GB/T 34210-2017藍寶石單晶晶向測定方法

ICS77040

H21.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34210—2017

藍寶石單晶晶向測定方法

Testmethodfordeterminingtheorientationofsapphiresinglecrystal

2017-09-07發(fā)布2018-06-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

中華人民共和國

國家標(biāo)準(zhǔn)

藍寶石單晶晶向測定方法

GB/T34210—2017

*

中國標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20179

*

書號

:155066·1-55963

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T34210—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會材料分會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中科院上海光學(xué)精密機械研究所丹東新東方晶體儀器有限公司深圳市中安測

:、、

標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)有限公司東莞市華源光電科技有限公司

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人杭寅甄偉尹繼剛趙松彬洪佳琪張連翰張毅劉衛(wèi)衛(wèi)

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T34210—2017

藍寶石單晶晶向測定方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用射線定向儀測定藍寶石單晶晶向的方法

X。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于測定表面取向大致平行于低指數(shù)晶面的藍寶石單晶材料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

半導(dǎo)體單晶晶向測定方法

GB/T1555

半導(dǎo)體材料術(shù)語

GB/T14264

射線晶體定向儀

JB/T5482X

3術(shù)語和定義

和界定的術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T1555、GB/T14264JB/T5482。

4方法原理

晶體晶向是基于射線衍射原理來測定的單晶是由三維周期性結(jié)構(gòu)排列的原子組成可以看作

X。,

是原子排列空間垂直距離為d的一系列平行晶面所形成當(dāng)一束平行的單色射線射入該晶面上且

,X,

射線照在相鄰晶面之間的光程差為其波長的整數(shù)倍即n倍時就會產(chǎn)生衍射反射利用計數(shù)器探

X,()。

測衍射線根據(jù)其出現(xiàn)的位置即可確定單晶的晶向如圖所示

,,1。

圖1X射線照射到單晶晶面上幾何反射條件

當(dāng)入射光束與反射晶面之間夾角θ射線波長λ晶面間距d及衍射級數(shù)n同時滿足下面布拉格

、X、

定律式時射線衍射光束強度將達到最大值

(1),X:

nλ=dθ

2sin