擴散爐培訓課件

擴散設備使用擴散—太陽能電池制造核心工序云南天達光伏科技股份有限公司

擴散設備使用擴散—太陽能電池制造核心工序云南天達光伏科技股主要內(nèi)容213擴散爐的使用安全4石英管清洗機的使用和安全四探針的使用和注意事項高溫擴散爐結(jié)構(gòu)及注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序主要內(nèi)容213擴散爐的使用安全4石英管清洗機的使用和安全四探高溫擴散爐外觀擴散—太陽能電池制造核心工序高溫擴散爐外觀擴散—太陽能電池制造核心工序控制柜推舟凈化臺電阻加熱爐氣源柜排風氣源柜爐體柜計算機控制柜推舟機構(gòu)排廢口凈化操作臺電源總進線進氣擴散爐的四部分擴散—太陽能電池制造核心工序控制柜排風氣源柜爐體柜計算機控制柜推舟機構(gòu)排廢口凈化操1.1控制部分整個控制柜分為五層，計算機控制部分分上層、中上層、中下層及下層四個獨立部分，每層控制對應層的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。在控制柜的底層，安裝有四管控制系統(tǒng)的推舟控制裝置、保護電路及電路轉(zhuǎn)接控制板,前蓋板上裝有三相電源指示燈及照明、凈化、抽風開關(guān)等。

擴散—太陽能電池制造核心工序1.1控制部分整個控制柜分為五層，計算機控制部分分上層、中上推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層推舟的絲杠、導軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳座，絲杠的右端安裝有驅(qū)動步進電機，導軌的兩端是限位開關(guān)。柜子的下部裝有控制電路轉(zhuǎn)接板及凈化用風機。電阻加熱爐部分電阻加熱爐柜共有六層。頂層配置有水冷散熱器及排熱風扇，廢氣室頂部設有抽風口，與外接負壓抽風管道連接后，可將工藝過程殘余的廢氣帶走。中間部分分四層放置四個爐管，每層由四個坡面支架托起并固定住爐管，其位置在安裝時已經(jīng)與推舟送片機構(gòu)——絲杠、導軌副調(diào)好對中，因此切不可輕易挪動1.2推舟凈化部分擴散—太陽能電池制造核心工序推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的有害氣體。

柜頂設置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口，接口以下安裝有減壓閥、截止閥，用以對進氣壓力進行控制及調(diào)節(jié)。對應于氣路，各層分別裝有相應的電磁閥、氣動閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、及源瓶冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量控制器電源、控制開關(guān)、保險等電路轉(zhuǎn)接板以及設備總電源進線轉(zhuǎn)接板。

1.3氣源部分擴散—太陽能電池制造核心工序氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的1.4氣路結(jié)構(gòu)三種氣體：氮氣（N2）氧氣（O2）壓縮空氣擴散—太陽能電池制造核心工序1.4氣路結(jié)構(gòu)三種氣體：擴散—太陽能電池制造核心工序1.5氣路結(jié)構(gòu)各閥門名稱擴散—太陽能電池制造核心工序減壓閥干燥器波紋管手動閥常開電磁閥手動截止閥浮子流量計質(zhì)量流量控制器氣動閥防腐單向閥單向閥石英源瓶石英管1.5氣路結(jié)構(gòu)各閥門名稱擴散—太陽能電池制造核心工序減壓閥干1.6系統(tǒng)控制原理加熱控制原理進退舟控制原理氣體流量控制原理擴散—太陽能電池制造核心工序1.6系統(tǒng)控制原理加熱控制原理擴散—太陽能電池制造核心工序1.7主要性能指標溫度控制范圍：400～1100℃恒溫區(qū)長度及精度：≤±1℃/800mm（801～1100℃）≤±1.5℃/800mm（400～800℃）單點溫度穩(wěn)定性：≤±1℃/24h爬升率:15℃/min(最大)下降率:5℃/min(最大)具有自動斜率升降溫及恒溫功能采用碳化硅槳懸臂自動送片機構(gòu)，舟速50～500mm/min連續(xù)可調(diào)；凈化工作臺凈化級別：100級（環(huán)境10000級）擴散—太陽能電池制造核心工序1.7主要性能指標溫度控制范圍：400～1100℃擴散—太1.7擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控流量設定與監(jiān)控進退舟操作凈化風機開關(guān)溫度、流量曲線圖功能菜單擴散—太陽能電池制造核心工序1.7擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核1.8擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控流量設定與監(jiān)控壓力檢測進退舟操作凈化風機開關(guān)溫度、流量曲線圖功能菜單擴散—太陽能電池制造核心工序1.8擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核1.9數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號打開工藝號可存儲99條工藝擴散—太陽能電池制造核心工序1.9數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號擴散—太陽能電池制造核心工序1.10數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號打開工藝號可存儲99條工藝限定修改數(shù)據(jù)擴散—太陽能電池制造核心工序1.10數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號擴散—太陽能電池制造核心工序1.11工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間工藝運行中察看溫度和流量值溫度曲線實時監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核心工序1.11工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間擴散—太陽能1.12工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間工藝運行中察看溫度和流量值溫度曲線實時監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核心工序1.12工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間擴散—太陽能1.13歷史記錄界面記錄每條運行過的工藝數(shù)據(jù)察看相應的工藝曲線擴散—太陽能電池制造核心工序1.13歷史記錄界面記錄每條運行過的工藝數(shù)據(jù)擴散—太陽能電池1.14斷點啟動界面在中途退出或者因斷電、死機等原情況下使用擴散—太陽能電池制造核心工序1.14斷點啟動界面在中途退出或者因斷電、死機等原情況下使用1.15用戶管理界面可以添加用戶刪除用戶修改密碼擴散—太陽能電池制造核心工序1.15用戶管理界面可以添加用戶擴散—太陽能電池制造核心工序1.16切換用戶界面低級別切換，需輸入當前用戶密碼高級別直接輸入用戶密碼切換擴散—太陽能電池制造核心工序1.16切換用戶界面低級別切換，需輸入當前用戶密碼擴散—太陽1.17報警窗口控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常擴散小N2檢測值與設定值偏差大于20%超溫斷偶擴散小氮超壓清洗小氮超壓擴散—太陽能電池制造核心工序1.17報警窗口控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常擴散—太陽能1.18氣路部分氣路部分從左到右分別是氧氣.清洗小氮.擴散小氮.大氮.需要用到氣體時，系統(tǒng)會自動開啟氣動閥。清洗小氮和擴散小氮出氣口裝有單向閥門。防止倒灌，損壞流量計。大氮作為保護氣體，一根直接通入石英管內(nèi)，另外一根連著浮子流量計，關(guān)機時會自己開啟。保護石英管。擴散—太陽能電池制造核心工序氧氣三氯氧磷三氯乙烷氮氣1.18氣路部分氣路部分從左到右分別是氧氣.清洗小氮.氣動閥由PVC材質(zhì)制造。耐腐蝕。運行工藝時，需要通入三氯乙烷和三氯氧磷是系統(tǒng)會自動開啟?？窟B接在上面的兩跟壓縮空氣管，通入高壓的空氣，下壓氣動閥。形成一個通路。清洗時嚴禁用酸清洗。內(nèi)部有金屬。1.19氣動閥擴散—太陽能電池制造核心工序壓縮空氣氣動閥由PVC材質(zhì)制造。耐腐蝕。運行工藝時，需要通入三氯乙烷此處是擋板最容易損壞的地方，石英套管的后方連接有彈簧，由于彈簧的力量，經(jīng)常會造成套管脫離擋板的內(nèi)部，進舟時，由于沒有發(fā)現(xiàn)，石英套管末端抵在鐵擋板上，造成整個擋板的損壞。所以進舟時應該認真檢查石英套管是否在鐵擋板內(nèi)部。以免損壞石英擋板1.20石英擋板與鐵擋板連接處擴散—太陽能電池制造核心工序此處是擋板最容易損壞的地方，石英套管的后方連接有彈簧，由于彈石英擋板與槳接觸的地方經(jīng)常容易損壞，特別是排氣管，裝擋板時應該扶住擋板，以免損壞。1.21石英擋板擴散—太陽能電池制造核心工序石英擋板與槳接觸的地方經(jīng)常容易損壞，特別是排氣管，裝擋板時應爐口抽風連接著外部的抽風系統(tǒng)，是運行工藝時廢氣的排放出口。由于長時間的使用，管道內(nèi)部沉積了可凝物，由于時間長沒有人清理，會低落下磷酸，污染片子和石英舟。甚至是石英管。所以爐口抽風應經(jīng)常擦拭。1.22開管爐口抽風系統(tǒng)擴散—太陽能電池制造核心工序爐口抽風連接著外部的抽風系統(tǒng)，是運行工藝時廢氣的排放出口。由尾部排氣套件包含排廢氣管和熱偶管。連接處由聚四氟乙烯密封圈連接。外面有夾子夾牢。擴散—太陽能電池制造核心工序1.23閉管尾氣裝置尾部排氣套件包含排廢氣管和熱偶管。連接處由聚四氟乙烯密封圈連此螺絲用于固定碳化硅槳。防止左右晃動。也用于封堵工藝運行時的廢棄由槳的縫隙跑出。該螺絲擰時感覺緊就可以，槳不晃動即可，嚴禁用力擰，以免抵裂碳化硅槳。1.24閉管固定碳化硅槳螺絲擴散—太陽能電池制造核心工序此螺絲用于固定碳化硅槳。防止左右晃動。也用于封堵工藝運行時的D管爐尾擋板的拆卸必須要兩人一起操作。一人負責固定住擋板，另外一人負責擰螺絲。以防擋板掉下砸斷進氣石英管和尾氣管。1.25閉管爐尾擋板的裝卸擴散—太陽能電池制造核心工序D管爐尾擋板的拆卸必須要兩人一起操作。一人負責固定住擋板，另1.進舟時保證凈化風機開啟。2.溫控儀沒有工藝人員允許嚴禁亂調(diào)。

3.控制柜面板上的“消聲”按鈕是當系統(tǒng)出現(xiàn)故障，發(fā)出聲光報警后，按下它，蜂鳴器便不再發(fā)聲；但此時并不表示故障已經(jīng)解除，必須在排除故障后將其松開。正常運行時，保證消聲按鈕是彈起的。

4.急停按鈕是當進、出舟過程中出現(xiàn)意外時，手動停止用的，在正常工藝時，請注意保持該按鈕不要按下。1.26使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序1.進舟時保證凈化風機開啟。1.26使用中的注意事項擴散—太5.槳的位置調(diào)好后，基座上下、前后以及端頭的俯仰調(diào)節(jié)螺釘均不得再隨意調(diào)動，否則在進出舟過程中極易造成石英擋板以及硅片的損壞，嚴重的還會直接損壞石英管和槳。6.石英爐門與槳的接觸部位請定期進行清洗，防止由于工藝殘留物堆積使得滑動不暢造成石英門損壞。運行工藝時必須搖動擋板。7.主送氣管道在清洗石英管接入設備之前應先排空，通入純凈高壓氣體吹洗干凈，否則管道內(nèi)的不潔凈物質(zhì)會引起氣動閥關(guān)閉不密封以及造成過濾器和質(zhì)量流量控制器的堵塞及損壞。1.27使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序5.槳的位置調(diào)好后，基座上下、前后以及端頭的俯仰調(diào)節(jié)螺釘均8.壓縮空氣、高純N2、高純O2等各種氣體進氣壓力設定值（氣源柜減壓閥表讀數(shù)）均應調(diào)在0.3～0.4Mpa之內(nèi)，太小會使得氣動閥難以開啟以及質(zhì)量流量控制器流量顯示不穩(wěn)定，太大則有可能損壞過濾器及質(zhì)量流量控制器。9.POCL3擴散源具有極強的腐蝕性，如果磷源灑在了恒溫槽內(nèi)，應馬上拔下恒溫槽的電源插頭，將槽內(nèi)的水倒掉并清洗干凈，否則會造成恒溫槽內(nèi)的致冷銅管因受腐蝕而穿孔。1.28使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序8.壓縮空氣、高純N2、高純O2等各種氣體進氣壓力設定值設備外殼一定要有良好的接地。

出現(xiàn)故障時必須先切斷電源再分步檢查，嚴禁在未弄清故障原因的情況下帶電檢測。

當系統(tǒng)出現(xiàn)報警時，必須在徹底排除故障后，方可重新開機。

運行工藝過程中，爐口廢氣室及源柜的排氣口，一定要與排風系統(tǒng)相通，保證抽氣排毒暢通。1.29設備的安全使用擴散—太陽能電池制造核心工序設備外殼一定要有良好的接地。1.29設備的安全使用擴散—太5對超溫保護系統(tǒng)應作定期檢查，看是否工作可靠。如果晚上設置自動保溫，要求設置的最高報警溫度小于1120℃，在進入自動保溫前應先測試一下超溫保護系統(tǒng)是否靈敏可靠。

6、氣柜下方是380V電壓，打掃時一定要小心，謹防水和其他導電的物品落入下方。引起短路和人員傷害。1.30設備的安全使用擴散—太陽能電池制造核心工序5對超溫保護系統(tǒng)應作定期檢查，看是否工作可靠。如果晚上設置1.31使用保養(yǎng)保持凈化臺面的清潔衛(wèi)生。檢查恒溫水槽是否穩(wěn)定在設定溫度，有無報警。工藝運行前，檢查石英擋板、石英門是否完好。定期清理廢氣室排出的偏磷酸（每月）。定期檢查恒溫水槽冷卻水的水質(zhì)，必要時更換（每月）。定期清理凈化濾網(wǎng)，保證凈化臺的潔凈度（每月）。保持氣柜干凈，檢查各閥件、三通、四通等密封性。進退舟期間檢查絲杠是否靈活，有異響。擴散—太陽能電池制造核心工序1.31使用保養(yǎng)保持凈化臺面的清潔衛(wèi)生。擴散—太陽能電池制造二、四探針測試儀及注意事項四探針測試儀由兩部分組成。左邊是顯示設備，用于運算數(shù)據(jù)和顯示。右邊是測試設備，用于硅片的檢測。擴散—太陽能電池制造核心工序二、四探針測試儀及注意事項四探針測試儀由兩部分組成。左邊是顯2.1四探針測試儀后面板輸出端PC接口保險絲開關(guān)電源擴散—太陽能電池制造核心工序2.1四探針測試儀后面板輸出端PC接口保險絲開關(guān)電源擴散—太2.2測方塊電阻作業(yè)1.調(diào)整測試電流：使“R□”、“I”、“EXCH.1”顯示燈亮，將電流檔位0.1mA調(diào)至10mA，將待測量的硅片取出放在測試臺上（擴散面向上），按下降按鈕，使針頭平壓在硅片上（四針平齊），校準電流，調(diào)整電流值為4.530mA。（根據(jù)硅片尺寸規(guī)格進行調(diào)整）。2.測量方塊電阻：將“I”的指示燈切換至R□/ρ檔，讀取穩(wěn)定值，并記錄在電池生產(chǎn)記錄中，重復以上步驟（注意爐里、爐中、爐口加以區(qū)分。3.判斷是否返工根據(jù)規(guī)定的工藝要求判斷是否要返工，并及時調(diào)節(jié)擴散的溫度。將測試完的硅片卸到承載盒中，測量過程完畢。擴散—太陽能電池制造核心工序2.2測方塊電阻作業(yè)1.調(diào)整測試電流：擴散—太陽能電池制方塊電阻：擴散層的薄層電阻也稱方塊電阻，常用Rs或R口表示。所謂薄層電阻，就是表面為正方形的半導體薄層在電流方向上所呈現(xiàn)的電阻。金屬導體的電阻公式

R=ρl/s，與之類似，薄層電阻的大小為：

Rs=ρl/at，如右圖：當l=a即為一個方塊時：

Rs=ρ/t2.3四探針工作原理擴散—太陽能電池制造核心工序方塊電阻：擴散層的薄層電阻也稱方塊電阻，常用Rs或R口表示。這就是我們常用的四探針針頭，它由鎢鋼制造，四根針分別連接著設備內(nèi)部的四個接口。其中1針和4針測試時通過電流。2針和3針測試時通過電壓。數(shù)值輸入進設備后經(jīng)過計算，由顯示屏顯示出來2.4四探針探頭擴散—太陽能電池制造核心工序這就是我們常用的四探針針頭，它由鎢鋼制造，四根針分別連接著設三、石英管清洗機擴散—太陽能電池制造核心工序三、石英管清洗機擴散—太陽能電池制造核心工序控制面板由開關(guān).電源按鈕.急停和操作面板組成。開機時先開總電源，再按電源開關(guān)。關(guān)機時先按電源開關(guān)，再關(guān)總電源。遇到緊急情況時按急停按鈕，記住復位。3.1石英管清洗機控制面板擴散—太陽能電池制造核心工序控制面板由開關(guān).電源按鈕.急停和操作面板組成。開機時先開總電3.2石英管清洗機控制面板操作方法J1-1清洗槽進水

C0-1腐蝕槽排水

C1-1清洗槽排水DO-1腐蝕槽轉(zhuǎn)動D1-1清洗槽轉(zhuǎn)動中：機械臂停止擴散—太陽能電池制造核心工序后：機械臂移動到清洗槽前：機械臂移動到腐蝕槽

JO-1腐蝕槽進水3.2石英管清洗機控制面板操作方法J1-1清洗槽進水C0-清洗石英管的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序清洗石英管的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序4.1上下片時注意，以免燙傷擴散—太陽能電池制造核心工序4.1上下片時注意，以免燙傷擴散—太陽能電池制造核心工序4.2源瓶的閥門擴散—太陽能電池制造核心工序三氯氧磷進氣三氯氧磷出氣三氯乙烷進氣三氯乙烷出氣4.2源瓶的閥門擴散—太陽能電池制造核心工序三氯氧磷進氣三氯4.3閉管爐口擋板擴散—太陽能電池制造核心工序4.3閉管爐口擋板擴散—太陽能電池制造核心工序4.6石英管清洗機的機械臂擴散—太陽能電池制造核心工序4.6石英管清洗機的機械臂擴散—太陽能電池制造核心工序4.5單向閥的正確使用擴散—太陽能電池制造核心工序4.5單向閥的正確使用擴散—太陽能電池制造核心工序4.4石英關(guān)尾氣管連接擴散—太陽能電池制造核心工序大氮進氣三氯乙烷接氣口氧氣接口三氯氧磷接氣口泄壓氣管4.4石英關(guān)尾氣管連接擴散—太陽能電池制造核心工序大氮進氣三擴散作為一個有毒的工作場所。抽排風系統(tǒng)非常重要。連接擴散的抽風系統(tǒng)電機如果出現(xiàn)停止，這兩個報警燈會亮起。提示大家緊急疏散。4.5擴散抽風報警裝置擴散—太陽能電池制造核心工序擴散作為一個有毒的工作場所。抽排風系統(tǒng)非常重要。連接擴散的抽

謝謝！用我們的真誠和智慧，為全社會奉獻最清潔的能源！天達—綠色能源供應商擴散—太陽能電池制造核心工序謝謝！用我們的真誠和智慧，為全社會奉獻演講完畢，謝謝觀看！演講完畢，謝謝觀看！

擴散設備使用擴散—太陽能電池制造核心工序云南天達光伏科技股份有限公司

擴散設備使用擴散—太陽能電池制造核心工序云南天達光伏科技股主要內(nèi)容213擴散爐的使用安全4石英管清洗機的使用和安全四探針的使用和注意事項高溫擴散爐結(jié)構(gòu)及注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序主要內(nèi)容213擴散爐的使用安全4石英管清洗機的使用和安全四探高溫擴散爐外觀擴散—太陽能電池制造核心工序高溫擴散爐外觀擴散—太陽能電池制造核心工序控制柜推舟凈化臺電阻加熱爐氣源柜排風氣源柜爐體柜計算機控制柜推舟機構(gòu)排廢口凈化操作臺電源總進線進氣擴散爐的四部分擴散—太陽能電池制造核心工序控制柜排風氣源柜爐體柜計算機控制柜推舟機構(gòu)排廢口凈化操1.1控制部分整個控制柜分為五層，計算機控制部分分上層、中上層、中下層及下層四個獨立部分，每層控制對應層的推舟、爐溫及氣路部分，是擴散/氧化系統(tǒng)的控制中心。在控制柜的底層，安裝有四管控制系統(tǒng)的推舟控制裝置、保護電路及電路轉(zhuǎn)接控制板,前蓋板上裝有三相電源指示燈及照明、凈化、抽風開關(guān)等。

擴散—太陽能電池制造核心工序1.1控制部分整個控制柜分為五層，計算機控制部分分上層、中上推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層推舟的絲杠、導軌副傳動系統(tǒng)及SiC懸臂槳座，絲杠的右端安裝有驅(qū)動步進電機，導軌的兩端是限位開關(guān)。柜子的下部裝有控制電路轉(zhuǎn)接板及凈化用風機。電阻加熱爐部分電阻加熱爐柜共有六層。頂層配置有水冷散熱器及排熱風扇，廢氣室頂部設有抽風口，與外接負壓抽風管道連接后，可將工藝過程殘余的廢氣帶走。中間部分分四層放置四個爐管，每層由四個坡面支架托起并固定住爐管，其位置在安裝時已經(jīng)與推舟送片機構(gòu)——絲杠、導軌副調(diào)好對中，因此切不可輕易挪動1.2推舟凈化部分擴散—太陽能電池制造核心工序推舟凈化柜的頂部裝有照明燈；正面是水平層流的高效過濾器及四層氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的有害氣體。

柜頂設置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進氣接口，接口以下安裝有減壓閥、截止閥，用以對進氣壓力進行控制及調(diào)節(jié)。對應于氣路，各層分別裝有相應的電磁閥、氣動閥、過濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、及源瓶冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量控制器電源、控制開關(guān)、保險等電路轉(zhuǎn)接板以及設備總電源進線轉(zhuǎn)接板。

1.3氣源部分擴散—太陽能電池制造核心工序氣源柜分為五層。頂部設置有排毒口，用以排除在換源過程中泄漏的1.4氣路結(jié)構(gòu)三種氣體：氮氣（N2）氧氣（O2）壓縮空氣擴散—太陽能電池制造核心工序1.4氣路結(jié)構(gòu)三種氣體：擴散—太陽能電池制造核心工序1.5氣路結(jié)構(gòu)各閥門名稱擴散—太陽能電池制造核心工序減壓閥干燥器波紋管手動閥常開電磁閥手動截止閥浮子流量計質(zhì)量流量控制器氣動閥防腐單向閥單向閥石英源瓶石英管1.5氣路結(jié)構(gòu)各閥門名稱擴散—太陽能電池制造核心工序減壓閥干1.6系統(tǒng)控制原理加熱控制原理進退舟控制原理氣體流量控制原理擴散—太陽能電池制造核心工序1.6系統(tǒng)控制原理加熱控制原理擴散—太陽能電池制造核心工序1.7主要性能指標溫度控制范圍：400～1100℃恒溫區(qū)長度及精度：≤±1℃/800mm（801～1100℃）≤±1.5℃/800mm（400～800℃）單點溫度穩(wěn)定性：≤±1℃/24h爬升率:15℃/min(最大)下降率:5℃/min(最大)具有自動斜率升降溫及恒溫功能采用碳化硅槳懸臂自動送片機構(gòu)，舟速50～500mm/min連續(xù)可調(diào)；凈化工作臺凈化級別：100級（環(huán)境10000級）擴散—太陽能電池制造核心工序1.7主要性能指標溫度控制范圍：400～1100℃擴散—太1.7擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控流量設定與監(jiān)控進退舟操作凈化風機開關(guān)溫度、流量曲線圖功能菜單擴散—太陽能電池制造核心工序1.7擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核1.8擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控流量設定與監(jiān)控壓力檢測進退舟操作凈化風機開關(guān)溫度、流量曲線圖功能菜單擴散—太陽能電池制造核心工序1.8擴散軟件系統(tǒng)主界面溫度設定與監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核1.9數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號打開工藝號可存儲99條工藝擴散—太陽能電池制造核心工序1.9數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號擴散—太陽能電池制造核心工序1.10數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號打開工藝號可存儲99條工藝限定修改數(shù)據(jù)擴散—太陽能電池制造核心工序1.10數(shù)據(jù)編輯窗口編輯工藝號擴散—太陽能電池制造核心工序1.11工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間工藝運行中察看溫度和流量值溫度曲線實時監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核心工序1.11工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間擴散—太陽能1.12工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間工藝運行中察看溫度和流量值溫度曲線實時監(jiān)控擴散—太陽能電池制造核心工序1.12工藝運行界面顯示工藝運時間和工藝剩余時間擴散—太陽能1.13歷史記錄界面記錄每條運行過的工藝數(shù)據(jù)察看相應的工藝曲線擴散—太陽能電池制造核心工序1.13歷史記錄界面記錄每條運行過的工藝數(shù)據(jù)擴散—太陽能電池1.14斷點啟動界面在中途退出或者因斷電、死機等原情況下使用擴散—太陽能電池制造核心工序1.14斷點啟動界面在中途退出或者因斷電、死機等原情況下使用1.15用戶管理界面可以添加用戶刪除用戶修改密碼擴散—太陽能電池制造核心工序1.15用戶管理界面可以添加用戶擴散—太陽能電池制造核心工序1.16切換用戶界面低級別切換，需輸入當前用戶密碼高級別直接輸入用戶密碼切換擴散—太陽能電池制造核心工序1.16切換用戶界面低級別切換，需輸入當前用戶密碼擴散—太陽1.17報警窗口控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常擴散小N2檢測值與設定值偏差大于20%超溫斷偶擴散小氮超壓清洗小氮超壓擴散—太陽能電池制造核心工序1.17報警窗口控制熱偶短路或溫控儀溫度顯示異常擴散—太陽能1.18氣路部分氣路部分從左到右分別是氧氣.清洗小氮.擴散小氮.大氮.需要用到氣體時，系統(tǒng)會自動開啟氣動閥。清洗小氮和擴散小氮出氣口裝有單向閥門。防止倒灌，損壞流量計。大氮作為保護氣體，一根直接通入石英管內(nèi)，另外一根連著浮子流量計，關(guān)機時會自己開啟。保護石英管。擴散—太陽能電池制造核心工序氧氣三氯氧磷三氯乙烷氮氣1.18氣路部分氣路部分從左到右分別是氧氣.清洗小氮.氣動閥由PVC材質(zhì)制造。耐腐蝕。運行工藝時，需要通入三氯乙烷和三氯氧磷是系統(tǒng)會自動開啟?？窟B接在上面的兩跟壓縮空氣管，通入高壓的空氣，下壓氣動閥。形成一個通路。清洗時嚴禁用酸清洗。內(nèi)部有金屬。1.19氣動閥擴散—太陽能電池制造核心工序壓縮空氣氣動閥由PVC材質(zhì)制造。耐腐蝕。運行工藝時，需要通入三氯乙烷此處是擋板最容易損壞的地方，石英套管的后方連接有彈簧，由于彈簧的力量，經(jīng)常會造成套管脫離擋板的內(nèi)部，進舟時，由于沒有發(fā)現(xiàn)，石英套管末端抵在鐵擋板上，造成整個擋板的損壞。所以進舟時應該認真檢查石英套管是否在鐵擋板內(nèi)部。以免損壞石英擋板1.20石英擋板與鐵擋板連接處擴散—太陽能電池制造核心工序此處是擋板最容易損壞的地方，石英套管的后方連接有彈簧，由于彈石英擋板與槳接觸的地方經(jīng)常容易損壞，特別是排氣管，裝擋板時應該扶住擋板，以免損壞。1.21石英擋板擴散—太陽能電池制造核心工序石英擋板與槳接觸的地方經(jīng)常容易損壞，特別是排氣管，裝擋板時應爐口抽風連接著外部的抽風系統(tǒng)，是運行工藝時廢氣的排放出口。由于長時間的使用，管道內(nèi)部沉積了可凝物，由于時間長沒有人清理，會低落下磷酸，污染片子和石英舟。甚至是石英管。所以爐口抽風應經(jīng)常擦拭。1.22開管爐口抽風系統(tǒng)擴散—太陽能電池制造核心工序爐口抽風連接著外部的抽風系統(tǒng)，是運行工藝時廢氣的排放出口。由尾部排氣套件包含排廢氣管和熱偶管。連接處由聚四氟乙烯密封圈連接。外面有夾子夾牢。擴散—太陽能電池制造核心工序1.23閉管尾氣裝置尾部排氣套件包含排廢氣管和熱偶管。連接處由聚四氟乙烯密封圈連此螺絲用于固定碳化硅槳。防止左右晃動。也用于封堵工藝運行時的廢棄由槳的縫隙跑出。該螺絲擰時感覺緊就可以，槳不晃動即可，嚴禁用力擰，以免抵裂碳化硅槳。1.24閉管固定碳化硅槳螺絲擴散—太陽能電池制造核心工序此螺絲用于固定碳化硅槳。防止左右晃動。也用于封堵工藝運行時的D管爐尾擋板的拆卸必須要兩人一起操作。一人負責固定住擋板，另外一人負責擰螺絲。以防擋板掉下砸斷進氣石英管和尾氣管。1.25閉管爐尾擋板的裝卸擴散—太陽能電池制造核心工序D管爐尾擋板的拆卸必須要兩人一起操作。一人負責固定住擋板，另1.進舟時保證凈化風機開啟。2.溫控儀沒有工藝人員允許嚴禁亂調(diào)。

3.控制柜面板上的“消聲”按鈕是當系統(tǒng)出現(xiàn)故障，發(fā)出聲光報警后，按下它，蜂鳴器便不再發(fā)聲；但此時并不表示故障已經(jīng)解除，必須在排除故障后將其松開。正常運行時，保證消聲按鈕是彈起的。

4.急停按鈕是當進、出舟過程中出現(xiàn)意外時，手動停止用的，在正常工藝時，請注意保持該按鈕不要按下。1.26使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序1.進舟時保證凈化風機開啟。1.26使用中的注意事項擴散—太5.槳的位置調(diào)好后，基座上下、前后以及端頭的俯仰調(diào)節(jié)螺釘均不得再隨意調(diào)動，否則在進出舟過程中極易造成石英擋板以及硅片的損壞，嚴重的還會直接損壞石英管和槳。6.石英爐門與槳的接觸部位請定期進行清洗，防止由于工藝殘留物堆積使得滑動不暢造成石英門損壞。運行工藝時必須搖動擋板。7.主送氣管道在清洗石英管接入設備之前應先排空，通入純凈高壓氣體吹洗干凈，否則管道內(nèi)的不潔凈物質(zhì)會引起氣動閥關(guān)閉不密封以及造成過濾器和質(zhì)量流量控制器的堵塞及損壞。1.27使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序5.槳的位置調(diào)好后，基座上下、前后以及端頭的俯仰調(diào)節(jié)螺釘均8.壓縮空氣、高純N2、高純O2等各種氣體進氣壓力設定值（氣源柜減壓閥表讀數(shù)）均應調(diào)在0.3～0.4Mpa之內(nèi)，太小會使得氣動閥難以開啟以及質(zhì)量流量控制器流量顯示不穩(wěn)定，太大則有可能損壞過濾器及質(zhì)量流量控制器。9.POCL3擴散源具有極強的腐蝕性，如果磷源灑在了恒溫槽內(nèi)，應馬上拔下恒溫槽的電源插頭，將槽內(nèi)的水倒掉并清洗干凈，否則會造成恒溫槽內(nèi)的致冷銅管因受腐蝕而穿孔。1.28使用中的注意事項擴散—太陽能電池制造核心工序8.壓縮空氣、高純N2、高純O2等各種氣體進氣壓力設定值設備外殼一定要有良好的接地。

出現(xiàn)故障時必須先切斷電源再分步檢查，嚴禁在未弄清故障原因的情況下帶電檢測。

當系統(tǒng)出現(xiàn)報警時，必須在徹底排除故障后，方可重新開機。

運行工藝過程中，爐口廢氣室及源柜的排氣口，一定要與排風系統(tǒng)相通，保證抽氣排毒暢通。1.29設備的安全使用擴散—太陽能電池制造核心工序設備外殼一定要有良好的接地。1.29設備的安全使用擴散—太5對超溫保護系統(tǒng)應作定期檢查，看是否工作可靠。如果晚上設置自動保溫，要求設置的最高報警溫度小于1120℃，在進入自動保溫前應先測試一下超溫保護系統(tǒng)是否靈敏可靠。

6、氣柜下方是380V電壓，打掃時一定要小心，謹防水和其他導電的物品落入下方。引起短路和人員傷害。1.30設備的安全使用擴散—太陽能電池制造核心工序5對超溫保護系統(tǒng)應作定期檢查，看是否工作可靠。如果晚上設置1.31使用保養(yǎng)保持凈化臺面的清潔衛(wèi)生。檢查恒溫水槽是否穩(wěn)定在設定溫度，有無報警。工藝運行前，檢查石英擋板、石英門是否完好。定期清理廢氣室排出的偏磷酸（每月）。定期檢查恒溫水槽冷卻水的水質(zhì)，必要時更換（每月）。定期清理凈化濾網(wǎng)，保證凈化臺的潔凈度（每月）。保持氣柜干凈，檢查各閥件、三通、四通等密封性。進退舟期間檢查絲杠是否靈活，有異響。擴散—太陽能電池制造核心工序1.31使用保養(yǎng)保持凈化臺面的清潔衛(wèi)生。擴散—太陽能電池制造二、四探針測試儀及注意事項四探針測試儀由兩部分組成。左邊是顯示設備，用于運算數(shù)據(jù)和顯示。右邊是測試設備，用于硅片的檢測。擴散—太陽能電池制造核心工序二、四探針測試儀及注意事項四探針測試儀由兩部分組成。左邊是顯2.1四探針測試儀后面板輸出端PC接口保險絲開關(guān)電源擴散—太陽能電池制造核心工序2.1四探針測試儀后面板輸出端PC接口保險絲開關(guān)電源擴散—太2.2測方塊電阻作業(yè)1.調(diào)整測試電流：使“R□”、“I”、“EXCH.1”顯示燈亮，將電流檔位0.1mA調(diào)至10mA，將待測量的硅片取出放在測試臺上（擴散面向上），按下降按鈕，使針頭平壓在硅片上（四針平齊），校準電流，調(diào)整電流值為4.530mA。（根據(jù)硅片尺寸規(guī)格進行調(diào)整）。2.測量方塊電阻：將“I”的指示燈切換至R□/ρ檔，讀取穩(wěn)定值，并記錄在電池生產(chǎn)記錄中，重復以上步驟（注意爐里、爐中、爐口加以區(qū)分。3.判斷是否返工根據(jù)規(guī)定的工藝要求判斷是否要返工，并及時調(diào)節(jié)擴散的溫度。將測試完的硅片卸到承載盒中，測量過程完畢。擴散—太陽能電池制造核心工序2.2測方塊電阻作業(yè)1.調(diào)整測試電流：擴散—太陽能電池制方塊電阻：擴