表面工程略微整理版

1、潔凈表面:大塊晶體的三維周期結(jié)構(gòu)與真空間的過渡區(qū),它包括所有不具有品體 內(nèi)特征的原子層，為1個(gè)幾個(gè)原子層，厚度0. 52nm污染表面.理想表面:冶金結(jié)合: 擴(kuò)散結(jié)合: 磨粒磨損: 粘著磨損：指在520580°c同時(shí)滲入c/n原了，以滲氮為主的工藝鹽浴氮碳共滲+氧化鹽浴冷卻+拋光+氧化鹽浴通過將鋼鐵材料置于硼砂熔鹽浴中進(jìn)行滲m（輅/機(jī)/銳）的工藝 表面凸凹不平，互相嵌合高溫下發(fā)生原子擴(kuò)散，接合面上形成固溶體或金屬間化合物將一定比例的氧和乙炊送入槍內(nèi)，后將氮?dú)馀c粉末混合輸入，由火花 合氣體燃燒爆炸,粉末被加熱和加速，由槍口噴射到基體指被任何其他東西所污染，或吸附其他原子、分子的材料表面。

2、 當(dāng)一塊無限大的無缺陷的晶體被分成兩個(gè)半無限大的晶體吋，如果在 分割面附近區(qū)域中的原子排列、電子的密度分布都和分割前一樣， 而且品體在分割時(shí)沒有原了進(jìn)入或跑出分割面，這個(gè)分割面就是理想 表而覆層與基體之間通過熔融過程實(shí)現(xiàn)結(jié)合覆層與基材之間通過原子擴(kuò)散結(jié)合指由于硬顆?；蛴餐黄鹞锸共牧线w移而造成的磨損指當(dāng)接觸表面作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于固相微凸體的焊合作用使材料從一 個(gè)表而轉(zhuǎn)移到另一個(gè)表而造成的濟(jì)損 表面疲勞磨損：指由于在表面上重復(fù)滾動(dòng)或滑動(dòng)時(shí)所產(chǎn)牛的循環(huán)交變應(yīng)力引起疲 勞而使材料脫落的磨損沖擊磨損:兩固體表面間重復(fù)沖擊作用下材料損傷和脫落的磨損形式磨光：是普通的利用砂粒、刃口將m機(jī)械性切割卜-來的過程

3、，主耍目的是去除 金屈零件表而的毛刺/砂眼/氧化皮/銹跡/溝紋等，使其具冇一定的平整度和粗 糙度拋光:是機(jī)械、化學(xué)、電化學(xué)結(jié)合過程，主要口的是消除m零件表面的微觀不平, 使其具有鏡面外觀電化學(xué)拋光:指將工件作為陽極，浸于特定的拋光介質(zhì)中并通以直流電進(jìn)行拋光 化學(xué)拋光:將工件浸于合適的的溶液屮進(jìn)行拋光.干法熱鍍鋅.預(yù)處理 干燥溶劑處理浸鋅清洗 氧化還原法:氧化/還原浸鋅噴吹/冷卻鈍化處理涂油 氣體碳氮共滲:指在780880°c同時(shí)滲入c/n原子，以滲碳為主的工藝 氮碳共滲:qpq工藝 td工藝: 機(jī)械結(jié)合: 擴(kuò)散結(jié)合: 爆炸噴涂:塞點(diǎn)火，使混 表面形成涂層的技術(shù) 超音速噴涂:氧和乙塊（

4、或煤油/內(nèi)稀/氫氣）在燃燒室燃燒后被圧縮/加速，噴向工 件基體表面形成涂層的技術(shù)（實(shí)質(zhì)是火焰噴涂+超音速）電鍍;指利用電化學(xué)的方法在零件表面沉積一薄層m或合金的技術(shù)化學(xué)鍍:在無外加電流時(shí)含冇欲鍍m離子的溶液在述原劑的作用下使m離子述原 成m而沉積在制品表面的方法。鍍液的分散能力:鍍液使鍍件表面獲得均勻鍍層的能力 深鍍能力:電鍍時(shí)對(duì)復(fù)雜鍍件整個(gè)表面被覆蓋的程度，亦稱覆蓋能力 濺射鍍:指用高能粒了轟擊靶表面，使撞擊出的原了或分了沉積在基材表面形成薄膜離子鍍:離子鍍就是在鍍膜的同時(shí)，采用帶能離子轟擊基片表面和膜層的鍍膜技 術(shù)。同質(zhì)外延：是指在單晶基體上成長出位向相同的同類單品體異質(zhì)外延:是指在單品基

5、體上成長出具冇共格或半共格聯(lián)系的異類單品體pvd：在真空條件下，以各種物理方法產(chǎn)生和原子或分子沉積在基材上，形成薄 膜或涂層cvd：利用含冇薄膜元索的一種或幾張氣相化合物、單質(zhì)氣體，在襯底表面上令 其進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，生成固體薄膜的方法磷化:金屈表而與稀磷酸以及磷酸鹽溶液接觸而形成磷化膜的過程發(fā)藍(lán):鋼鐵的化學(xué)氧化俗稱發(fā)藍(lán)處理微弧氧化通過&解液與相應(yīng)電參數(shù)的組合，在鋁、鎂、鈦及其合金表面靠弧光 放點(diǎn)的高溫高壓的環(huán)境中，生長出陶瓷膜層激光熔覆通過在基材表而添加熔覆材料，并利用高能密度的激光束使z與基材 表面薄層一起熔凝的方法，在基層表面形成與其為冶金結(jié)合的添料熔覆層 邈龍臺(tái)金化：激光表面會(huì)自化

6、，是激光束與材料表面互相作用，使材料表面發(fā)生物理冶金和化學(xué)變化，達(dá)到表面強(qiáng)化的方法t光淬火：激光淬火是利用激光將材料表面加熱到相變電以上，隨著材料門身冷卻，奧氏體傳變?yōu)轳R氏體，從而使材料表而碩化的淬火技術(shù)激光表面熔凝：利用高能激光束加熱材料，使其表面薄層快速熔化和凝固的過程 二、問答題1、表面工程技術(shù)目的與分類?重點(diǎn)發(fā)展方向!答：目的：1：提高材料抵御環(huán)境作用能力 2：賦予材料表面某種功能特性3：實(shí)施特定的表而加工來制造構(gòu)件、零部件和元器件等 分類：1：表面改性（表面組織轉(zhuǎn)化、表面涂鍍、表面合金化）2：表面 加工（表面微細(xì)加工、表面三維成型加工、表面合成新材料） 發(fā)展方向：離子技術(shù)、激光技術(shù)、

7、復(fù)合技術(shù)2、表面凈化的主要方法答：離子濺射法、真空退火法、表而預(yù)處理3、常見固體界面答：1：固相晶粒尺寸和微觀結(jié)構(gòu)差異形成的界面；2：固相組織或晶體結(jié)構(gòu)差 異形成的界面；3：固相宏觀差異形成的界面 4、物理吸附與化學(xué)吸附 答：物理吸附：由范徳華力所引起的，吸附力弱，無選擇性，不需要吸附活化能,化學(xué)吸在低溫下即可發(fā)生，吸附層的結(jié)構(gòu)與吸附分子基本相同;附：由化學(xué)鍵力所引起的，吸附力強(qiáng)，具有選擇性，需要吸附活化能,在較高溫度下 發(fā)生，吸附層的結(jié)構(gòu)為新的化合態(tài)。5、萊賓杰爾效應(yīng)及其特征答：定義：因環(huán)境介質(zhì)影響及表而自由能減少導(dǎo)致固體強(qiáng)度、塑性降低的現(xiàn)象 特征：只要少量表面活性物質(zhì)即可產(chǎn)生效應(yīng);具有選擇

8、性特征;作用很迅速; 影響是可逆的;需要拉應(yīng)力和表面活性物質(zhì)同吋起作用6. 磨粒磨損的主要類型及特征。答：低應(yīng)力磨粒磨損特征：材料表面上出現(xiàn)短的溝槽 高應(yīng)力磨粒磨損 特征：表而上發(fā)生深擦傷，出現(xiàn)塑性變形，由于粒子壓入引起的磨損犁溝磨損特征：由于重復(fù)沖擊從材料表面上鑿出較大的顆粒切削拋光磨損 特征：這種磨損使表而逐漸剝落,最后零件尺寸減薄以致報(bào)廢 表面無明顯擦傷/斷裂或塑性變形 一般在粒子粒度3um的碩粒子作用下發(fā) 生7磨粒磨損過程的影響因素答：1）磨粒特性磨粒硬度的影響 磨粒形狀和粒度（磨損率：尖銳型多角形 > 圓形;當(dāng)磨粒在某一臨界尺寸以下時(shí),材料的體積磨損率隨磨粒尺寸增加而增加當(dāng)濟(jì)粒

9、超過這一臨界尺寸時(shí),材料濟(jì)損率增幅顯著降低）2）材料力學(xué)性能與微觀組織材料的耐磨性能主要取決于其硬度，尤其是磨損后 的表面硬度。同等硬度:奧氏體/貝氏體的耐磨性 > 珠光體和馬氏體鋼中夾雜物和內(nèi)部缺陷使 表面容易產(chǎn)生剝落/開裂而降低耐磨性3）工況和環(huán)境條件主要指工作速度/載荷/磨損距離/磨粒沖擊角/以及環(huán)境濕 度/溫度和腐蝕介質(zhì)等條件對(duì)磨損過程的影響8.粘著磨損的主要類型及影響因素答：類型：微動(dòng)磨損 撕脫磨損 咬死擦傷影響因素：潤滑條件或環(huán)境a）良好的潤滑條件是降低粘著磨損的重要保障b）金屬摩擦副在真空中的粘著磨損遠(yuǎn)大于普通大氣環(huán)境的磨損硬度純金屬和加工硬化率低的單相合金組成的摩擦副易發(fā)

10、生粘著品體結(jié)構(gòu)和品體互溶性a）摩擦系數(shù)方而:密排六方而心立方體心立方b）周期表屮相距較遠(yuǎn)的元素不易互溶，也不易粘著溫度9實(shí)現(xiàn)固體潤滑的方法答：固體粉末r固體r覆膜 hr復(fù)合材料10.提高零件耐磨性的途徑答：1）設(shè)計(jì)方面 系數(shù)通過合理設(shè)計(jì)降低對(duì)磨材料的交互作用力，降低摩擦力或摩擦a）加防護(hù)層b）置換或轉(zhuǎn)移原理c）提高表面硬度 d）降低表而應(yīng)力2）選材方面 a）鋼結(jié)硬質(zhì)合金 b）司太立合金c）高鐳鋼3）表面耐磨和減摩處理10. 除油的主要方法答：1、堿性化學(xué)除油（化學(xué)脫脂）2、電化學(xué)除油3、有機(jī)溶劑除油4、水劑除油脂11. 鋼鐵酸洗采用硫酸和鹽酸有何區(qū)別?答：沒找到 百度：鹽酸腐蝕性比硫酸強(qiáng)，各氧

11、化皮能較快溶解，對(duì)金屬基體侵 蝕減弱12、以45鋼為例說明表面淬火的組織與性能特點(diǎn)答：組織 t高于ac3，淬火獲得mac和ac之間，c獲得m+ft低于鮎，保留原始組織p+f性能特點(diǎn)：1：表面c層的硬度比普通c工藝的高23hrc；2：表面c層的耐磨性也比普通c的高；3：表而c層的疲勞強(qiáng)度明顯高于普通c。13、表面淬火與整體淬火的區(qū)別?答：表面c時(shí)零件的加熱速度和冷卻速度都很快高的加熱速度使ac3和a大幅提高，tfn對(duì)ac提高有限；快速加熱吋，a不均勻化程度增加 加熱速度越快，奧氏體晶粒越細(xì)、硬度越高。快速加熱淬火后的回火溫度一般應(yīng)比普通回火溫度略低14、激光表面淬火的特點(diǎn)答：加熱速度快;不需要c

12、介質(zhì);工件變形?。灰子谧詣?dòng)化.1、淬碩層組織細(xì)化, 硬度比常規(guī)淬火高15%20%,耐磨性提高110倍。2、能精確控制硬化層 深度，工件變形小，表面無氧化脫碳3、只要激光能照射到的部位都可實(shí)現(xiàn)表面 硬化處理。4、加熱速度快、口動(dòng)化程度、生產(chǎn)效率高。5、需對(duì)工件表面預(yù)處理, 以增加工件吸收激光的能力。6、設(shè)備較貴。15、表面形變強(qiáng)化的原理及對(duì)材料表面性能的影響答：原理：通過塑性變形產(chǎn)生加工硬化，并產(chǎn)生很大的殘余應(yīng)力，從而提高工件 表面強(qiáng)度/疲勞強(qiáng)度和抗應(yīng)力腐蝕能力影響：q硬度 動(dòng)能越大，則變形層深度越大，噴丸后零件的表面硬度也越大 b）粗糙度 零件表而痕跡不同于切削加工表而，沒冇方向性，冇利于捉高

13、零 件疲勞強(qiáng)度c）疲勞壽命與抗腐蝕能力 （提高疲勞強(qiáng)度提高抗應(yīng)力腐蝕能力）16、滲層形成的基本條件及形成過程答：形成條件：滲入元素必須與基體金屈形成固溶體或金屈間化合物；欲滲 元素與基體金屈z間必須直接接觸；欲滲元素在基體金屈內(nèi)要冇一定的滲入速 度,不然沒有工業(yè)價(jià)值；提供滲入兀素活性原子的化學(xué)反應(yīng)必須滿足熱力學(xué)條件 形成過程：產(chǎn)生滲入元索（滲劑）活性原子并提供給金屬表面；活性原子在金屈表面吸附并被表面吸收；活性原了在金屈內(nèi)部的擴(kuò)散17、描述低碳鋼滲碳后緩冷和快冷后從表層到心部的組織特征答：緩冷：p+fe3c| | p f+p快冷：m+fe3c| | mf+p 18、38crmoal鋼氣體氮化后

14、的組織及性能特點(diǎn)答：550攝氏度保溫由表及里組織：e-y -a冷卻至室溫組織：£ + y '- y ' - a + y '-心部性能特點(diǎn):具有高的表面硬度（9501200hv）和耐磨性;并可在500°c以下長期 保持高的疲勞強(qiáng)度和抗咬合性能氮化t低（480570°c）,且滲層直接獲得高硬度, 不需要c,工件變形小 19、鋼鐵表面熱鍍鋅的鍍層結(jié)構(gòu)及影響滲層質(zhì)量的因素答：鍍層結(jié)構(gòu)：由表及里為近似純zn層+鐵鋅化物層+zn在fe屮的固溶體影響因素：a）鋅液t:高的浸鋅t （465°c）使?jié)B層塑性降低，鋅鍋壽命縮短；低 的t «

15、440°c）,鋅液的粘度增加，浸鋅層厚度及不均勻性t o b）浸漬時(shí)間：一 般浸漬時(shí)間壇加4倍，合金層重量增加1倍。c）抽出速度：過快使工件帶出的鋅 薄，滲層幾乎全為鐵鋅合金，塑性很低液過多，附著在工件表面，使其凸凹不平。過慢使工件表面的純鋅層太20、熱滲鋁層的主要性能特點(diǎn)及應(yīng)用答：性能：抗氧化性：滲鋁后鋼的使用溫度可提高200 °c,滲鋁層要有高的 抗氧化性耐蝕性：是目前提高鋼耐硫化物腐蝕最有效的手段之一 應(yīng)用：主要是提咼機(jī)件的耐熱、耐蝕性能。21、離子滲氮與普通氮化相比有何特點(diǎn)?答：滲速比較快，可在較低的t下進(jìn)行；可通過電參數(shù)/滲劑氣體成分和 壓力的調(diào)節(jié)來控制所獲組織；

16、氮化處理材料范圍加寬如易形成鈍化膜的不銹 鋼可實(shí)現(xiàn)氮化;減少環(huán)境污染，無需清洗生產(chǎn)效率高;易實(shí)現(xiàn)工藝過程計(jì)算機(jī)控 制22、t.d法滲層的性能答：高硬度高耐磨性高的抗氧化性及耐蝕性抗熱粘結(jié)性韌性23、熱噴涂涂層的微觀結(jié)構(gòu)及涂層結(jié)合方式答：結(jié)構(gòu)：大量扁平顆粒+部分未熔球形顆粒+夾雜（黑色細(xì)長物）+孔隙（黑 色）組成結(jié)合方式：機(jī)械結(jié)合（表面凸凹不平，互相嵌合）擴(kuò)散結(jié)合（高溫下發(fā)生原了擴(kuò)散，接合面上形成固溶體或金屬間 化合物）物理結(jié)合（界面兩側(cè)原子見距離達(dá)到原子晶格常數(shù)范圍，涂層與基體間形 成范德華力）冶金結(jié)合（基體的某些區(qū)域達(dá)到熔點(diǎn)）24、提高熱噴涂涂層結(jié)合力的工藝措施答：1、噴涂粒子尺寸控制；（到

17、達(dá)基體時(shí)為液態(tài)）； 2、粒子發(fā)行速度足夠 大，是碰撞產(chǎn)生足夠的動(dòng)能； 3、基體表面潔凈并有一定的粗糙度；4、盡量提高碰撞吋的的接觸溫度和高溫停留吋間； 5、防止扁平粒子與基體表 面產(chǎn)生殘余應(yīng)力25、熱噴涂工藝對(duì)涂層材料的基本要求答：1 涂層材料必須滿足設(shè)計(jì)要求 2.涂層材料具冇良好的物理性能3.涂層材料具有良好的穩(wěn)定性 4.涂層材料應(yīng)滿足工藝及設(shè)備的要求5.涂層材料應(yīng)是無劇毒性和無產(chǎn)生爆炸的可能性26、自熔性合金噴涂材料的性能特點(diǎn)答：熔點(diǎn)低脫氧和造渣性能好潤濕性、流動(dòng)性好涂層耐磨性好27、噴涂與噴焊的主要區(qū)別答：工件受熱情況不同；（重熔溫度可達(dá)1000 °c,變形、退火） 與基體結(jié)合

18、狀態(tài)不同；（幾十mpa提高到400 mpa左右） 所用粉末材料不同；（噴焊需自熔性粉末） 噴涂層結(jié)構(gòu)不同；（噴焊層致密無孔隙）承載能力不同；（噴焊層能承受沖擊載荷和較高接觸應(yīng)力，可適于線接觸場合， 而噴涂層只適合面接觸）28、激光熔覆的工藝及性能特點(diǎn)答：定義：指用j束在選定工作表面熔覆一層特殊性能的材料以改善表面性能的 工藝性能特點(diǎn)：熔覆層稀釋率低，月可以精確控制 基材的熱影響區(qū)及熱變形均可降低到最小程度 j覆層組織細(xì)密，微觀缺陷少，結(jié)合強(qiáng)度高，性能好 覆層的尺寸大小和位置可以精確控制 對(duì)環(huán)境無污染/無輻射/低噪聲，改善了勞動(dòng)條件29、熱噴涂涂層質(zhì)量評(píng)定的主要指標(biāo)答：涂層厚度孔隙率結(jié)合強(qiáng)度涂層

19、顯微結(jié)構(gòu) 30、電鍍的基本原理與過程答：原理：是在外加直流電流的作用卜，溶液中的m離了在陰極表面得到電了而被還原為m并沉積丁英表而的過程分散能力 整平能力 深鍍能力32、合金電鍍的原理及其特點(diǎn)過程：液相傳質(zhì)、電化學(xué)還原（前置轉(zhuǎn)換+電荷轉(zhuǎn)移步驟）、電結(jié)晶 31、電鍍液的基本組成及性能評(píng)價(jià)參數(shù)?答：組成：主鹽+陽極助溶齊u+緩沖劑性能評(píng)價(jià)參數(shù)：電流效率（電鍍時(shí)陰極實(shí)際析出的m量與理論析出量z比）（鍍液使鍍件表而獲得均勻鍍層的能力）（微觀上，鍍液使鍍層輪廓光滑的能力）（電鍍時(shí)對(duì)復(fù)雜鍍件整個(gè)表面被覆蓋的程度，亦 稱覆蓋能力）答：原理：指在同一鍍槽屮，同時(shí)沉積出含冇兩種或兩種以上金屈的鍍層是在外加直流電

20、流的作用下，溶液中的叨種或兩種以上m離子在陰極表面得到電子 特點(diǎn)：（1）形式析出而被還原為m并沉積于其表面的過程可制取高熔點(diǎn)金屬和低熔點(diǎn)金屬組成的合金；可制取平衡相圖沒有的、與冶煉合金明顯不同的物相； 可獲得近年來人們廣泛關(guān)注的非品態(tài)合金，如ni-p合金 單獨(dú)從水溶液中不能析出的金屬，如磨損、mo、ti等可以合金合金電鍍中還出現(xiàn)屯位較負(fù)的金屬先析出的特異現(xiàn)象。如：zn-fc、 zn-ni33、與電鍍相比化學(xué)鍍有何特點(diǎn)?答：特點(diǎn)：適用的基體更廣泛，除m外，可用于非金屬和半導(dǎo)體 不用加直流電源,無論制品形狀多復(fù)雜，均可獲得厚度均勻的鍍層 鍍層致密,孔隙少/硬度高34、p對(duì)化學(xué)鍍銀層結(jié)構(gòu)及性能的影響

21、?化學(xué)鍍鎳層的應(yīng)用答:結(jié)構(gòu)的影響:p<4.5%時(shí)，ni-p結(jié)構(gòu)與ni相似,晶態(tài)（ni的過飽和固溶 體）p = 56%吋，仍為晶態(tài)，晶粒更細(xì)小，完整性稍差；p = 78%時(shí)，晶態(tài)一非晶態(tài)過度階段（微晶結(jié)構(gòu)）；p>9%時(shí)，非晶態(tài)性能的彩響：低p（2-5%）:硬度高，耐濟(jì)，孔隙率稍高；中p （6-9%）:硬度高于高p,孔隙率低于低p,外觀光亮 高p （>10%）：優(yōu)良的耐蝕性；熱處理后硬度高應(yīng)用：模具工業(yè)中應(yīng)用（保證硬度和耐磨性，且冇固體潤滑的效果） 石化工業(yè)中的應(yīng)用 汽車工業(yè)屮的應(yīng)用（耐磨性鍍層、塑膠制品電鍍前處理）35、復(fù)合鍍的基本方法?化學(xué)鍍與電鍍線基復(fù)合材料鍍層的工藝比較

22、答：定義：在電鍍或化學(xué)鍍?nèi)芤哄尤敕撬苄怨腆w微粒,并使其與主體起 沉積在基材上的鍍覆工藝 方法：彌散沉積法:使微粒彌散懸浮在鍍液 中與m離子一起共沉積沉積共析法:讓大或重的粒子先沉積于基材表面，然后通過析出的m填 補(bǔ)粒子間隙.比較：1.為獲得一定量的復(fù)合微粒，化學(xué)鍍鍍液中微粒含量 為低濃度，而電鍍則要求高濃度；（化學(xué)鍍的復(fù)合率高）；2.電鍍時(shí)添加表 而活性劑可提高復(fù)合量，而化學(xué)鍍添加表而活性劑對(duì)復(fù)合率無影響；3.對(duì) 形狀復(fù)雜的零件，化學(xué)鍍可獲得均勻的鍍層，而電鍍時(shí)，厚度和復(fù)合率都與 電流密度有關(guān)，會(huì)造成復(fù)合率的不均勻性；4.鍍層的基體成分不同：化學(xué)鍍?yōu)閚i-p或ni-表面，而電鍍?yōu)閚36、離

23、子鍍的基本原理及特點(diǎn)答：原理：借助于一種惰性氣體的輝光放電使金屈或合金的蒸汽離了化，離了經(jīng) 電場加速而沉積在帶負(fù)電荷的基體上。 特點(diǎn)：結(jié)合力高 均鍍能力強(qiáng) 可以獲得合金或化合物,基體材料和鍍膜材料 可以廣泛搭配沉積速度快且無公害37、離子鍍a1取代電鍍cr的可行性分析答:類型特征電鍍離子鍍a1硬度/hv鍍cr小于800鍍a1n大于1500白光潔白光潔厚度/um610312慢快冇污染無污染基體溫度兒十度300500度可鍍層范圍純金屬及合金各20種左右各種復(fù)合涂層特征用途抗蝕、耐磨、裝飾、潤滑鍍層能做金屬及各種復(fù)合鍍層結(jié)合強(qiáng)度機(jī)械結(jié)合不牢固價(jià)鍵結(jié)合，牢固低低設(shè)備投資低（兒力元）高（兒十力元）批量性生產(chǎn)適合適合（做好夾具設(shè)計(jì)）38、 cvd常用的化學(xué)反應(yīng)類型?設(shè)計(jì)制備梯度膜ti/tin的反應(yīng)式答：（1）熱分解或高溫分解反應(yīng)（2）還原反應(yīng) （3）氧化反應(yīng)（4）水解反應(yīng) （5）沉積難熔的碳化物或氮化物 （6）合成、綜合反應(yīng)，生成半導(dǎo)休薄膜（7）基體直接參與反應(yīng)39、與普通cvd相比,pcvd有何特點(diǎn)?答:沉積t低;可在不耐高溫的材料上實(shí)現(xiàn)沉積；膜與基材結(jié)合力高，成膜速 丿變'快叉矗可制膜層材料范圍廣40、pvd和cvd兩種工藝的對(duì)比答:（1）工藝溫度高低是cvd和pv