GB/T 18907-2002透射電子顯微鏡選區(qū)電子衍射分析方法

ICS37.020:17.180N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18907—2002透射電子顯微鏡選區(qū)電子衍射分析方法Methodofselectedareaelectrondiffractionfortransmissionelectronmicroscopes2002-12-05發(fā)布2003-05-01實(shí)施華中民共和發(fā)布國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

GB/T18907一2002前言L范圍2原理3儀器設(shè)備4試樣……參照樣品6試驗(yàn)方法·6.1儀器準(zhǔn)備6.2選區(qū)電子衍射譜的獲得6.3衍射常數(shù)L入的測定7衍射譜的測量與計算附錄A（規(guī)范性附錄）純金與純鋁的品面間距表附錄B（規(guī)范性附錄）單晶體的標(biāo)準(zhǔn)衍射譜………B.1面心立方品體的低指數(shù)晶帶衍射譜B.2體心立方品體的低指數(shù)品帶衍射譜B.3密排六方品體的低指數(shù)晶帶衍射譜參考文獻(xiàn)…………

GB/T18907一2002前本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A和附錄B為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口本標(biāo)準(zhǔn)由北京科技大學(xué)材料物理與化學(xué)系、北京有色金屬研究院測試所起草.本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：柳得槽、劉安生

GB/T18907—2002透射電子顯微鏡選區(qū)電子衍射分析方法范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用透射電子顯微鏡對薄品體試樣微米級區(qū)域進(jìn)行選區(qū)電子衍射分析的方法。本方法適用于各種金屬與非金屬品體薄膜（包括粉末試樣與萃取復(fù)型試樣)的電子衍射分析?？煞治龅淖钚≡嚇訁^(qū)直徑為12m。應(yīng)用電子衍射譜可以獲得試樣品體對稱性、點(diǎn)陣常數(shù)和布拉菲格子類型等數(shù)據(jù)。利用已知品體薄膜的電子行射譜可以測定透射電子顯微鏡的衍射常數(shù)。被分析試樣區(qū)直徑小于1Pm時·可參照執(zhí)行。2原理在透射電子顯微鏡中的薄晶體試樣被高能電子束照射時.在物鏡的后焦平面上將產(chǎn)生相應(yīng)的電子衍射譜。該電子衍射譜經(jīng)中間鏡、投影鏡放大并投影在熒光屏上。單品體的電子衍射譜由排列成平行四邊形的衍射斑組成，在衍射譜上由試樣品面（hkl)產(chǎn)生的衍東斑與透射斑的距離尺m和品面間距mu之間的近似關(guān)系為：式中：L=/o·M·M，/是顯微鏡的物鏡焦距,M和M-分別為中間鏡和投影鏡的放大倍數(shù)：-工作電壓下對應(yīng)的照明電子束波長.單位為納米（nm）：L入——透射電子顯微鏡的衍射常數(shù)，可通過已知晶體的衍射譜進(jìn)行測定(見6.3)。在單品體衍射譜上測量衍射斑與透射斑中心的距離尺.根據(jù)上式可得到有關(guān)品面（hkl)的品面間距。任意兩個衍射斑h(yuǎn)kh和hk與透射斑中心連線之間的夾角等于這兩個品面（hkL）和（hkL）之間的夾角轉(zhuǎn)動試樣獲得同一個單品體不同取向的兩張衍射譜.選擇不在同一張衍射譜上的三個衍射斑構(gòu)成的一個倒易點(diǎn)陣初基胞，可標(biāo)定衍射斑指數(shù)并確定其點(diǎn)陣常數(shù)。多晶體試樣的衍射譜是以透射斑為中心的一系列同心圓，每一個圓由品面間距相同的(hkl)品面的衍射組成，分別測量各個衍射圓的半徑Rm.根據(jù)上式得到有關(guān)品面（hkl)的晶面間距m,可標(biāo)定衍射圓指數(shù)并確定品體的點(diǎn)陣常數(shù)。3儀器設(shè)備透射電子顯微鏡(帶雙傾試樣臺或單傾旋轉(zhuǎn)試樣臺)。-測量放大鏡(可測長度和平面角度)或比長儀、量角器照照相材料和底片觀察器暗室及照像底片的顯