現(xiàn)代表面技術(shù)緒論課件

主講：：博客：現(xiàn)代表面技術(shù)Modernsurfacetechnology教材和參考書

教材

124.?中國材料工程大典.材料外表工程〔上、下〕?，徐濱士，同上，20061.?現(xiàn)代材料外表技術(shù)科學(xué)?，戴達煌、周克崧，冶金工業(yè)出版社，20043.?防腐蝕外表工程技術(shù)?，李金桂，化學(xué)工業(yè)出版社，20036.?外表科學(xué)與技術(shù)?，姚壽山，機械工業(yè)出版社，1988

參考書目?外表工程學(xué)?，曾曉雁，機械工業(yè)出版社，2002?外表工程的理論與應(yīng)用?，徐濱士，國防工業(yè)出版社，20215.?現(xiàn)代外表技術(shù)?，錢苗根，機械工業(yè)出版社，19992.?材料外表工程導(dǎo)論?，趙文軫，西安交通大學(xué)出版社，1998第1章外表技術(shù)開展第2章電鍍第3章化學(xué)鍍第4章外表涂敷第5章外表改性第6章氣相沉積主要內(nèi)容第7章外表復(fù)合技術(shù)第9章外表分析與性能測試第8章外表加工技術(shù)國內(nèi)頂尖外表技術(shù)科研機構(gòu)廈門大學(xué)固體外表物理化學(xué)國家重點實驗室中科院蘭州化學(xué)物理研究所固體潤滑國家重點實驗室大連理工大學(xué)三束〔激光束、電子束、離子束〕材料改性國家重點實驗室裝甲兵工程學(xué)院裝備再制造技術(shù)國防科技重點實驗室清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室哈爾濱工程大學(xué)超輕材料與外表技術(shù)教育部重點實驗室西南交通大學(xué)外表工程與摩擦學(xué)四川重點實驗室美國“哥倫比亞號〞航天飛機起飛時遭到外力撞擊，導(dǎo)致防熱瓦上出現(xiàn)裂縫，2003年2月1日返回地面時使得超高溫氣流乘虛而入，機體材料瞬間熔化，飛機解體，機上7名航天員全部遇難應(yīng)用實例1燃燒需要有可燃物、空氣和一定溫度這三個條件。只要破壞這三個條件中的任一個，就可以到達防火的目的。這三個條件中，可燃物和一定溫度很難事先破壞。人們在日常生活和工作中，總有一些以可燃物為材料的器具，也總有一些產(chǎn)生熱量、提高溫度的熱源。問題可燃物、熱源如何進行防火？解決在高溫?zé)嵩粗車墓こ探Y(jié)構(gòu)〔如火箭、導(dǎo)彈的發(fā)射臺〕上，在生產(chǎn)和儲存可燃物的房屋內(nèi)外壁，在車輛、飛機、化工設(shè)備、通信器材、電器、包裝物及軍工產(chǎn)品上，涂上一層涂層，以隔絕空氣，做到防火于未然，防火涂層不但本身不是可燃物，而且能延緩、阻止火焰蔓延，在常溫下還具有一定的裝飾和保護作用。應(yīng)用實例2人造衛(wèi)星在宇宙中的溫度控制：問題衛(wèi)星外表受太陽照射的一面溫度可達+200℃，沒有被太陽照射的一面溫度可低到-200℃解決采用真空沉積，化學(xué)轉(zhuǎn)換與電化學(xué)沉積、化學(xué)蒸發(fā)沉積，等離子噴涂、熔燒等制備熱控涂層。東方紅一號衛(wèi)星〔鋁陽極氧化高反射熱控涂層〕應(yīng)用實例3問題在太陽能的利用中，必須利用涂層來吸收太陽光譜中所有波段的能量。解決如用電子束蒸鍍的金屬陶瓷層Co-Al2O3作為太陽能吸熱器，使對太陽能的吸收率可達95%，輻射率達10%。西氣東輸工程是要將新疆南部的天然氣輸往上海，讓上海、江蘇、浙江用上天然氣，這是一項大的工程。問題直徑1016mm的X70鋼如何承受4000km不同性質(zhì)土壤或氣候的侵蝕而不腐蝕，平安運行幾十年，上百年。解決施加防腐蝕涂層，在管線設(shè)計同時設(shè)計好內(nèi)外外表層內(nèi)外表：環(huán)氧樹脂減阻涂層，提高輸氣效率又提高耐腐蝕能力外外表：①PE三層結(jié)構(gòu)防腐蝕〔1960km〕②FBE加強級防腐蝕(1560km)③雙層FBE防腐蝕(480km)同時加上陰極保護系統(tǒng)，可望獲得長期、平安、可靠的運行應(yīng)用實例4學(xué)習(xí)目標(biāo)初步掌握各種外表技術(shù)的原理與特點、應(yīng)用現(xiàn)狀與開展趨勢

能夠根據(jù)工程需要，快速、有效、經(jīng)濟地選擇相應(yīng)的外表技術(shù)或幾種技術(shù)的組合選擇所用材料和制定最正確工藝來解決工程問題具有研究和開發(fā)外表工程新技術(shù)的能力定義什么是“外表技術(shù)〞？外表處理、外表涂(鍍)層及外表改性的總稱，是通過運用各種物理、化學(xué)或機械工藝過程改變基材外表狀態(tài)、化學(xué)成分、組織結(jié)構(gòu)或形成特殊覆層，使基體外表具有某種特殊性能，從而到達特定的使用要求的方法。第1節(jié)外表技術(shù)的意義、特點、目的和應(yīng)用意義材料的疲勞斷裂、磨損、腐蝕、氧化、燒蝕、輻照損傷等，一般從材料外表開始，而這些過程造成的直接經(jīng)濟損失相當(dāng)驚人。僅腐蝕一項，全世界每年損耗的金屬就超一萬億噸，經(jīng)濟損失占各國GNP的1~4%！行業(yè)部門直接腐蝕損失（億美元）占總直接腐蝕損失%公共設(shè)施電信，供電，燃氣，飲用水和排污47934.7運輸業(yè)船舶，飛機，汽車，鐵路車輛，危險品運輸29721.5基礎(chǔ)設(shè)施燃氣和液化氣輸送管線，水路和港口，危險品儲存，機場，鐵路，高速公路和橋梁22616.4政府油氣勘探和生產(chǎn)，石油煉化，化學(xué)，石油化工，制藥，采礦，造紙，電子，日用品，食品化工，農(nóng)業(yè)20114.6生產(chǎn)和制造業(yè)17612.81998年美國腐蝕調(diào)查數(shù)據(jù)〔直接損失2757億美元〕第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用意義我國也為腐蝕損失付出了相當(dāng)大的代價！1983年的腐蝕損失為400億元；2003年達5~6千億元；2021年因腐蝕造成的損失為1.2~2萬億元。材料抵御環(huán)境作用〔如高溫、高壓、高速、強輻射、其它惡劣工況〕的能力對設(shè)備長期使用的可靠性、穩(wěn)定性等意義重大。約30%的腐蝕損失可通過外表處理的方法進行防止第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用功能和作用

提高耐腐蝕能力抗均勻腐蝕、防晶間腐蝕與剝蝕、防電偶腐蝕、抗點磣業(yè)、耐磨蝕、抗高溫氧化與熱腐蝕、延緩腐蝕疲勞、抗應(yīng)力腐蝕和氫脆

調(diào)整摩擦磨損特性賦予外表特種功能進行外表裝飾抗摩擦磨損、減磨、潤滑、抗沖刷、抗微動磨蝕、防粘結(jié)，防咬合聲、光、磁、電的轉(zhuǎn)換、導(dǎo)電、絕緣、超導(dǎo)、存儲記憶發(fā)光、消光、光反射、光選擇吸收，紅外波、雷達波吸收與反射美麗的圖案、鮮艷的色彩、金屬的陶瓷化、非金屬制件外表合金化、非金屬材料的抗老化第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用目的充分發(fā)揮材料的使用潛力，賦予特種功能節(jié)約資源、能源，維護和支持國家可持續(xù)開展戰(zhàn)略，例如減少了腐蝕和摩擦磨損提高產(chǎn)品高技術(shù)含量，滿足產(chǎn)品高技術(shù)性能要求，例如最先進發(fā)動機必須應(yīng)用的熱障涂層提高人們的生活質(zhì)量，例如光盤、裝飾提高產(chǎn)品的可靠性、平安性、減少事故危害、延長使用壽命，例如各種涂鍍層技術(shù)的應(yīng)用第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用特點①主要作用在基材外表，對遠離外表的基材內(nèi)部組織與性能影響不大。②采用外表涂(鍍)、外表合金化技術(shù)取代整體合金化，使普通、廉價的材料外表具有特殊的性能。④不但可以制造性能優(yōu)異的零部件產(chǎn)品，而且可以用于修復(fù)已損壞、失效的零件。③外表涂層很薄，涂層用料少，為了保證涂層的性能、質(zhì)量，可以采用貴重稀缺元素而不會顯著增加本錢。第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用應(yīng)用現(xiàn)狀1.結(jié)構(gòu)材料及工程構(gòu)件和機械零部件上外表防護：將基材與腐蝕性環(huán)境別離，防止化學(xué)腐蝕與電化學(xué)腐蝕耐磨：抵抗疲勞磨蝕、沖蝕、氣蝕、粘著磨損、磨料磨損等離子噴涂陶瓷耐磨涂層：使許多產(chǎn)品的耐磨性能得到了成倍的提高TiN,TiAlN等薄膜：高耐磨，低摩擦系數(shù)，化學(xué)穩(wěn)定性高三者結(jié)合用于工具，使切削刀具加工更快，切削更深，工具壽命更長，加工外表光潔度更高，能量消耗更少外表裝飾：光亮、色澤、花紋、仿照等特性第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用2.功能材料和元器件上吸波涂層：用于飛機，與結(jié)構(gòu)隱身配合，使敵方雷達和紅外探惻器“看不到〞我方飛機防污涂層：用于艦艇，使海洋生物無法粘附于船體而保證艦艇的航行速度磁性薄膜：用于光盤，進行大量的存儲記憶、寫入、讀出，讓人們隨時可以聽到美妙的音樂，看到世界上發(fā)生的變化近代涂裝：用于轎車，可以使其漂亮、美觀，同時耐蝕性顯著提高第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用凈化大氣：如化學(xué)氣相沉積觸媒載體對空氣中有害氣體的分解凈化水質(zhì)：膜材料實現(xiàn)污水凈化、提純、軟化，及海水淡化等抗菌滅菌：如TiO2的光催化性能，可分解有毒物質(zhì)，到達殺菌滅菌的目的吸附雜質(zhì)：吸附劑的除臭、吸濕等功能活化功能：遠紅外陶瓷涂層活化空氣和水生物醫(yī)學(xué)：防止體液腐蝕、阻止基體中有毒元素進入人體等治療疾?。捍判酝繉拥撵钔唇祲汗δ芫G色能源：太陽能電池薄膜、太陽能集熱管、半導(dǎo)體制冷器等優(yōu)化環(huán)境：窗玻璃涂層調(diào)節(jié)光照3.

人類適應(yīng)、保護和優(yōu)化環(huán)境上第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用金剛石薄膜；類金剛石碳膜；立方氮化硼薄膜；超導(dǎo)薄膜；LB薄膜；超微顆粒型材料；納米固體材料；超微顆粒膜材料；非晶硅薄膜；微米硅；多孔硅；碳60；纖維增強陶瓷基復(fù)合材料；梯度功能材料外表潤濕和反潤濕技術(shù)：外表清洗外表催化技術(shù)膜技術(shù)：膜是使兩物相空間別離且關(guān)聯(lián)，起傳遞質(zhì)量與能量作用的介質(zhì)外表化學(xué)技術(shù)：如生物現(xiàn)象有關(guān)的細胞膜電勢和生物電流4.研究和生產(chǎn)新型材料上5.其它外表技術(shù)第1節(jié)外表技術(shù)的意義、目的、特點和應(yīng)用分類1.外表合金化噴焊、堆焊、離子注入、激光熔敷、熱浸鍍等2外表覆層與覆膜熱噴涂、電鍍、化學(xué)轉(zhuǎn)化、化學(xué)鍍、氣相沉積、涂裝、堆焊、金屬染色、熱浸鍍3.外表組織轉(zhuǎn)化激光、電子束熱處理、噴丸、輥壓等第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展一、按學(xué)科特點原子沉積：以原子尺度粒子的形態(tài)在材料外表沉積

顆粒沉積：以宏觀尺度顆粒的形態(tài)在材料外表沉積

整體覆蓋：涂覆材料于同一時間施加于材料外表

外表改性：采用物理化學(xué)方法使材料外表結(jié)構(gòu)性能發(fā)生變化離子注入、激光外表處理、電子束外表改性、化學(xué)熱處理等電鍍、化學(xué)鍍、物理-化學(xué)氣相沉積等熱噴涂、搪瓷和陶瓷涂覆等包箔、貼片、熱浸鍍、刷鍍、堆焊等第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展二、按照沉積物粒子的尺寸三、按工藝特點電鍍化學(xué)鍍熱滲鍍熱噴涂堆焊化學(xué)轉(zhuǎn)化膜涂裝外表彩色氣相沉積三束改性外表熱處理形變強化襯里第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展開展前景外表涂敷技術(shù)公元前2000年，從野生漆樹收集天然漆20世紀(jì)20年代，酚醛樹脂的出現(xiàn)20世紀(jì)30年代，合成樹脂涂料時代醇酸樹脂資源利用率高及污染低的綠色涂料及涂裝工藝的開發(fā)已成為外表工程技術(shù)領(lǐng)域重要的研究方向20世紀(jì)初開展起來的熱噴涂技術(shù)1910-瑞士火焰噴涂50年代美國爆炸噴涂60年代等離子噴涂和噴焊80年底超音速噴涂21世紀(jì)冷噴涂已成為較為完整的系統(tǒng)多功能涂層的開發(fā)：甲板防滑、隱身、防激光致盲、吸熱、光電轉(zhuǎn)換涂層等第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展開展前景外表強化技術(shù)20世紀(jì)20年代首先在汽車工業(yè)使用噴丸60年代航空工業(yè)廣泛使用本錢低的外表強化技術(shù)戰(zhàn)國時期鋼的淬火為最早的外表熱處理技術(shù)以電為根底的外表處理新技術(shù)不斷涌現(xiàn)19-20世紀(jì)電的創(chuàng)造20世紀(jì)初，低壓氣體放電的發(fā)現(xiàn)等離子熱化學(xué)及等離子鍍膜技術(shù)的興起60年代PVD、真空蒸鍍及70年代磁控濺射20世紀(jì)60年代，激光、電子束等技術(shù)廣泛應(yīng)用于金屬材料的外表強化第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展開展前景復(fù)合外表技術(shù)復(fù)合外表技術(shù)通過最正確協(xié)同效益使工件材料外表體系在技術(shù)指標(biāo)、可靠性、壽命、質(zhì)量和經(jīng)濟性方面獲得最正確的效果，克服了單一外表技術(shù)的局限性，解決了許多工業(yè)關(guān)鍵技術(shù)和高新技術(shù)開展中特殊的技術(shù)問題。外表加工技術(shù)微細加工技術(shù)在微電子技術(shù)中的重要作用！微細加工外表技術(shù)領(lǐng)域擴展在生物工程應(yīng)用領(lǐng)域；原材料制造業(yè)；家電行業(yè)的預(yù)涂型彩色鋼板；汽車工業(yè)；納米材料制備外表工程是一門邊緣性很強的技術(shù)，其開展必然受到許多學(xué)科和技術(shù)開展的促進和制約第2節(jié)外表技術(shù)的分類和開展第3節(jié)固體的外表表面、界面、相界面、晶界、微晶、納米晶、非晶基本概念表面：固、氣相間的分界；界面：固相間的分界；相界：凝聚相間的分界；晶界：同相中晶粒間分界；微晶：晶粒尺寸位于微米級以下；納米晶：晶粒尺寸小于100nm；非晶：晶粒尺寸小于1nm；一、典型固體外表1.理想外表第3節(jié)固體的外表理論前提：忽略了晶體內(nèi)部周期性勢場在晶體中斷的影響，忽略了外表上原子的熱運動以及出現(xiàn)的缺陷和擴散現(xiàn)象，忽略了外表外界環(huán)境的作用〔外界對外表的物理-化學(xué)作用〕理論上的結(jié)構(gòu)完整的二維點陣平面。即體內(nèi)的晶體結(jié)構(gòu)無改變地延續(xù)到外表層，直至為外表中斷為止。人們一般把晶體的解理面認(rèn)為是理想外表d內(nèi)部表面理想表面示意圖2.清潔外表不存在任何污染的化學(xué)純外表，是經(jīng)過諸如離子轟擊、退熾熱處理、超高真空中解理、熱蝕、場效應(yīng)蒸發(fā)等特殊處理后，保持在10-6Pa－10-9Pa超高真空下外來沾污少到不能用一般外表分析方法探測的外表。其中離子轟擊加退熾熱處理是目前最普遍采用的方法。清潔外表：臺階外表、弛豫外表、重構(gòu)外表涂層沉積前需預(yù)處理獲得清潔外表〔外表的化學(xué)組成與體內(nèi)相同，但結(jié)構(gòu)可以不同于體內(nèi)〕第3節(jié)固體的外表清潔外表的原子排列T：低晶面指數(shù)的平臺(Terrace)L：單分子或單原子高度的臺階(Ledge)K：單分子或單原子尺度的扭折(Kink)除了平臺，臺階和扭折外，還有外表吸附的單原子〔A〕以及外表空位〔V〕。由Kossel和Stranski提出的TLK模型，由一些較大的平坦區(qū)域和一些高度不同的臺階構(gòu)成。已被低能電子衍射(LEED)等外表分析結(jié)果證實，并可以推算出臺階高度和密度。這類結(jié)構(gòu)比較普遍地發(fā)生在一些金屬及其氧化物，半導(dǎo)體材料及其化合物晶體的某些晶面上，如Cu,Au,W,Pt,Pd,Si,Ge,As,GaAs,ZnO等臺階和扭折對晶體生長、氣體吸附和反響速度影響較大第3節(jié)固體的外表⑴臺階外表外表不是原子級的平坦，外表原子可以形成臺階結(jié)構(gòu)不是平面，由規(guī)那么的或不規(guī)那么的臺階組成晶面1（平面）晶面3（連接面）晶面2（立面）第3節(jié)固體的外表弛豫外表示意圖d0ds很多半導(dǎo)體材料以及金屬材料、離子晶體等材料中均可觀察到外表原子弛豫的存在最明顯處是外表第一層原子與第二層之間距離的變化，越深入體相，弛豫效應(yīng)越弱，并且是迅速消失。外表層之間以及外表和內(nèi)部原子層之間的垂直間距ds和體內(nèi)原子層間距d0相比有所膨脹和壓縮的現(xiàn)象，可能涉及幾個原子層。包括：壓縮效應(yīng)，弛張效應(yīng)，起伏效應(yīng)等。⑵外表弛豫第3節(jié)固體的外表①

壓縮效應(yīng)外表原子失去空間方向的相鄰原子后，體內(nèi)原子對外表原子的作用，產(chǎn)生了一個指向體內(nèi)的合力，導(dǎo)致外表原子向體內(nèi)的縱向弛豫。在金屬晶體外表比較常見，其弛豫一般不超過晶格常數(shù)的1.5-5%。如Al〔110〕,Fe〔100〕外表等，在Mo(100)外表可觀察到比較大的縱向弛像。第3節(jié)固體的外表②

弛張效應(yīng)在少數(shù)晶體的某些外表發(fā)生原子向體外移動的縱向弛豫，造成了晶體的膨脹。多出現(xiàn)在金屬晶體及其化合物外表，如Al(111)面的層間距可以增加正常間距的25%左右。第3節(jié)固體的外表③

起伏效應(yīng)在半導(dǎo)體材料如Ge,Si等晶體(111)外表上觀察到，有的原子向體外方向弛豫，有的原子向體內(nèi)弛豫，而且這兩種方向相反的縱向弛豫是有規(guī)律地間隔出現(xiàn)的，即有起有伏，稱之為起伏效應(yīng)。第3節(jié)固體的外表外表原子層在水平方向上的周期性(晶格基矢as)不同于體內(nèi)(晶格基矢a0)，但垂直方向上的層間距ds與內(nèi)部層間距d0相同。重構(gòu)外表示意圖d0asa0d0⑶外表重構(gòu)當(dāng)外表吸附外來原子而使懸掛鍵飽和時，重構(gòu)必然發(fā)生。第3節(jié)固體的外表外表擴散物質(zhì)中原子(分子)的遷移現(xiàn)象稱為擴散。擴散過程遵循Fick擴散第一定律和第二定律。擴散過程中原子平均擴散距離X

為：Q

取決于晶格結(jié)構(gòu)，固溶體類型，擴散元素，合金元素，擴散途徑XctD=擴散時間擴散系數(shù)幾何因素所決定的常數(shù)D=D0exp除體擴散外，還有外表擴散，晶界擴散，位錯擴散等Q表＜Q界＜Q位＜Q體；D表＞D界＞D位＞D體QRT擴散系數(shù)擴散時間第3節(jié)固體的外表外表高溫熔融電沉積化學(xué)沉積氣相沉積擴散涂層離子注入及沖擊鍍涂層外表粉末冶金涂層金屬涂層的形成機制主要有：第4節(jié)金屬涂層形成機制類型〔一〕外表高溫熔融形成機制熱噴涂層熱噴涂材料〔粉末或線材〕經(jīng)熱源〔火焰或電弧〕加熱至熔化或半熔化態(tài)，用高壓氣流令其霧化并噴射于工件上，塑態(tài)霧化金屬粒子以很高速度打到工件外表成片層狀結(jié)構(gòu)堆集形成涂層熱浸鍍層將經(jīng)過外表處理的金屬工件放入遠比工件熔點低的熔融金屬中，工件外表就鍍上一層金屬鍍層堆焊涂層焊接材料〔焊條或焊絲〕在熱源〔焊接電弧〕作用下熔化并涂敷于工件外表形成堆焊層熱燙印層在一定的壓力和溫度下，將金屬箔或顏料箔燙印到承印物上的工藝第4節(jié)金屬涂層形成機制自蔓延高溫合成涂層利用涂層材料之間的高效熱反響放出的熱量，將反響生成物熔化、凝固后在工件外表形成所需涂層真空熔結(jié)涂層將熔點低于基體金屬熔點的合金粉末涂覆于工件外表，在真空爐中加熱熔化，與基體金屬進行液固相擴散互溶，冷卻后在工件外表形成接近平衡相的涂層鑄滲涂層將涂層材料涂敷于鑄模外表，利用液體金屬與涂層材料的相互作用，冷卻后在鑄件外表形成合金化涂層電火花涂層利用電極與工件之間的電火花放電，使電極和工件材料局部產(chǎn)生熔化，并相互作用而形成合金覆層第4節(jié)金屬涂層形成機制〔二〕電沉積形成機制利用直流電從電解液中將金屬離子復(fù)原，在工件上析出并不斷沉積形成涂層電鍍在直流電的作用下，電解液中的金屬離子復(fù)原，并沉積到零件外表形成有一定性能的金屬鍍層。電刷鍍采用直流電源，電源的正極接鍍筆，作為刷鍍的陽極，電源的負(fù)極接工件，作為刷鍍的陰極。刷鍍時，使浸滿鍍液的鍍筆以一定的相對運動速度在工件外表上移動，并保持適當(dāng)壓力，于是在工件外表形成覆蓋層。第4節(jié)金屬涂層形成機制〔三〕化學(xué)沉積形成機制將工件浸入含欲鍍金屬的鹽和復(fù)原劑的電解質(zhì)溶液中，復(fù)原劑發(fā)生氧化反響，被鍍金屬離子復(fù)原，并在工件外表沉積，形成與基體結(jié)合牢固的覆層?；瘜W(xué)鍍又稱為自催化沉積。在化學(xué)鍍中，金屬離子是依靠在溶液中得到所需要的電子而復(fù)原成金屬沉積在工件外表形成涂層的。Mn++ne→MM:Ag,Ni,Cu第4節(jié)金屬涂層形成機制〔四〕氣相沉積形成機制物理氣相沉積〔簡稱PVD〕包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍，形成過程均可歸結(jié)為三步①成膜材料的氣化即成膜材料的蒸發(fā)、升華、被濺射、分解，也就是成膜材料的源②成膜材料的原子、分子或離子從源到基片的遷移在這一過程中粒子間可能發(fā)生碰撞，產(chǎn)生離化、復(fù)合、反響、能量的變化和運動方向的改變等一系列復(fù)雜過程