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《微束分析分析電子顯微術(shù)金屬薄晶體試樣中位錯(cuò)密度的測(cè)定方法gb/t43088-2023》詳細(xì)解讀contents目錄1范圍2規(guī)范性引用文件3術(shù)語(yǔ)和定義4符號(hào)5方法概述6設(shè)備7試樣8測(cè)定方法contents目錄9數(shù)據(jù)處理10測(cè)定結(jié)果的不確定度11試驗(yàn)報(bào)告附錄A(資料性)小變形退火IF鋼中位錯(cuò)密度的測(cè)量示例附錄B(資料性)變形鋁合金中位錯(cuò)密度的測(cè)量示例參考文獻(xiàn)011范圍適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用微束分析和電子顯微術(shù)測(cè)定金屬薄晶體試樣中位錯(cuò)密度的方法。適用于各種金屬及合金材料,特別是對(duì)那些需要精確測(cè)定位錯(cuò)密度的材料具有重要價(jià)值。包括螺位錯(cuò)、刃位錯(cuò)以及混合位錯(cuò)等。位錯(cuò)類(lèi)型的識(shí)別位錯(cuò)密度的計(jì)算位錯(cuò)分布的觀(guān)察通過(guò)統(tǒng)計(jì)和分析試樣中的位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度,計(jì)算出單位體積內(nèi)的位錯(cuò)密度。觀(guān)察位錯(cuò)在試樣中的分布情況,為進(jìn)一步研究材料性能提供依據(jù)。測(cè)定內(nèi)容不適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)不適用于非晶體材料或厚度過(guò)大的金屬試樣。對(duì)于嚴(yán)重變形或存在大量缺陷的試樣,本方法可能無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)定位錯(cuò)密度。022規(guī)范性引用文件GB/T20307-2006納米級(jí)長(zhǎng)度的掃描電鏡測(cè)量方法通則該標(biāo)準(zhǔn)提供了利用掃描電子顯微鏡進(jìn)行納米級(jí)長(zhǎng)度測(cè)量的基本方法和原則。GB/T34056-2017金屬材料薄晶體中位錯(cuò)的透射電子顯微術(shù)分析方法此標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)說(shuō)明了如何利用透射電子顯微術(shù)來(lái)分析金屬材料薄晶體中的位錯(cuò)。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)JY/T010-1996分析型掃描電子顯微鏡方法通則該行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)為使用分析型掃描電子顯微鏡提供了操作指南和方法論。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)ISO224932008Microbeamanalysis-Scanningelectronmicroscopy-Vocabulary:此國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)定義了與掃描電子顯微術(shù)相關(guān)的專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ),為國(guó)際交流提供了便利。ASTME2014StandardGuideforPropertyMeasurementofMaterialsUsingNondestructiveTestingTechniques該標(biāo)準(zhǔn)指南提供了使用非破壞性測(cè)試技術(shù)對(duì)材料性能進(jìn)行測(cè)量的方法和建議。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)033術(shù)語(yǔ)和定義位錯(cuò)密度定義位錯(cuò)密度是指單位體積晶體中所含的位錯(cuò)線(xiàn)的總長(zhǎng)度。位錯(cuò)密度的影響因素包括籽晶中位錯(cuò)延伸、溫度梯度以及固液界面形狀等。3.1位錯(cuò)密度掃描電子顯微術(shù)是電子束以光柵狀掃描方式照射試樣表面,通過(guò)分析入射電子與試樣表面物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的信息,研究試樣表面的微區(qū)形貌、成分和晶體學(xué)性質(zhì)。掃描電子顯微術(shù)定義該技術(shù)廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)和其他領(lǐng)域,以揭示物質(zhì)表面的微觀(guān)結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。掃描電子顯微術(shù)的應(yīng)用3.2掃描電子顯微術(shù)微束分析定義微束分析是指用特定方法將帶電粒子束或光束的束斑直徑縮小到微米或亞微米尺寸,然后進(jìn)行分析的方法。微束分析的應(yīng)用該技術(shù)專(zhuān)用于樣品中雜質(zhì)的微區(qū)分布研究,對(duì)大氣顆粒物、生物細(xì)胞、礦物包裹體、宇宙塵等的研究具有重要意義。同時(shí),在材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)和環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域也有廣泛應(yīng)用。3.3微束分析044符號(hào)位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度,指晶體中某一位錯(cuò)線(xiàn)的實(shí)際長(zhǎng)度。L晶體體積,指所研究晶體的總體積。V01020304位錯(cuò)密度,表示單位體積晶體中所含的位錯(cuò)線(xiàn)的總長(zhǎng)度。ρ位錯(cuò)數(shù)目,表示在給定體積V內(nèi)位錯(cuò)線(xiàn)的數(shù)量。N符號(hào)及其定義位錯(cuò)密度的計(jì)算通過(guò)統(tǒng)計(jì)給定體積V內(nèi)的位錯(cuò)數(shù)目N和每條位錯(cuò)的長(zhǎng)度L,可以計(jì)算出位錯(cuò)密度ρ,公式為ρ=ΣL/V,其中ΣL表示所有位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度的總和。晶體質(zhì)量的評(píng)估工藝參數(shù)的優(yōu)化符號(hào)在測(cè)定方法中的應(yīng)用位錯(cuò)密度是評(píng)估晶體質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。通過(guò)測(cè)定和比較不同晶體的位錯(cuò)密度,可以選出質(zhì)量更優(yōu)的晶體用于后續(xù)的實(shí)驗(yàn)或應(yīng)用。位錯(cuò)密度與晶體的生長(zhǎng)條件、熱處理工藝等密切相關(guān)。通過(guò)測(cè)定不同工藝條件下晶體的位錯(cuò)密度,可以?xún)?yōu)化工藝參數(shù),降低位錯(cuò)密度,提高晶體質(zhì)量。精確描述通過(guò)符號(hào)和公式的運(yùn)用,可以對(duì)位錯(cuò)密度進(jìn)行量化分析,從而更準(zhǔn)確地評(píng)估晶體的質(zhì)量和性能。量化分析指導(dǎo)實(shí)踐了解位錯(cuò)密度的符號(hào)和計(jì)算方法,可以指導(dǎo)實(shí)驗(yàn)人員在實(shí)際操作中更加準(zhǔn)確地測(cè)定和分析位錯(cuò)密度,為后續(xù)的科研或生產(chǎn)提供有力支持。使用統(tǒng)一的符號(hào)和定義可以確保不同研究人員之間的交流和理解,避免產(chǎn)生誤解和混淆。符號(hào)的重要性055方法概述位錯(cuò)密度的定義位錯(cuò)密度是指單位體積晶體中所含的位錯(cuò)線(xiàn)的總長(zhǎng)度。測(cè)定方法通過(guò)掃描電子顯微術(shù)和微束分析技術(shù),觀(guān)察并統(tǒng)計(jì)金屬薄晶體試樣中的位錯(cuò)線(xiàn),從而計(jì)算出位錯(cuò)密度。5.1測(cè)定原理選擇具有代表性的金屬薄晶體試樣,確保樣品無(wú)裂紋、無(wú)雜質(zhì)且表面平整。樣品選擇對(duì)樣品進(jìn)行必要的處理,如研磨、拋光等,以獲得清晰的顯微組織圖像。樣品處理5.2樣品制備5.3實(shí)驗(yàn)設(shè)備微束分析儀用于對(duì)試樣進(jìn)行微區(qū)分析,確定位錯(cuò)線(xiàn)的準(zhǔn)確位置和長(zhǎng)度。掃描電子顯微鏡用于觀(guān)察金屬薄晶體試樣的顯微組織,需具備高分辨率和成像質(zhì)量。將處理好的金屬薄晶體試樣安裝在掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)上。樣品安裝5.4實(shí)驗(yàn)步驟調(diào)整顯微鏡參數(shù),獲取清晰的顯微組織圖像。圖像獲取利用圖像分析軟件,統(tǒng)計(jì)圖像中的位錯(cuò)線(xiàn)數(shù)量和長(zhǎng)度。位錯(cuò)線(xiàn)統(tǒng)計(jì)根據(jù)統(tǒng)計(jì)結(jié)果,計(jì)算出金屬薄晶體試樣中的位錯(cuò)密度。位錯(cuò)密度計(jì)算066設(shè)備01高分辨率為確保能夠清晰地觀(guān)察和記錄位錯(cuò),掃描電子顯微鏡需要具備高分辨率的成像能力。6.1掃描電子顯微鏡02穩(wěn)定性顯微鏡的穩(wěn)定性對(duì)于長(zhǎng)時(shí)間觀(guān)察和記錄位錯(cuò)至關(guān)重要,以確保圖像的清晰度和準(zhǔn)確性。03操作便捷性易于操作的顯微鏡可以大大提高工作效率,減少操作失誤。數(shù)據(jù)分析軟件專(zhuān)業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件可以對(duì)收集到的信號(hào)進(jìn)行深度處理和分析,提供更全面的位錯(cuò)密度信息。精確的束斑控制微束分析設(shè)備需要具備精確的束斑控制能力,以確保對(duì)金屬薄晶體試樣的微小區(qū)域進(jìn)行準(zhǔn)確分析。高靈敏度探測(cè)器高靈敏度的探測(cè)器可以更有效地捕捉到試樣中的位錯(cuò)信號(hào),提高分析的準(zhǔn)確性。6.2微束分析設(shè)備為確保試樣的尺寸和形狀滿(mǎn)足分析要求,需要使用高精度的切割工具進(jìn)行樣品制備。高精度切割工具對(duì)試樣進(jìn)行拋光處理可以消除表面瑕疵,提高觀(guān)察和分析的準(zhǔn)確性。拋光設(shè)備對(duì)于較厚的金屬晶體,需要使用專(zhuān)業(yè)的薄化設(shè)備將其減薄至適合分析的厚度。薄化設(shè)備6.3樣品制備設(shè)備010203真空系統(tǒng)在分析過(guò)程中,需要保持試樣處于真空環(huán)境中,以避免氣體分子對(duì)分析結(jié)果的干擾。冷卻系統(tǒng)為確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命,需要配備有效的冷卻系統(tǒng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行降溫處理。安全防護(hù)裝置在分析過(guò)程中,安全防護(hù)裝置可以保護(hù)操作人員免受潛在的安全風(fēng)險(xiǎn)。0302016.4輔助設(shè)備077試樣拋光與蝕刻研磨后對(duì)試樣進(jìn)行拋光處理,以進(jìn)一步平滑表面。在某些情況下,可能還需要通過(guò)化學(xué)蝕刻來(lái)揭示位錯(cuò)結(jié)構(gòu)。清洗與干燥制備過(guò)程中需多次清洗以去除雜質(zhì),并在最后進(jìn)行干燥,確保試樣表面無(wú)殘留物。切割與研磨金屬薄晶體試樣需經(jīng)過(guò)精確切割,保證尺寸符合要求,隨后進(jìn)行細(xì)致的研磨,以確保表面平整無(wú)瑕疵。7.1試樣制備試樣應(yīng)具有一定的尺寸和形狀,以便于在微束分析和電子顯微術(shù)中進(jìn)行操作和觀(guān)察。尺寸與形狀為了準(zhǔn)確測(cè)定位錯(cuò)密度,試樣的晶體取向應(yīng)明確,并與分析方法相匹配。晶體取向試樣表面應(yīng)無(wú)劃痕、污漬或其他缺陷,以確保分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。表面質(zhì)量7.2試樣要求保存環(huán)境試樣應(yīng)存放在干燥、無(wú)塵的環(huán)境中,以避免表面污染或氧化。運(yùn)輸方式7.3試樣保存與運(yùn)在運(yùn)輸過(guò)程中,試樣應(yīng)妥善包裝,以防止損壞或污染。對(duì)于特殊要求的試樣,可能還需要采取額外的保護(hù)措施。0102在制備完成后,應(yīng)對(duì)試樣進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè),以確保其符合分析要求。這包括尺寸、形狀、晶體取向和表面質(zhì)量的檢查。質(zhì)量檢測(cè)可采用已知位錯(cuò)密度的標(biāo)準(zhǔn)試樣進(jìn)行驗(yàn)證,以確保分析方法的準(zhǔn)確性和可靠性。同時(shí),也可對(duì)同一試樣進(jìn)行多次測(cè)定,以檢驗(yàn)方法的穩(wěn)定性和重復(fù)性。驗(yàn)證方法7.4試樣檢測(cè)與驗(yàn)證088測(cè)定方法對(duì)試樣進(jìn)行必要的預(yù)處理,如清潔、拋光等,以消除表面污染和缺陷對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果的影響。將試樣加工成適合微束分析和掃描電子顯微術(shù)觀(guān)察的形狀和尺寸。選擇適當(dāng)?shù)慕饘俦【w試樣,確保其具有代表性且符合實(shí)驗(yàn)要求。8.1試樣制備010203選擇合適的微束分析設(shè)備,確保其具有較高的分辨率和精度。調(diào)整設(shè)備參數(shù),以獲得最佳的束斑直徑和束流強(qiáng)度,保證分析的準(zhǔn)確性和靈敏度。對(duì)試樣進(jìn)行逐點(diǎn)掃描,記錄每個(gè)掃描點(diǎn)的位錯(cuò)密度數(shù)據(jù)。8.2微束分析選擇高分辨率的掃描電子顯微鏡,以獲得清晰的試樣表面形貌和晶體結(jié)構(gòu)圖像。8.3掃描電子顯微術(shù)觀(guān)察調(diào)整顯微鏡參數(shù),以獲得最佳的圖像質(zhì)量和分辨率。對(duì)試樣進(jìn)行詳細(xì)的觀(guān)察和分析,記錄位錯(cuò)分布、形態(tài)和密度等信息。8.4數(shù)據(jù)處理與分析結(jié)合其他測(cè)試方法和表征手段,對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行進(jìn)一步的驗(yàn)證和解釋。根據(jù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果,評(píng)估試樣的晶體質(zhì)量和性能,為材料研究和應(yīng)用提供參考依據(jù)。對(duì)通過(guò)微束分析和掃描電子顯微術(shù)獲得的數(shù)據(jù)進(jìn)行整理和分析,計(jì)算出試樣的平均位錯(cuò)密度。010203099數(shù)據(jù)處理位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度測(cè)量通過(guò)掃描電子顯微圖像,精確測(cè)量位錯(cuò)線(xiàn)的長(zhǎng)度,并記錄測(cè)量數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)分類(lèi)與匯總根據(jù)測(cè)量的位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度,將其分類(lèi)并匯總,以便進(jìn)行后續(xù)的數(shù)據(jù)分析。數(shù)據(jù)收集與整理VS運(yùn)用統(tǒng)計(jì)學(xué)方法對(duì)收集到的位錯(cuò)線(xiàn)長(zhǎng)度數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,如計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差等,以了解數(shù)據(jù)的分布情況和離散程度。相關(guān)性分析探究位錯(cuò)密度與其他影響因素(如溫度梯度、固液界面形狀等)之間的相關(guān)性,為優(yōu)化工藝參數(shù)提供依據(jù)。統(tǒng)計(jì)分析數(shù)據(jù)分析方法根據(jù)數(shù)據(jù)分析結(jié)果,對(duì)位錯(cuò)密度進(jìn)行解讀,明確其大小、分布情況以及可能的影響因素。數(shù)據(jù)解讀將數(shù)據(jù)處理結(jié)果以報(bào)告形式呈現(xiàn),包括數(shù)據(jù)收集、分析方法、分析結(jié)果及結(jié)論等部分,為后續(xù)研究和應(yīng)用提供參考。報(bào)告撰寫(xiě)數(shù)據(jù)解讀與報(bào)告撰寫(xiě)1010測(cè)定結(jié)果的不確定度包括切割、研磨、拋光等步驟可能導(dǎo)致晶體結(jié)構(gòu)的變化,從而影響位錯(cuò)密度的測(cè)量結(jié)果。樣品制備過(guò)程中引入的不確定度設(shè)備的精度、分辨率以及穩(wěn)定性等因素都會(huì)對(duì)測(cè)量結(jié)果產(chǎn)生影響。測(cè)量設(shè)備引入的不確定度操作人員的技能水平、經(jīng)驗(yàn)以及對(duì)設(shè)備的熟悉程度都可能影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。操作人員引入的不確定度不確定度的來(lái)源不確定度的評(píng)估方法B類(lèi)不確定度評(píng)估根據(jù)測(cè)量設(shè)備的精度、測(cè)量方法的可靠性等因素,采用概率分布或區(qū)間估計(jì)的方法得到B類(lèi)不確定度分量。合成不確定度將A類(lèi)和B類(lèi)不確定度分量進(jìn)行合成,得到最終的測(cè)量不確定度。A類(lèi)不確定度評(píng)估通過(guò)統(tǒng)計(jì)分析方法對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,得到A類(lèi)不確定度分量。030201改進(jìn)樣品制備方法優(yōu)化切割、研磨、拋光等步驟,以減少對(duì)晶體結(jié)構(gòu)的破壞。降低不確定度的措施提高測(cè)量設(shè)備的精度和分辨率選擇更先進(jìn)的設(shè)備,提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和可靠性。加強(qiáng)操作人員的培訓(xùn)提高操作人員的技能水平和經(jīng)驗(yàn),確保他們能夠熟練掌握測(cè)量方法并準(zhǔn)確操作設(shè)備。1111試驗(yàn)報(bào)告11.1報(bào)告內(nèi)容試樣信息包括試樣的名稱(chēng)、來(lái)源、制備方法和處理過(guò)程等詳細(xì)信息。試驗(yàn)條件記錄試驗(yàn)過(guò)程中使用的設(shè)備、儀器及其設(shè)置參數(shù),如加速電壓、束流強(qiáng)度等。位錯(cuò)密度測(cè)定結(jié)果給出金屬薄晶體試樣中位錯(cuò)密度的具體數(shù)值,以及測(cè)定過(guò)程中的誤差分析。結(jié)果分析與討論對(duì)測(cè)定結(jié)果進(jìn)行詳細(xì)的分析和討論,解釋位錯(cuò)密度與試樣性質(zhì)、制備工藝等因素的關(guān)系。報(bào)告應(yīng)采用規(guī)范的科學(xué)論文格式,包括標(biāo)題、摘要、正文、結(jié)論和參考文獻(xiàn)等部分。報(bào)告應(yīng)使用專(zhuān)業(yè)的科學(xué)術(shù)語(yǔ),避免使用口語(yǔ)化或模糊的表述方式。報(bào)告中的數(shù)據(jù)應(yīng)真實(shí)、準(zhǔn)確,圖表應(yīng)清晰、美觀(guān),方便讀者理解。報(bào)告中的結(jié)論應(yīng)基于試驗(yàn)結(jié)果和分析,給出明確的觀(guān)點(diǎn)和論據(jù)。11.2報(bào)告格式和要求010203試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的審核程序,確保數(shù)據(jù)的真實(shí)性和可靠性。審核通過(guò)的報(bào)告可以按照相關(guān)規(guī)定進(jìn)行發(fā)布,供其他研究人員參考和引用。發(fā)布的報(bào)告應(yīng)注重知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù),遵守相關(guān)的學(xué)術(shù)規(guī)范和法律法規(guī)。11.3報(bào)告的審核和發(fā)布針對(duì)試驗(yàn)過(guò)程中存在的問(wèn)題和不足,提出具體的改進(jìn)方案和建議。11.4報(bào)告的改進(jìn)方向探討如何進(jìn)一步提高位錯(cuò)密度測(cè)定的精度和可靠性,為相關(guān)研究提供更加準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)支持。研究新的試樣制備方法和處理技術(shù),以提高試樣的質(zhì)量和代表性,從而更好地反映金屬材料的性能特點(diǎn)。12附錄A(資料性)小變形退火IF鋼中位錯(cuò)密度的測(cè)量示例從小變形退火后的IF鋼中切取一小塊試樣。使用金相研磨機(jī)逐級(jí)研磨,直至試樣表面平整且無(wú)明顯劃痕。采用拋光機(jī)進(jìn)行拋光處理,以獲得光滑如鏡的表面。使用適當(dāng)?shù)奈g刻劑對(duì)試樣進(jìn)行蝕刻,以清晰地顯示出位錯(cuò)結(jié)構(gòu)。樣品制備取樣研磨拋光蝕刻顯微觀(guān)察利用透射電子顯微鏡(TEM)對(duì)試樣進(jìn)行觀(guān)察,尋找位錯(cuò)線(xiàn)。圖像記錄拍攝并記錄包含位錯(cuò)線(xiàn)的TEM圖像。位錯(cuò)線(xiàn)計(jì)數(shù)通過(guò)圖像處理軟件對(duì)TEM圖像中的位錯(cuò)線(xiàn)進(jìn)行計(jì)數(shù)。位錯(cuò)密度計(jì)算根據(jù)試樣體積和位錯(cuò)線(xiàn)數(shù)量,計(jì)算出位錯(cuò)密度。位錯(cuò)密度測(cè)定結(jié)果分析與討論位錯(cuò)類(lèi)型識(shí)別根據(jù)TEM圖像中位錯(cuò)線(xiàn)的形態(tài)和分布,識(shí)別出主要的位錯(cuò)類(lèi)型(如螺位錯(cuò)、刃位錯(cuò)等)。位錯(cuò)密度與材料性能關(guān)系探討結(jié)合IF鋼的力學(xué)性能和加工工藝,分析位錯(cuò)密度對(duì)材料性能的影響。誤差分析對(duì)測(cè)量過(guò)程中可能產(chǎn)生的誤差來(lái)源進(jìn)行分析,并提出改進(jìn)措施以提高測(cè)量準(zhǔn)確性。樣品制備過(guò)程中要避免過(guò)度研磨和拋光,以免影響位錯(cuò)結(jié)構(gòu)的觀(guān)察。注意事項(xiàng)01TEM觀(guān)察時(shí)要選擇合適的加速電壓和放大倍數(shù),以獲得清晰的圖像。02位錯(cuò)線(xiàn)計(jì)數(shù)時(shí)要確保準(zhǔn)確性,避免重復(fù)計(jì)數(shù)或遺漏。

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