英寸芯片廠房組成

電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程6英寸芯片廠總體構(gòu)成平面布置圖電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程總效果圖電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程預(yù)留廠房36英寸生產(chǎn)廠房1動(dòng)力站〔二〕4動(dòng)力站〔一〕2綜合樓9氣站8化學(xué)品庫7化學(xué)品庫6倒班宿舍13倒班宿舍12倒班宿舍11倒班宿舍10變電站5研發(fā)樓14總平面圖電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程6英寸芯片生產(chǎn)廠房的組成電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程六英寸生產(chǎn)廠房設(shè)計(jì)概述

該廠房采取兩層結(jié)構(gòu)形式，一層核心區(qū)為回風(fēng)夾層，局部工藝設(shè)備所需的機(jī)械泵可置于回風(fēng)夾層內(nèi)。一層北側(cè)邊跨布置有廢液回收間、氣體純化間、溶劑存放間、氧化物存放間、酸存放間、化學(xué)品控制間、氣體控制間、真空泵間、等工藝輔助房間。一層西側(cè)邊跨布置純水拋光及工藝?yán)鋮s水制備間、原材料存放間。工作人員經(jīng)一層南側(cè)邊跨換鞋、一次更衣，從樓梯上到二層，經(jīng)二次更衣后吹淋進(jìn)入潔凈房間。二層工藝設(shè)備區(qū)為芯片加工電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程車間，位于二層防微振平臺上，樓板結(jié)構(gòu)為華夫板，華夫板上安裝隔柵地板以滿足回風(fēng)要求，生產(chǎn)設(shè)備層的吊頂上有凈化送風(fēng)系統(tǒng)以滿足工藝凈化要求。二層西側(cè)邊跨為維修間、晶片檢測間、爐管清洗間、部件清洗間、研磨間以及成品存放間。二層北側(cè)邊跨為變配電間。三層南側(cè)邊跨為辦公室、會議室及質(zhì)量控制間，三層西側(cè)和北側(cè)邊跨為空調(diào)機(jī)房。

電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程六英寸芯片廠房的系統(tǒng)組成生產(chǎn)系統(tǒng)支持系統(tǒng)空調(diào)凈化系統(tǒng)動(dòng)力支撐系統(tǒng)〔1、2〕平安系統(tǒng)消防系統(tǒng)管理效勞系統(tǒng)電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程六英寸芯片生產(chǎn)系統(tǒng)的組成返回芯片加工系統(tǒng)芯片中間測試、芯片成品測試生產(chǎn)線技術(shù)管理生產(chǎn)線設(shè)備維修原材料半成品成品存放潔凈工作服清洗冷卻塔工業(yè)水回流抑止器中央冷凍裝置中央鍋爐工藝?yán)鋮s水清潔干燥空氣工藝真空吹掃真空特殊氣體大宗氣體純化裝置大宗氣體儲存自來水超純水酸性藥液存儲與分配有機(jī)藥液存儲與分配新風(fēng)制備熱排風(fēng)有機(jī)排風(fēng)酸性洗滌排風(fēng)有機(jī)藥液回收槽酸性藥液集中回收槽工業(yè)廢物處理生活污水管運(yùn)離運(yùn)離6英寸生產(chǎn)廠房六英寸生產(chǎn)廠房支持系統(tǒng)構(gòu)成返回六英寸生產(chǎn)廠房支持系統(tǒng)構(gòu)成剖面圖返回電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程華夫板Waffleboard電子動(dòng)力支持系統(tǒng)培訓(xùn)課程華夫板施工現(xiàn)場

空調(diào)凈化系統(tǒng)空氣處理系統(tǒng)〔空調(diào)、凈化〕空調(diào)新風(fēng)處理系統(tǒng)空調(diào)循環(huán)風(fēng)處理系統(tǒng)空調(diào)蒸汽〔熱水〕供給系統(tǒng)通風(fēng)/降溫系統(tǒng)真空清掃系統(tǒng)動(dòng)力支撐系統(tǒng)〔一〕給水排水 生產(chǎn)、生活、消防聯(lián)合供水系統(tǒng)、純水制備供給系統(tǒng)、工藝設(shè)備循環(huán)冷卻水供給系統(tǒng)、換熱系統(tǒng)、動(dòng)力設(shè)備循環(huán)冷卻水系統(tǒng)、排水系統(tǒng)〔雨水、生活污水、生產(chǎn)廢水〕。氣體動(dòng)力工藝氣體〔氮?dú)?、氫氣、氧氣等〕輸送系統(tǒng)、工藝壓縮空氣制備及輸送系統(tǒng)、工藝真空系統(tǒng)、冷凍水制備系統(tǒng)、熱水(蒸氣)制備與供給系統(tǒng)、天然氣供給系統(tǒng)。返回電氣系統(tǒng) 110KV〔10KV〕配變電站、10KV終端配變電站、 應(yīng)急發(fā)電機(jī)和UPS系統(tǒng)、 配電系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、 動(dòng)力設(shè)備控制系統(tǒng)、 通信、數(shù)據(jù)傳輸、 報(bào)警系統(tǒng)〔火災(zāi)報(bào)警與消防聯(lián)動(dòng)控制〕、保安系統(tǒng)、應(yīng)急播送、監(jiān)視電視系統(tǒng)、通道管理系統(tǒng)、 動(dòng)力設(shè)備維修動(dòng)力支撐系統(tǒng)〔二〕返回平安系統(tǒng)有害氣體和廢熱排除及處理系統(tǒng)新風(fēng)補(bǔ)給系統(tǒng)防靜電設(shè)施、平安接地系統(tǒng)防噪聲設(shè)施化學(xué)品防護(hù)措施〔緊急噴淋及沖眼器〕氫氣管道泄露探測和報(bào)警有毒〔害〕氣體泄露探測和報(bào)警防雷接地系統(tǒng)、應(yīng)急照明和疏散指示、事故排風(fēng)、盥洗和飲水、婦女衛(wèi)生和職工醫(yī)療返回

消防系統(tǒng)建筑物防火措施火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)室內(nèi)自動(dòng)噴水滅火消防系統(tǒng)室外消火栓滅火系統(tǒng)潔凈室內(nèi)防排煙系統(tǒng)聲光應(yīng)急疏散指示、消防系統(tǒng)返回管理效勞系統(tǒng)生產(chǎn)廠管理設(shè)施辦公、會議、檔案等效勞設(shè)施 餐廳、更衣室、衛(wèi)生間、門衛(wèi)保安返回

凈化系統(tǒng)包所含內(nèi)容MAU〔新風(fēng)處理〕系統(tǒng)吊頂系統(tǒng)〔包括FFU、照明、噴灑、煙感探頭、播送、鋁合金框架等〕架空地板系統(tǒng)壁板、頂板、門FAB、SUBFAB中的COATING風(fēng)淋室排風(fēng)系統(tǒng)