臺(tái)階儀測(cè)試薄膜厚度試驗(yàn)

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臺(tái)階儀測(cè)試薄膜厚度試驗(yàn)

一、試驗(yàn)?zāi)康模?/p>

把握測(cè)試薄膜厚度原理和方法，了解臺(tái)階儀操作技術(shù)。

二、試驗(yàn)原理：

LVDT是線(xiàn)性差動(dòng)變壓器的縮寫(xiě)，為機(jī)電轉(zhuǎn)換器的一種。利用細(xì)探針掃描樣品表面，當(dāng)檢測(cè)到一個(gè)高度區(qū)別則探針做上下起伏之變化，此變化在儀器內(nèi)部的螺旋管先圈內(nèi)造成磁通量的變化，再有內(nèi)部電子電路轉(zhuǎn)換成電壓訊號(hào)，進(jìn)而求出膜厚。LVDT線(xiàn)性位置感應(yīng)器，可測(cè)量的位移量小到幾萬(wàn)分之一英寸至幾英寸。

LVDT的工作原理是由振蕩器產(chǎn)生一高頻的參考電磁場(chǎng)，并內(nèi)建一支可動(dòng)的鐵磁主軸以及兩組感應(yīng)線(xiàn)圈，當(dāng)主軸移動(dòng)造成強(qiáng)度改變由感應(yīng)線(xiàn)圈感應(yīng)出兩電壓值，相比較后即可推算出移動(dòng)量。

三、操作流程

1開(kāi)啟電腦，開(kāi)臺(tái)階儀電源，等待10秒后開(kāi)啟操作軟件。2開(kāi)啟臺(tái)階儀保護(hù)蓋，防備放入樣品。3點(diǎn)擊Engage,觀測(cè)樣品與探針?biāo)谖恢谩?點(diǎn)擊Z+將探針升起，將樣品調(diào)到適當(dāng)位置。5點(diǎn)擊Scan，進(jìn)行掃描。6分析數(shù)據(jù)。

7點(diǎn)擊Z+將探針升到頂端。8取出樣品，關(guān)閉保護(hù)蓋。

9關(guān)閉操作軟件，關(guān)閉臺(tái)階儀電源，關(guān)閉電腦。

四、本卷須知

1待測(cè)樣品要經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的送樣登記、測(cè)試、記錄程序，不明樣品不得測(cè)試。2測(cè)試前，用洗耳球吹掃樣品表面，把灰塵等東西從樣品表面吹掃清白，保證樣品的清白度；吹掃時(shí)，洗耳球的尖端不能接觸樣品表面，防止破壞樣品。3接通電源，依次開(kāi)啟電腦開(kāi)機(jī)按鈕，顯示器按鈕，臺(tái)階儀電源按鈕，要等待一定時(shí)間（約10秒）后，待數(shù)據(jù)信息接通后，將電腦桌面上的操作軟件XP打

開(kāi)，不應(yīng)馬上開(kāi)啟軟件進(jìn)行測(cè)試。

4樣品放置時(shí)，要保證樣品在樣品臺(tái)上平穩(wěn)放置，放置時(shí)要橫平豎直，所要測(cè)試的臺(tái)階的位置靠近探針針尖的垂直位置。

5在探針下降到樣品表面的過(guò)程中，先使用Engage按鈕落針，此過(guò)程盡量不使用Z-。如探針距離樣品很遠(yuǎn)，Engage使用彈出警告的狀況下才使用Z-按鈕；具體操作時(shí)，點(diǎn)擊1-2下Z-鍵，再使用Engage按鈕讓探針下落。假使再次出現(xiàn)警告，則再點(diǎn)擊Z-按鈕，再使用Engage按鈕落針，確保針尖安全。6測(cè)試時(shí)，顯示屏幕假使發(fā)現(xiàn)針尖位置的表面比較臟，如表面有好多不明的顆粒存在于樣品表面，中止測(cè)試，待送樣者把樣品處理清白后再作測(cè)試。7斷電時(shí)，UPS自動(dòng)啟動(dòng)，此時(shí)將探針升到頂端，取出樣品，關(guān)上保護(hù)蓋，關(guān)閉臺(tái)階儀電源，關(guān)閉電腦。

8臺(tái)階儀在使用的過(guò)程中，需作定期校準(zhǔn)，為保證測(cè)試的確鑿性，暫時(shí)定為一周校準(zhǔn)一次。

9清潔樣品臺(tái)無(wú)異物、贓物。

10擦拭臺(tái)階儀外殼表面無(wú)灰塵，用洗耳球?qū)μ结樳M(jìn)行吹掃。11探針針頭是否完整，有無(wú)歪斜、探針脫落。

12臺(tái)階儀主機(jī)與電腦連接是否完好，各連接線(xiàn)是否處在連接位置。13樣品臺(tái)是否整齊，有無(wú)明顯異物。14臺(tái)階儀的校準(zhǔn)。

(1)正常開(kāi)機(jī)開(kāi)啟臺(tái)階儀拿出校樣標(biāo)準(zhǔn)件。(2)對(duì)做出的數(shù)據(jù)對(duì)照標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)是否一致。

六、試驗(yàn)結(jié)果與分析：

七、思考題：

1、對(duì)于用臺(tái)階儀對(duì)非完美薄膜的厚度測(cè)量，StepHight的M和RCursor點(diǎn)的選擇？

兩個(gè)點(diǎn)分別選在圖線(xiàn)中的拐點(diǎn)處，這樣傾斜的曲線(xiàn)會(huì)水平，比較簡(jiǎn)單得到薄膜的厚度2、怎么樣才能得到一個(gè)比較shape的臺(tái)階？

在制備