進(jìn)口設(shè)備技術(shù)參數(shù)

1、附件：進(jìn)口設(shè)備技術(shù)參數(shù)場發(fā)射透射電鏡序號設(shè)備名稱技術(shù)要求數(shù)量1場發(fā)射透射電鏡1. 工作條件1.1電力供應(yīng)：220V（10%），50Hz1.2工作溫度：18C-23C1.3工作濕度： 80% (20C)1.4儀器運(yùn)行的持久性：儀器可連續(xù)使用1.5 儀器的工作狀態(tài)：較強(qiáng)的防震抗磁能力，工作穩(wěn)定1.6 儀器設(shè)備的安全性：符合放射線防護(hù)安全標(biāo)準(zhǔn)和電器安全標(biāo)準(zhǔn)2. 設(shè)備用途：2.1 用于二維和三維尺度對材料科學(xué)進(jìn)行快速、精確的形貌觀察和微區(qū)的晶體結(jié)構(gòu)和定量表征，選擇特定設(shè)計(jì)的樣品臺進(jìn)行原位動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)。本系統(tǒng)主要有電子光學(xué)系統(tǒng)、高壓系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等部分組成。3. 技術(shù)規(guī)格3.1分辨率3.1.1信息分辨率：0

2、.12nm（要求現(xiàn)場驗(yàn)收）3.1.2點(diǎn)分辨率：0.25nm（要求現(xiàn)場驗(yàn)收）3.1.3 掃描透射分辨率：0.16nm（要求現(xiàn)場驗(yàn)收）3.2加速電壓3.2.1加速電壓：20kV 200kV高壓范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，包含20kV, 80 kV, 120kV, 160kV和200kV的常用高壓3.2.2 加速電壓全程范圍內(nèi)切換僅需通過軟件控制完成3.2.3 高壓穩(wěn)定性： 1ppm/10min3.3電子槍3.3.1電子槍類型：超高亮度高穩(wěn)定度的肖特基場發(fā)射電子槍3.3.2 束流：1nm束斑電流 1.0nA3.3.4 高亮電子槍，探針電流 150nA 200kV3.3.5 束斑漂移：1nm/min3.3.6 最

3、小能量分辨率： 0.7eV3.4 最小束斑尺寸3.4.1 平行光照明模式：最小束斑 1.2 nm 3.4.2 匯聚束照明模式：最小束斑 0.5 nm 3.5會(huì)聚束電子衍射（CBED）3.5.1最大衍射角：13 （半角）；最大接受角1003.6 透鏡系統(tǒng)3.6.1 球差系數(shù)： 1.5 mm3.6.2 色差系數(shù)： 1.6 mm3.6.3 最小聚焦步長： 3nm3.6.4 恒功率設(shè)計(jì)，消除在不同模式切換以及放大倍數(shù)調(diào)整時(shí)產(chǎn)生的熱效應(yīng)，保證成像與分析的超高穩(wěn)定性3.6.5 全自動(dòng)光闌系統(tǒng)，包括全自動(dòng)化一級、二級聚光鏡光闌，及選區(qū)光闌和物鏡光闌，最好是帶位置記憶功能3.7 TEM放大系統(tǒng)3.7.1 放大

4、倍數(shù)：不窄于25 - 1,500,000倍 3.7.2 放大倍數(shù)重復(fù)性： 1.5% 3.8 相機(jī)長度：最小 12mm；最大 5700mm，保證選區(qū)衍射和高階衍射成像并能通過CMOS拍照。3.9 掃描透射(STEM)3.9.1分辨率：0.16 nm 3.9.2配置更先進(jìn)的高角環(huán)形暗場探頭（HAADF），保證TEM能拍攝高分辨明場BF像的同時(shí)，STEM能快速拍攝高質(zhì)量的暗場DF像和高角環(huán)形暗場HAADF像3.9.3 STEM放大倍數(shù)：150 - 230M 倍3.9.3 TEM與STEM模式相互切換后所需熱穩(wěn)定時(shí)間小于30秒，保證BF、DF和HAADF圖像采集的無縫式切換3.10 樣品臺3.10.1

5、五軸優(yōu)中心高精度自動(dòng)樣品臺，觀察點(diǎn)位置可以標(biāo)記存儲(chǔ)并返回3.10.2 最大傾斜角度： 903.10.3 最小樣品傾斜角度不小于 (/) 30/303.10.4樣品移動(dòng)范圍：X,Y 2 mm；Z 0.75 mm 3.10.5樣品漂移速率（使用標(biāo)準(zhǔn)樣品桿）： 0.5nm/min3.10.6配備單傾樣品桿一根，高靈敏低背景雙傾樣品桿一根3.11 能譜儀探測器3.11.1對稱式的雙電制冷能譜，無窗設(shè)計(jì)，集成在電鏡極靴內(nèi)，可靈活拆裝，保留升級到四個(gè)能譜的接口3.11.2 能量分辨率：136 eV (Mn-Ka)，在輸出計(jì)數(shù)率10kcps內(nèi)保持不變3.11.3 元素分析范圍：從B（5）-Am（95）3.1

6、1.4 最大輸入計(jì)數(shù)率： 500Kcps3.11.5 EDS立體角： 0.45srad3.11.6 EDS最高耐熱溫度： 1000C，保證后期的加熱升級3.11.7 可進(jìn)行快速原子級尺寸的點(diǎn)、線、面的定性定量分析，全息面分布分析，具有譜峰剝離和譜峰重構(gòu)功能3.11.8對于納米級球狀樣品，在不轉(zhuǎn)動(dòng)樣品的前提下，能從多角度收集X射線性能3.12.9面分布分析最快速度：10s/pixel3.12.10可同步實(shí)時(shí)進(jìn)行STEM圖像采集和EDS分析3.12 數(shù)字化照相系統(tǒng)成像相機(jī)是透射電鏡的必要附件，用于透射電鏡形貌像和電子衍射花樣的數(shù)字化像的記錄，具有數(shù)字化圖像處理的功能，具有快速的連續(xù)記錄功能，與所購

7、電鏡完美匹配。3.12.1雙相機(jī)圖像采集系統(tǒng)，配置光子和電子之間可直接轉(zhuǎn)換的CMOS相機(jī)一個(gè)，光纖耦合CCD相機(jī)一個(gè)，與電鏡一體化。3.12.2 CMOS相機(jī)最大像素：4096 4096，像素大?。?4um 14um3.12.3 安裝方式：底裝3.12.4 具有較高的讀取速度，適合拍攝動(dòng)態(tài)錄像功能，拍攝速度應(yīng)不小于25fps512k x 512k3.12.5具有大的動(dòng)態(tài)范圍可以快速直接拍攝衍射花樣和低劑量圖像3.12.6配置的CMOS相機(jī)應(yīng)支持可拔插設(shè)計(jì)3.12.7 支持客戶根據(jù)電鏡語言進(jìn)行控制程序的自編（如CPython 編程語言）3.12.8 預(yù)留升級EELS等附件的接口3.13 軟件操作

8、3.13.1 數(shù)字化操作系統(tǒng)，基于Windows7的64位計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng), 在用戶圖形界面上完成電鏡的操作控制。3.13.2 能方便地實(shí)現(xiàn)常用功能, 包括樣品移動(dòng)、光束移動(dòng)、放大倍數(shù)、模式切換、聚焦、合軸操作等。能非常便捷的將數(shù)據(jù)、軟件各模塊在兩臺液晶顯示器之間顯示。3.13.3電鏡操作者可以根據(jù)需要擁有一套或多套電鏡狀態(tài)參數(shù)，每套狀態(tài)參數(shù)相互獨(dú)立，可在使用過程中迅速切換調(diào)用?？稍O(shè)置任意多個(gè)用戶，每個(gè)用戶之間的參數(shù)設(shè)置相對獨(dú)立，同時(shí)還可以相互調(diào)用。3.13.4 電鏡操作者可以遠(yuǎn)程控制和操作電鏡，不需要暗室。3.13.5 預(yù)留接口，后期升級可以接入EELS等附件。3.14 離子減薄3.14.1離

9、子源：雙獨(dú)立的離子源，電壓100eV 6.0keV，連續(xù)可調(diào)3.14.2最高束流密度不小于10 mA/cm2，連續(xù)可調(diào)3.14.3離子源自清洗功能3.14.4離子源電磁聚焦磁場,金屬樣品微粒不會(huì)吸附在離子源處3.14.5超大空間樣品室、大樣品臺和懸空工作的設(shè)計(jì)3.14.6減薄入射角：-10o + 10o，樣品臺旋轉(zhuǎn)：0o 360o，可制備具有大面積電子穿透區(qū)的樣品3.14.7采用無油真空系統(tǒng)，保證保持樣品不受污染，抽真空的時(shí)間小于4分鐘3.14.8真空部分包含：無油隔膜泵、渦輪分子泵、真空測定用皮拉尼真空計(jì)3.14.9實(shí)時(shí)聚焦系統(tǒng)，能根據(jù)加速電壓的不同，自動(dòng)調(diào)整聚焦磁場強(qiáng)度，聚焦離子束。（要求

10、與永磁鐵的固定磁場不同）確保在低電壓時(shí)，也具有超高的能量密度3.14.10專用的樣品夾技術(shù)，確保在零角度時(shí)的減薄時(shí)也沒有污染3.14.11觸摸屏的設(shè)置，可以自動(dòng)控制減薄過程，樣品的觀察可借助透射光或反射光3.14.12 配置光學(xué)顯微鏡一臺，放大倍率7 45倍，用于樣品直接觀察3.15超薄切片機(jī)3.15.1 體視顯微鏡（S6E） 3.15.2. 放大倍率 10 x-64x 3.15.3. 共心式移動(dòng)范圍 +5/-8（可選） 3.15.4. 刀架 360可旋轉(zhuǎn)自鎖刀架，+/-30分隔刻度，可沿臺N-S前后方向自由移動(dòng)，范圍56mm 3.15.5. 切片刀傾角調(diào)節(jié)范圍 -2 - 15，每1刻度指示，

11、可使用6-12mm切片刀，兼容任何品牌鉆石刀 3.15.6. 弧形樣品夾 3.15.7. 樣品面旋轉(zhuǎn) 樣品可做360平面旋轉(zhuǎn)，90對齊刻度 3.15.8. 樣品中心旋轉(zhuǎn) +/- 22中心旋轉(zhuǎn) 3.15.9.原廠家針對本項(xiàng)目售后服務(wù)承諾書3.15.10.原廠家國內(nèi)20套以上蓋章的證明材料3.15.11 頂部照光 LED光源，亮度可調(diào)節(jié)，最大8250lx（在刀鋒附近） 3.15.12. 背光 LED光源，亮度可調(diào)節(jié)，最大3450lx（在刀鋒附近） 3.15.13. 樣品透射照光 LED光源，亮度可調(diào)節(jié)，最大200lx（無樣品時(shí)） 3.15.14. 點(diǎn)照光 LED光源，可開關(guān)，最大8600lx（在刀

12、鋒附近） 3.15.15. *觸摸屏控制面板 *高級型10.4英寸觸摸屏 3.15.16. 通過USB接口升級系統(tǒng)軟件可以 3.15.17. 切片速度 0.05100mm/s，旋鈕調(diào)節(jié) 3.15.18. 樣品臂步進(jìn)（厚度） i. 1ii. 100nm，iii. 步進(jìn)1nm，iv.旋鈕調(diào)節(jié) v. 100vi. 1000nm，vii. 步進(jìn)10nm，viii. 旋鈕調(diào)節(jié) ix. 1000 x. 2500nm，xi. 步進(jìn)100nm，xii. 旋鈕調(diào)節(jié) xiii. 2500 xiv. 15000nm，xv. 步進(jìn)500nm，xvi. 旋鈕調(diào)節(jié) 3.15.19. 切片創(chuàng)面范圍 0.2-14mm可調(diào) 3

13、.15.20. 樣品臂回程速度 10，30，50mm/s可選 3.15.21. 樣品臂總行程 200m 3.15.22. 預(yù)警值 20m 3.15.23. 樣品臂前進(jìn)指示 10段，每段20m 3.15.24. *切片驅(qū)動(dòng)力 無震動(dòng)重力切片* 3.15.25. 切片厚度/速度存儲(chǔ) 500組（每用戶5組） 3.15.26. 總行程計(jì)數(shù) -有 3.15.27. 切片數(shù)計(jì)數(shù) -有 3.15.28. 切片行程/切片數(shù)倒計(jì)數(shù) -有 3.15.29. *可編程自動(dòng)修塊模式 -有 3.15.30. 手動(dòng)修塊模式 -有 3.15.31. 外接腳控裝置 可以 3.15.32. *左右(E-W)方向刀臺移動(dòng) 25m

14、m，步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，安裝FC7附件之后10mm移動(dòng)范圍 3.15.33. 左右(E-W)方向移動(dòng)控制 快速移動(dòng)按鈕和調(diào)節(jié)滾輪 3.15.34. 左右(E-W)方向步長 250m 3.15.35. *前后(N-S)方向刀臺移動(dòng) 10mm，步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 3.15.36. 前后(N-S)方向移動(dòng)控制 快速移動(dòng)按鈕和調(diào)節(jié)滾輪 3.15.37. 前后(N-S)方向步長 0.1-15m可調(diào) 3.15.38. 左右(E-W)方向距離測量 精確至微米級 3.15.39. 靜電強(qiáng)度控制 內(nèi)置 3.15.40. 樣品臂馬達(dá)同步 可綁定 3.15.41 電壓 100 - 260VAC，50/60Hz 3.15.42.

15、 功率 80W 3.15.43.原廠家蓋章的彩頁和彩頁上沒有的技術(shù)參數(shù)必須有原廠蓋章的技術(shù)證明材料3.16玻璃制刀機(jī)3.16.1采用平衡斷裂法原理斷裂*3.16.2碳化鎢切割滾輪，持久耐用，并自動(dòng)復(fù)位*3.16.3切割壓力可方便調(diào)節(jié)，刻度顯示，5檔連續(xù)可調(diào)3.16.4切割角度：453.16.5斷裂壓力旋鈕調(diào)節(jié)，壓力值刻度顯示，并自動(dòng)復(fù)位3.16.6制刀臺抽屜式設(shè)計(jì)，方便取刀，無需其他工具*3.16.7兼容玻璃條規(guī)格：6.4 mm，8 mm，10 mm3.16.8高度重復(fù)性，制作出高品質(zhì)玻璃刀4.系統(tǒng)附屬配件與支持4.1電鏡控制計(jì)算機(jī)最低配置要求：進(jìn)口品牌工作站/Intel i7 3.4GHz

16、CPU/Intel Q77 主板/ 內(nèi)存16G/21000G STA II HDD/1GB GDDR5獨(dú)立的專業(yè)圖形顯卡/DVD刻錄機(jī)/，2個(gè)24寸顯示器/Win7 64位操作系統(tǒng)。4.2配置抗環(huán)境干擾的儀器抗干擾罩，增加穩(wěn)定性。4.3 配置Times Top 12KVA不間斷電源一個(gè)，延時(shí)兩個(gè)小時(shí)。4.5 配備冷阱系統(tǒng)，容量不小于8L4.6 配置標(biāo)準(zhǔn)銅網(wǎng)、標(biāo)準(zhǔn)碳膜各100個(gè)4.7 配置配用場發(fā)射燈絲一套4.8 配置透射電鏡專用工具一套4.9配置壁掛式空調(diào)一部，功率不小于2.0匹，配置立柜式空調(diào)一部，功率不小于3.0匹4.10打印機(jī)一臺：黑白激光打印機(jī) ，接口：高速USB2.0 端口，黑白激光

17、打?。淮蛴∷俣龋簶?biāo)準(zhǔn)A4 高達(dá)14ppm；黑白打印分辨率：600600dpi;月打印負(fù)荷：500 頁；電源電壓：110-240 伏特；產(chǎn)品尺寸：370242209mm；幅面尺寸：A45. 技術(shù)文件及相關(guān)業(yè)績要求5.1包裝箱應(yīng)用新的堅(jiān)固的經(jīng)過熏蒸后的木箱或鐵皮箱，能防潮、防銹、防震、防粗暴裝卸，適于整體吊裝，適于長途運(yùn)輸或轉(zhuǎn)卸裝運(yùn)；投標(biāo)人應(yīng)提供儀器主體及主要附件的詳細(xì)的操作、安裝及調(diào)整說明書；5.2合同簽訂后提供設(shè)備的預(yù)安裝要求說明；5.3 合同簽訂后提供電子版說明書；5.4隨機(jī)提供完整的產(chǎn)品驗(yàn)收說明書；5.5 設(shè)備應(yīng)具有內(nèi)嵌式的Help文件，對各操作以及功能具有詳細(xì)的介紹。通過help文件的超

18、鏈接，可直接控制電鏡的操作；5.6要求所投的產(chǎn)品系列在未來5-10年內(nèi)不會(huì)停產(chǎn)，最近2年在國內(nèi)的業(yè)績合同不少于8份。（提供廠商承諾書和合同復(fù)印件，加蓋公章）。6. 電鏡場地的改造要求6.1 按照廠商設(shè)備對場地測試的報(bào)告數(shù)據(jù)進(jìn)行場地改造，改造部分應(yīng)包含：磁屏蔽六面體結(jié)構(gòu)及其焊接、獨(dú)立地線系統(tǒng)、照明及動(dòng)力系統(tǒng)、消聲系統(tǒng)、房間裝潢等；6.2使用導(dǎo)磁材料制作的屏蔽體來提供磁旁路，降低屏蔽體內(nèi)部的磁通密度。同時(shí)盡量增大渦流損耗，使一部分能量轉(zhuǎn)化為熱能消耗掉；6.3要求至少以外界AC磁場為1mGauss作為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)值，設(shè)計(jì)保證在環(huán)境磁場增大至1mGauss的情況下，將磁場干擾降至0.3mGauss及以下；

19、6.4 房間的改造面積：不小于5000mm4000mm3200mm（必要時(shí)對原房間做隔斷處理），室內(nèi)凈高不小于2800mm，設(shè)備門洞凈尺寸不小于1500mm2400mm；6.5磁屏蔽室門：尺寸（凈）為1500mm2400mm80mm；磁屏蔽門厚度不小于80mm，磁屏蔽門采用內(nèi)嵌套鎖邊工藝，滿足磁屏蔽的技術(shù)要求。門板及門框均采用符合磁屏蔽要求的內(nèi)嵌工藝，在滿足磁屏蔽指標(biāo)的條件下，門板及門框盡可能做得與現(xiàn)場周邊環(huán)境匹配，完全閉合后，各門縫處無明顯漏磁；6.6通風(fēng)波導(dǎo)口：整個(gè)屏蔽室設(shè)有1個(gè)通風(fēng)口(300mm300mm)，在出風(fēng)口上裝有排氣風(fēng)扇，使用排氣風(fēng)扇時(shí)新風(fēng)換氣速度不小于900m3/h，通風(fēng)口按

20、波導(dǎo)口處理。在自然通風(fēng)的條件下，室內(nèi)新風(fēng)換氣量可達(dá)到70m3/h，可滿足兩個(gè)人60m3/h換氣量的衛(wèi)生部頒國家衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。排氣風(fēng)扇與屏蔽殼體為軟連接以免引起振動(dòng)。以波導(dǎo)口形式設(shè)計(jì)的過孔為設(shè)備用電、氣、水及空調(diào)冷媒等提供通道。6.7噪音消除：要求選用質(zhì)量上乘的微孔材料吊頂，內(nèi)襯高效阻燃吸音材料。6.8獨(dú)立地線制作：設(shè)置一個(gè)單獨(dú)的接地回路，阻值不大于2。6.9電源系統(tǒng)設(shè)置：與電鏡工程師實(shí)時(shí)溝通，原則上要求配電箱應(yīng)放置在屏蔽室外側(cè)，即設(shè)備準(zhǔn)備間內(nèi)。且所有動(dòng)力、照明線路套優(yōu)質(zhì)pvc管材由屏蔽室外側(cè)沿鋼結(jié)構(gòu)外墻至指定位置，在屏蔽殼體上開孔并以波導(dǎo)口方式處理進(jìn)入屏蔽室。6.10按照電鏡廠商的報(bào)告，設(shè)計(jì)好電源

21、插座及電話線口和以太網(wǎng)線口；準(zhǔn)備間內(nèi)設(shè)開關(guān)箱，自動(dòng)空氣開關(guān)，保證與電鏡完全匹配； 6.11屏蔽室的照明：為使屏蔽室內(nèi)保持簡潔輕松的風(fēng)格，采用內(nèi)嵌式組合日光燈具照明。房間內(nèi)共使用14Wx3格柵燈4盞，以保證房間照明至少達(dá)到500流明；6.12房間內(nèi)空調(diào)位置的設(shè)計(jì)：做好空調(diào)器正常安裝時(shí)所必需的電源插座位置預(yù)留和布置工作，空調(diào)管線路徑的定位等；6.13地面：地瓷磚貼面，要求震動(dòng)少，整潔美觀。地瓷磚貼面用白色填縫劑填縫；6.14墻面：屏蔽室內(nèi)墻飾面采用可裝飾性、耐腐蝕性和安全性都較好的鋁塑板，高效隔音襯里。要求裝飾效果高檔、明快，滿足環(huán)保吸音和安全的各項(xiàng)要求，具有精密儀器實(shí)驗(yàn)室的裝飾效果。墻面板用黑色

22、硅膠勾縫。所有鋼鐵結(jié)構(gòu)部分均刷防銹漆，所以木材結(jié)構(gòu)部分（如有）均刷防火涂料；6.15吊頂：選用帶吸音的微孔鋁合金板吸音頂面，色澤與墻面一致。整個(gè)屏蔽室力求簡潔、明亮、舒適；6.16所有電線、地線走PVC管或軟管，保持電鏡室的整齊有序；6.17屏蔽室設(shè)備安裝平臺與其它地面、墻面等隔離（無硬接觸），與建筑物地平無相對運(yùn)動(dòng)；6.18裝潢充分考慮電鏡室防塵防水的要求，材料選擇用電鏡屏蔽室通行方法處理。6.19從材料選擇、焊接工藝、預(yù)處理等環(huán)節(jié)入手，確保所有設(shè)計(jì)合理。施工符合國家行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，要求工程施工符合國家標(biāo)準(zhǔn)鋼結(jié)構(gòu)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范（GB50205-2001）。6.20 要求場地改造方具有豐富

23、的改造經(jīng)驗(yàn)，在國內(nèi)已做的場發(fā)射透射電鏡場地 不少于15家。6.21改造完成后，應(yīng)使用廠商認(rèn)可的專門精密測試儀器給予全面的測試 。7.技術(shù)服務(wù)7.1預(yù)安裝：合同正式簽字生效后，賣方負(fù)責(zé)對買方的電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行預(yù)安裝 (主要包括磁場、振動(dòng)測試等)，提供電鏡的安裝要求和用戶需要準(zhǔn)備的安裝條件和物資。賣方工程師費(fèi)用由賣方承擔(dān)。7.1.2安裝與調(diào)試：儀器到達(dá)用戶所在地后，根據(jù)買方的通知，賣方在2周內(nèi)安排儀器的安裝調(diào)試，直至達(dá)到驗(yàn)收指標(biāo)。儀器的安裝調(diào)試應(yīng)在于15個(gè)工作日內(nèi)完成。7.2 技術(shù)培訓(xùn)：賣方設(shè)備安裝調(diào)試完成后，賣方應(yīng)對用戶技術(shù)人員進(jìn)行調(diào)試、操作、儀器維護(hù)、故障排除等方面的現(xiàn)場培訓(xùn)，時(shí)間不少于5個(gè)工作

24、日。要求廠商在中國有自己專門的透射應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室和培訓(xùn)中心，方便做樣比對和無縫式應(yīng)用培訓(xùn)。7.3 服務(wù)：要求供貨廠家在中國至少設(shè)立5家以上的固定維修站，并配備專業(yè)維修工程師，能提供及時(shí)有效的售后服務(wù)。7.4保修期：賣方對透射電鏡主機(jī)系統(tǒng)提供三年保修服務(wù)。保修期從儀器驗(yàn)收合格、雙方簽署驗(yàn)收報(bào)告之日算起。保修期內(nèi)，儀器的零配件費(fèi)用、人工費(fèi)用、差旅費(fèi)用 (耗材除外) 均由賣方承擔(dān)。因使用環(huán)境及人為因素造成設(shè)備損壞不在保修范圍之內(nèi)。保修期后，廠商應(yīng)保證終身供應(yīng)零備件和正常的售后服務(wù)。7.5維修響應(yīng)時(shí)間：賣方承諾在48小時(shí)內(nèi)對用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng)。如需現(xiàn)場解決問題，在5個(gè)工作日內(nèi)到達(dá)儀器現(xiàn)場。重大問題或其

25、他無法迅速解決的問題應(yīng)在兩周內(nèi)提出明確解決方案。7.6 軟、硬件升級：儀器在保修期內(nèi)，或保修期外，賣方應(yīng)免費(fèi)向用戶提供儀器軟件升級服務(wù)，與之相關(guān)的硬件升級收取成本費(fèi)。8. 訂貨數(shù)量：1套9. 目的地：客戶指定地點(diǎn)10. 交貨時(shí)間：合同生效后8個(gè)月內(nèi)1原子力顯微鏡序號設(shè)備名稱技術(shù)要求數(shù)量1原子力顯微鏡(AFM)1.工作模式1.1輕敲模式帶有Q-control控制技術(shù) 1.2接觸模式 1.3定量相位成像模式 1.4橫向力模式 1.5磁場力顯微鏡 1.6壓電力顯微鏡(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode), 一次測量能夠同時(shí)得到CAFM信號。1.7掃描開

26、爾文顯微鏡(Kelvin probe force microscopy )1.8靜電力顯微鏡(EFM) 1.9 表面電勢顯微術(shù)(Surface Potential Microscopy) 1.10動(dòng)態(tài)和靜態(tài)力曲線測試（Force curve） 1.11力陣列測量(Force Volume Measurement) 1.12納米刻蝕1.13納米操縱1.14高次諧波成像模式（Dual AC Mode）1.15 雙頻共振追蹤壓電模式（Dual frequency resonance trackingPFM）1.16 導(dǎo)電AFM (ORCA), 一次測量同時(shí)完成PFM和電流/電壓測試2. 掃描器2.1

27、掃描器須為三軸分離的平板式掃描器，三個(gè)軸分別由三根獨(dú)立的壓電陶瓷管驅(qū)動(dòng)，并通過使用繞性構(gòu)件保證三軸運(yùn)動(dòng)方向正交。2.2 XY掃描器范圍90m90m；Z軸掃描器范圍可達(dá)15m（可升級為40m）。2.3三個(gè)掃描軸上都帶有獨(dú)立的閉環(huán)傳感器，XY軸閉環(huán)傳感器噪音小于150pm，Z軸閉環(huán)傳感器噪音小于35pm；2.4 保證高分辨率測試，控制最低噪音水平，掃描過程中探針在僅在Z方向運(yùn)動(dòng)，掃描器驅(qū)動(dòng)樣品在X,Y方向運(yùn)動(dòng)。探針、探針支架、激光反饋裝置保持相對靜止，不接受XY方向采用掃描探針的方式；2.5 最大樣品尺寸不小于75X75mm，最大樣品厚度不小于10mm;2.6 配備聲音警報(bào)反饋系統(tǒng)，保證快速下針且

28、不會(huì)碰斷針尖；3. 檢測系統(tǒng)3.1光電探測器采集帶寬7MHz，光學(xué)系統(tǒng)噪音(探針未接觸樣品表面) 10pm (Adev,0.1Hz到1KHz帶寬)3.2 系統(tǒng)高度噪音：系統(tǒng)高度噪音(探針接觸樣品表面)20pm（Adev,0.1Hz到1KHz帶寬）；4. 控制器系統(tǒng)4.1不少于三個(gè)鎖相放大器：2個(gè)為工作在20MHz的雙頻率數(shù)字積分鎖相放大器，1個(gè)為工作在5MHz的雙頻率數(shù)字積分鎖相放大器；4.2兩個(gè)輸出頻率在40MHz的雙頻率頻率合成器，頻率范圍從直流到最大15MHz（9mHz步長）；4.3一個(gè)輸出頻率在10MHz的雙頻率頻率合成器，頻率范圍從直流到最大 2MHz（2mHz步長）。4.4 CrossPointTM 信號交換芯片：一個(gè)32 32路數(shù)字化信號交換芯片，一個(gè)16 16路數(shù)字化信號交換芯片。現(xiàn)場可編輯門電路（FPGA）。4.5 數(shù)字調(diào)Q范圍：2KHz-20MHz5. 操作軟件5.1掃描過程中能實(shí)時(shí)輸出樣品的三