大行程高精密氣浮工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)研究_第1頁
大行程高精密氣浮工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)研究_第2頁
大行程高精密氣浮工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)研究_第3頁
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文檔簡介

大行程高精密氣浮工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)研究裝備制造業(yè)一直都是各個(gè)國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展的基礎(chǔ),近年來,隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步,在微電子技術(shù)和航空航天等領(lǐng)域,對(duì)精度的要求越來越高。因此,在精密領(lǐng)域的水平是衡量一個(gè)國家經(jīng)濟(jì)能力和國際地位的重要指標(biāo)。機(jī)床精度的高低,直接影響到所加工產(chǎn)品的精度,機(jī)床類型以及驅(qū)動(dòng)方式的選擇是影響機(jī)床精度的核心,而對(duì)影響機(jī)床精度關(guān)鍵問題的改善程度直接影響機(jī)床的整體精度,進(jìn)而影響到所加工的產(chǎn)品質(zhì)量。隨著對(duì)精密加工技術(shù)需求范圍越來越廣泛,如何使機(jī)床真正實(shí)現(xiàn)大行程、高精密的運(yùn)行已經(jīng)成為現(xiàn)在亟需待解決的問題。因此,本論文在國家自然科學(xué)項(xiàng)目的支持下,對(duì)氣浮工作臺(tái)當(dāng)中存在的一些關(guān)鍵問題進(jìn)行了深入細(xì)致的研究,本論文主要研究內(nèi)容如下：1、對(duì)氣浮靜壓軸承在不同結(jié)構(gòu)參數(shù)和不同供氣壓力條件下的承載力、氣浮剛度、耗氣量進(jìn)行分析計(jì)算和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,并提出采用增加均壓槽的方式改善氣浮靜壓軸承的承載特性。2、選擇適合氣浮工作臺(tái)的傳動(dòng)方式,對(duì)傳統(tǒng)的速度曲線進(jìn)行改進(jìn),提出S型速度曲線規(guī)則,使其更加適合氣浮平臺(tái)的要求,推導(dǎo)出各時(shí)間段的加速度、速度、位移公式,并畫出實(shí)時(shí)控制流程圖。3、對(duì)氣浮平臺(tái)的變形問題進(jìn)行分析,最終提出在氣浮工作臺(tái)與直線電機(jī)之間添加隔熱材料的方法提高抑制變形的效率,并達(dá)到預(yù)期效果。4、提出通過提高氣浮剛度的穩(wěn)定性來提高氣浮工作臺(tái)運(yùn)行直線度,并對(duì)氣浮剛度公式進(jìn)行推導(dǎo),找出氣浮剛度與氣浮墊結(jié)構(gòu)參數(shù)以及供氣參數(shù)之間的關(guān)系,對(duì)氣浮剛度誤差公式進(jìn)行推導(dǎo),最終推導(dǎo)出了

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