理，可得到兩種典型工作方式。圖4-16 一個轉(zhuǎn)子繞組短接的旋轉(zhuǎn)變壓器1、鑒相式工作方式、鑒相式工作方式l鑒相式工作方式是一種根據(jù)旋轉(zhuǎn)變壓器轉(zhuǎn)子繞組中感應電壓的相位來確定被測位移大小的檢測方式。給定子的兩個繞組分別通以同幅、同頻，但相位相差/2的交流勵磁電壓， 2鑒幅式工作方式鑒幅式工作方式l鑒幅式工作方式是通過對旋轉(zhuǎn)變壓器轉(zhuǎn)子繞組中感應電壓幅值的檢測來實現(xiàn)位移檢測的。給定子的兩個繞組分別通以同頻、同相位但幅值不同的交流勵磁電壓， 4.3.4感應同步器感應同步器l感應同步器是一種電磁式位置檢測元件，按其結構特點一般

20、分為直線式和旋轉(zhuǎn)式兩種。直線式感應同步器由定尺和滑尺組成；旋轉(zhuǎn)式感應同步器由轉(zhuǎn)子和定子組成。前者用于直線位移測量，后者用于角位移測量。測量直線位移的稱為直線式感應同步器也稱長感應同步器，測量轉(zhuǎn)角位移的稱為旋轉(zhuǎn)式感應同步器也稱圓感應同步器。它們的工作原理都與旋轉(zhuǎn)變壓器相似。感應同步器具有檢測精度比較高、抗干擾性強、壽命長、維護方便、成本低、工藝性好等優(yōu)點，廣泛應用于數(shù)控機床及各類機床數(shù)顯改造。圖4-17 直線式感應同步器圖4-18 旋轉(zhuǎn)式感應同步器感應同步器的優(yōu)點是：感應同步器的優(yōu)點是：l（1）具有較高的精度與分辨力。 l（2）抗干擾能力強。 l（3）使用壽命長，維護簡單。 l（4）可以作長距離

21、位移測量。 l（5）工藝性好，成本較低，便于復制和成批生產(chǎn)。4.3.5光柵光柵l在高精度的數(shù)控機床上，目前大量使用光柵作為反饋檢測元件。光柵與前面講的旋轉(zhuǎn)變壓器、感應同步器不同，它不是依靠電磁學原理進行工作的，不需要勵磁電壓，而是利用光學原理進行工作，因而不需要復雜的電子系統(tǒng)。光柵作為光電檢測裝置，有物理光柵和計量光柵之分，在數(shù)字檢測系統(tǒng)中，通常使用計量光柵進行高精度位移的檢測，尤其是在閉環(huán)伺服系統(tǒng)中。光柵的檢測精度較高，可達1m以上。一、光柵的類型與結構一、光柵的類型與結構l常見的光柵從光線走向可分為透射式光柵和反射式光柵；從形狀上可分為圓光柵和長光柵。圓光柵用于角位移的檢測，長光柵用于直線

22、位移的檢測。l光柵是利用光的透射、衍射現(xiàn)象制成的光電檢測元件，它主要由標尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。通常，標尺光柵固定在機床的活動部件上(如工作臺或絲杠)，光柵讀數(shù)頭安裝在機床的固定部件上(如機床底座)，二者隨著工作臺的移動而相對移動。在光柵讀數(shù)頭中，安裝著一個指示光柵，當光柵讀數(shù)頭相對于標尺光柵移動時，指示光柵便在標尺光柵上移動。當安裝光柵時，要嚴格保證標尺光柵和指示光柵的平行度以及兩者之間的間隙（一般取0.05mm或0.1mm）要求。圖4-19 光柵讀數(shù)頭圖4-20 光柵讀鏡頭結構原理圖（a）分光讀數(shù)頭 （b）反射讀數(shù)頭（c） 鏡像讀數(shù)頭二、光柵的工作原理二、光柵的工作原理l常見光柵的工

23、作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進行工作的。圖4-21是其工作原理圖。把兩光柵的刻線面相對疊合在一起，中間留有很小的間隙，并使兩者的柵線保持很小的夾角。在刻線的重合出，光從縫隙透過形成亮帶；兩光柵刻線彼此錯開處，由于相互擋光作用而成暗帶。這種亮帶和暗帶形成明暗相間的條紋稱為莫爾條紋，條紋方向與刻線方向近似垂直。莫爾條紋具有以下性質(zhì)：莫爾條紋具有以下性質(zhì)：l（1）莫爾條紋是由光柵的大量刻線共同形成的，對光柵刻線的刻劃誤差有平均作用，從而能在很大程度上消除光柵刻線不均勻引起的誤差。l（2）當兩光柵沿與柵線垂直的方向作相對運動時，莫爾條紋則沿光柵刻線方向移動。光柵反響移動，莫爾條紋亦反向移動。

24、l（3）莫爾條紋的間距時放大了的光柵柵距，它隨著光柵刻線夾角而改變，由于較小，所以其關系可用下式表示：l式中，L莫爾條紋間距；ld光柵柵距；l兩光柵刻線夾角（rad）。l由此可知，越小，L越大，相當于把微小的柵距擴大了1/倍?？梢姡嬃抗鈻牌鸬焦鈱W放大器的作用。l（4）莫爾條紋移過的條紋數(shù)與光柵移過的刻線數(shù)相等。4.3.6磁尺磁尺l磁尺又稱磁柵，也是一種電磁監(jiān)測裝置。它利用磁記錄原理，將一定波長的矩形波或正弦波由信號用記錄磁頭記錄在磁性標尺的磁膜上，作為測量基準。檢測時，磁頭將磁性標尺上的磁化信號轉(zhuǎn)化為電信號，并通過檢測電路將磁頭相對于磁性標尺的位置或位移量用數(shù)字顯示出來，或轉(zhuǎn)化為控制信號輸入給數(shù)控機床。磁尺具有精度高、復制簡單以及安裝調(diào)整方便等優(yōu)點，而且在油污、灰塵較多的工作環(huán)境使用時，仍具有較高的穩(wěn)定性。它作為檢測元件可用在數(shù)控機床和其他測量機上。圖4-22 磁尺結構原理圖圖4-23 磁通響應式磁頭的結構4.3.7測速電機測速電機l測速電機也稱為測速發(fā)電機，是一種檢測機械轉(zhuǎn)速的電磁裝置。它能把機械轉(zhuǎn)速變換成電壓信號，為準確反映伺服電動機的轉(zhuǎn)速，其輸出電壓與輸入的轉(zhuǎn)速成正比關系，如圖4-26 所示。在數(shù)控系統(tǒng)的速度控制單元和位置控制單元中都得到應用。圖4-