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第1頁(yè)2012年12月17日星期一半導(dǎo)體物理從物理上,微觀結(jié)構(gòu)上解釋什么是半導(dǎo)體(晶格結(jié)構(gòu)和能帶),導(dǎo)電能力為什么處于導(dǎo)體和絕緣體之間(載流子的運(yùn)動(dòng)),以及半導(dǎo)體有那些特性(電學(xué)、光學(xué)、磁學(xué)、熱學(xué))?
第2頁(yè)2012年12月17日星期一第一章半導(dǎo)體晶格結(jié)構(gòu)和能帶
本章主要討論半導(dǎo)體材料的晶格結(jié)構(gòu)以及能帶理論。目的?
第3頁(yè)2012年12月17日星期一第一章、半導(dǎo)體的電子狀態(tài)1.1晶體的結(jié)構(gòu)晶格的周期性、金剛石結(jié)構(gòu)、閃鋅礦結(jié)構(gòu)和釬鋅礦結(jié)構(gòu)1.2晶體中的能帶原子能級(jí)和固體能帶、晶體中的電子狀態(tài)1.3導(dǎo)電電子和空穴1.4常見(jiàn)半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)
第4頁(yè)2012年12月17日星期一1、Si、GaAs半導(dǎo)體材料的導(dǎo)帶底、價(jià)帶頂分別在k空間什么位置?其晶體結(jié)構(gòu)和解理面分別是什么?哪個(gè)是直接帶隙,哪個(gè)是間接帶隙?(2006)2、對(duì)于金剛石結(jié)構(gòu)的硅Si和閃鋅礦結(jié)構(gòu)的砷化鎵GaAs,在(111)晶面上,其原子面密度和面間距都是最大,為什么Si的解理面是(111),而GaAs不是?(2007)
歷年真題
第5頁(yè)2012年12月17日星期一
第二章、雜質(zhì)和缺陷能級(jí)
施主能級(jí)和受主能級(jí)、n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體、深能級(jí)雜質(zhì)
3、高阻的本征半導(dǎo)體材料和高阻的高度補(bǔ)償?shù)陌雽?dǎo)體材料的區(qū)別是什么?(2006)2.什么是淺能級(jí)雜質(zhì)?什么是深能級(jí)雜質(zhì)?列舉出半導(dǎo)體硅中各一種雜質(zhì)元素的例子。半導(dǎo)體中摻入這些雜質(zhì)分別起什么作用?(2011)
第6頁(yè)2012年12月17日星期一第三章、半導(dǎo)體中載流子的統(tǒng)計(jì)分布
本章將討論在熱平衡條件下,電子和空穴在導(dǎo)帶和價(jià)帶的分布情況
第7頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:狀態(tài)密度(g(E))費(fèi)米能級(jí)和載流子的統(tǒng)計(jì)分布(f(E))本征半導(dǎo)體的載流子濃度雜質(zhì)半導(dǎo)體的載流子濃度一般情況下載流子的統(tǒng)計(jì)分布兼并半導(dǎo)體
第8頁(yè)2012年12月17日星期一11、定性畫(huà)出N型半導(dǎo)體樣品,載流子濃度n隨溫度變化的曲線(全溫區(qū)),討論各段的物理意義,并標(biāo)出本征激發(fā)隨溫度的曲線。設(shè)該樣品的摻雜濃度為ND。比較兩曲線,論述寬帶隙半導(dǎo)體材料器件工作溫度范圍更寬。(2006-20分)4、一塊N型半導(dǎo)體,隨溫度升高,載流子濃度如何變化?費(fèi)米能級(jí)如何變化?(2009-7分)
第9頁(yè)2012年12月17日星期一
第10頁(yè)2012年12月17日星期一a段:溫度很低,電子熱運(yùn)動(dòng)能量很低,只有雜質(zhì)能級(jí)上少部分能量較高的電子能躍遷到導(dǎo)帶,形成導(dǎo)帶電子;隨著溫度升高,電子熱運(yùn)動(dòng)加快,動(dòng)能提高,更多的雜質(zhì)能級(jí)上的電子躍遷到導(dǎo)帶,使得導(dǎo)帶中的電子數(shù)目增加。此時(shí),電子熱運(yùn)動(dòng)動(dòng)能相對(duì)帶隙而言很小,本征激發(fā)相對(duì)于雜質(zhì)電離可以忽略,故此時(shí),電中性方程可以寫成:
n0
≈nD+
第11頁(yè)2012年12月17日星期一
b段:隨著溫度升高,電子熱動(dòng)能繼續(xù)增加,幾乎雜質(zhì)能級(jí)上的所有電子都可以躍遷至導(dǎo)帶了;此時(shí),本征激發(fā)相比較而言仍然較小,可以忽略,故導(dǎo)帶中電子濃度基本不變;此時(shí)電中性方程為n0≈ND
第12頁(yè)2012年12月17日星期一c段:隨著溫度繼續(xù)升高,電子熱動(dòng)能越來(lái)越大,越來(lái)越多的價(jià)帶電子躍遷到導(dǎo)帶,本征激發(fā)迅速增多,此時(shí),價(jià)帶中空穴已不可忽略,電中性方程為:n0=ND
+p0溫度再升高,大量?jī)r(jià)電子躍遷到導(dǎo)帶,本征激發(fā)的電子遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了雜質(zhì)電離的電子的濃度時(shí),占據(jù)了主導(dǎo)地位,電中性方程可以寫成:n0=p0
第13頁(yè)2012年12月17日星期一n0=p0>nn0/p0為溫度和禁帶寬度的函數(shù)Eg大則n0p0小,更難于大于n
第14頁(yè)2012年12月17日星期一
第15頁(yè)2012年12月17日星期一2.本征費(fèi)米能級(jí)本征費(fèi)米能級(jí)位于禁帶中央,和導(dǎo)帶底及價(jià)帶頂一樣,均可作為電勢(shì)的參考點(diǎn)(很好的近似)由于半導(dǎo)體的禁帶寬度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于kT,所以,上式的第二項(xiàng)可忽略,即
第16頁(yè)2012年12月17日星期一10、(20分)設(shè)某一種半導(dǎo)體材料室溫下(300K)本征載流子濃度為1.0×1010cm?3,價(jià)帶和導(dǎo)帶有效狀態(tài)密度NV=NC=1019cm?3,1) 求禁帶寬度;2) 如果摻入施主雜質(zhì)ND=1016cm?3,求300K下,熱平衡下的電子和空穴濃度;3) 對(duì)于上面的樣品,在又摻入NA=2×1016cm?3的受主雜質(zhì)后,求新的熱平衡電子和空穴濃度(300K)。4)求3)中,費(fèi)米能級(jí)的位置EF?Ei;(2010)
第17頁(yè)2012年12月17日星期一
第18頁(yè)2012年12月17日星期一隨溫度升高,導(dǎo)帶中的電子增多,為什么費(fèi)米能級(jí)下降?(Nc變大更快)
第19頁(yè)2012年12月17日星期一第四章、半導(dǎo)體的導(dǎo)電性
本章在已知電子和空穴在導(dǎo)帶和價(jià)帶的分布情況的情況下,討論載流子在外加電場(chǎng)下的運(yùn)動(dòng)規(guī)律。目的:??
第20頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:載流子的漂移運(yùn)動(dòng)遷移率載流子的散射遷移率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系電阻率與雜質(zhì)濃度和溫度的關(guān)系強(qiáng)場(chǎng)下的效應(yīng)熱載流子多能谷散射
第21頁(yè)2012年12月17日星期一4、半導(dǎo)體中主要的兩種散射機(jī)構(gòu)是什么?在有多種散射機(jī)構(gòu)存在的情況下,為什么遷移率主要由自由時(shí)間短的機(jī)理決定?(2006)9、(16分)在T=300K下,一N型半導(dǎo)體Si樣品,測(cè)得的電阻率為0.1-cm。(1)求此時(shí)的電子濃度和空穴濃度(查圖)。(2)若在此樣品中,再摻入91016cm-3P型雜質(zhì),求此時(shí)樣品的電阻率、多子濃度和少子濃度。并求出此時(shí)多子的遷移率(查圖)。(2006)
第22頁(yè)2012年12月17日星期一遷移率與雜質(zhì)和溫度的關(guān)系總的散射幾率平均自由時(shí)間同時(shí)存在多種散射機(jī)構(gòu)時(shí),哪種起主要作用?
第23頁(yè)2012年12月17日星期一11、(13分)1) 什么是載流子的遷移率?影響遷移率的主要散射機(jī)理有幾種。討論載流子類型、摻雜和環(huán)境溫度對(duì)遷移率的影響關(guān)系。2) 論述用霍爾效應(yīng)測(cè)量載流子遷移率的實(shí)驗(yàn)方法。(2010)
第24頁(yè)2012年12月17日星期一第五章、非平衡載流子(ExcessCarriers)
本章在已知電子和空穴在導(dǎo)帶和價(jià)帶的分布情況以及載流子在外加電場(chǎng)下的運(yùn)動(dòng)規(guī)律的情況下,討論非平衡載流子的產(chǎn)生、復(fù)合、及擴(kuò)散。目的:??有濃度梯度時(shí)如何運(yùn)動(dòng)(簡(jiǎn)化情況)(濃度梯度如何產(chǎn)生??jī)煞N:內(nèi)部,外部)摻雜梯度(引入電場(chǎng)),非平衡載流子
第25頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:非平衡載流子的產(chǎn)生與復(fù)合非平衡載流子的壽命存在非平衡載流子時(shí)的費(fèi)米能級(jí)——準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)復(fù)合理論載流子擴(kuò)散方程連續(xù)性方程
第26頁(yè)2012年12月17日星期一摻有5×1015cm-3磷原子和1×1016cm-3硼原子的硅樣品,室溫下分別計(jì)算;A、熱平衡態(tài)下多子、少子濃度,費(fèi)米能級(jí)的位置(Ei為參考)B、樣品的電阻率;C、光注入Δn=Δp=3×1013cm-3的非平衡載流子,是否小注入,為什么?D、光注入下準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí)(Ei為參考);E、畫(huà)出平衡態(tài)下能帶圖,在此基礎(chǔ)上再畫(huà)出光注入時(shí)的準(zhǔn)費(fèi)米能級(jí),說(shuō)明其偏離EF程度不同的原因;F、光注入時(shí)的樣品電導(dǎo)率
第27頁(yè)2012年12月17日星期一
第28頁(yè)2012年12月17日星期一11、(15分)光均勻照射一個(gè)5cm的p型Si樣品,電子-空穴對(duì)的產(chǎn)生率為5x1016cm-3s-1,樣品壽命為10s,計(jì)算光照前、后樣品電阻率的改變,以及費(fèi)米能級(jí)位置的變化(假定此問(wèn)題中,電子和空穴的遷移率相同)。(2008)
第29頁(yè)2012年12月17日星期一第六章、p-n結(jié)
本章在已知載流子分布以及電場(chǎng)和濃度梯度下載流子運(yùn)動(dòng)規(guī)律的前提下,討論P(yáng)N結(jié)電流電壓特性、電容效應(yīng)、擊穿特性等。目的:了解半導(dǎo)體器件最基礎(chǔ)單元具有的特性。
第30頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:1、熱平衡條件下的p-n結(jié)(無(wú)電狀態(tài))
p-n結(jié)定義及形成
p-n結(jié)的空間電荷區(qū)及自建電場(chǎng)
p-n結(jié)的能帶圖空間電荷區(qū)中的電場(chǎng)、電位分布
p-n結(jié)接觸電勢(shì)差
p-n結(jié)載流子分布
第31頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:2、p-n結(jié)直流電壓特性(直流狀態(tài))
非平衡狀態(tài)下的p-n結(jié)理想p-n結(jié)電流電壓方程影響p-n結(jié)電流電壓特性偏離理想電流電壓方程的因素
第32頁(yè)2012年12月17日星期一3、p-n結(jié)電容(交流特性)
勢(shì)壘電容、擴(kuò)散電容4、p-n結(jié)擊穿(反向功率特性)5、p-n結(jié)隧道效應(yīng)(重?fù)诫s特性)
第33頁(yè)2012年12月17日星期一10、(1)寫出理想PN結(jié)的I-V特性,即電流密度J與電壓V的關(guān)系方程。分別在直角線性坐標(biāo)系和半對(duì)數(shù)坐標(biāo)系中,示意畫(huà)出PN結(jié)電流-電壓特性曲線。(2)在半對(duì)數(shù)坐標(biāo)系中的曲線上,如何將正向小電壓下勢(shì)壘區(qū)復(fù)合電流和反向電壓下勢(shì)壘區(qū)產(chǎn)生電流產(chǎn)生的作用反映在曲線上?簡(jiǎn)單解釋之。(3)如果PN結(jié)電流中,同時(shí)考慮擴(kuò)散電流和復(fù)合電流時(shí),即采用理想因子m,寫出含有理想因子m的J-V特性方程,并描述一種測(cè)量m的實(shí)驗(yàn)方法。(4)分別分析PN結(jié)加正向偏置和反向偏置,對(duì)PN結(jié)邊界處少子濃度的改變,以此論述,PN結(jié)具有正向?qū)ê头聪蝻柡吞匦浴?/p>
(2008)(32分)
第34頁(yè)2012年12月17日星期一11、(20分)PN結(jié)的N型一側(cè)摻雜濃度為ND,P型一側(cè)摻雜濃度為NA,采用雜質(zhì)飽和電離近似,證明PN結(jié)的接觸電勢(shì)差為:
ni是本征載流子濃度另有一N+N結(jié),摻雜濃度分別為N+,N,證明此時(shí)N+N結(jié)的接觸電勢(shì)差為:比較兩者的大小,并解釋其內(nèi)在的物理機(jī)理。
(2007)
第35頁(yè)2012年12月17日星期一第七章、金屬-半導(dǎo)體接觸
本章在已知半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及J-V方程后,討論金屬與半導(dǎo)體接觸的特性。目的:??
第36頁(yè)2012年12月17日星期一主要內(nèi)容:金屬半導(dǎo)體接觸及其能級(jí)圖金半接觸整流理論及肖特基接觸歐姆接觸
第37頁(yè)2012年12月17日星期一9、金屬和半導(dǎo)體接觸主要有幾種?舉例給出它們的形成條件,并定性畫(huà)出它們的能
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