主動減振器的結(jié)構(gòu)技術(shù)研究進(jìn)展

主動減振器的結(jié)構(gòu)技術(shù)研究進(jìn)展

主動振動檢測器為精密設(shè)備提供了一個非常安靜的內(nèi)部環(huán)境。主動振動技術(shù)是我國的一項(xiàng)重要技術(shù)：電路制造、精確測量、醫(yī)療檢測等設(shè)備的技術(shù)支持[1.3]。精密設(shè)備的精度和分辨率等指標(biāo)受限于外部環(huán)境振動,而減振器的性能則直接決定了其振動的等級。相比被動減振器,主動減振器在維持優(yōu)異的中高頻隔振性能的同時,還能較好的衰減固有頻率處的結(jié)構(gòu)共振。由于主動減振器兼具較好的位置穩(wěn)定性和隔振性能,廣泛應(yīng)用在以IC光刻機(jī)為代表的集成電路制造領(lǐng)域,以AFM、SEM/TEM等為代表的精密測量領(lǐng)域,以精密車床等為代表的精密加工領(lǐng)域,以核磁共振成像儀MRI等為代表的醫(yī)療設(shè)備,以太陽能面板驅(qū)動裝置、太空望遠(yuǎn)鏡等為代表的航空航天領(lǐng)域等。圍繞改善主動減振器的穩(wěn)定性和減振性能,國外研究單位和廠商針做了大量的研究。主動減振器生產(chǎn)商包括德國的IDE公司和Halcyonics公司、日本的特許公司和明立精機(jī)公司、美國的TMC公司和KineticSystems公司等。世界三大投影光刻機(jī)制造商:ASML公司、Nikon公司和Canon公司,提出了大量新型結(jié)構(gòu)的軟式主動減振器,并深入研究了其控制方法[1,10,11,12,13,14]。針對軟式主動器的輸入擾動和結(jié)構(gòu)的不確定性,荷蘭的Eindhoven大學(xué)基于IDE公司的TCN型減振器,研究了軟式主動減振器的線性時變控制和魯棒控制技術(shù)[15~17]。荷蘭Twente大學(xué)設(shè)計了用于光刻機(jī)的投影物鏡隔振的SmartDisc硬式減振系統(tǒng),以及用于光刻機(jī)內(nèi)部測量框架減振的SmartMount硬式減振系統(tǒng)[18~20]。日本Saitama大學(xué)基于低剛度的正負(fù)剛度串聯(lián)結(jié)構(gòu),設(shè)計了理論上無窮大剛度磁浮硬式減振器[21~23]。美國的MIT大學(xué)等在重力波探測中,深入研究了主動減振技術(shù)以衰減地基振動噪聲[24~27]。另外還有東京工業(yè)大學(xué)、南安普頓大學(xué)等單位圍繞主動減振控制技術(shù)作了大量的研究。目前國內(nèi)還沒有發(fā)現(xiàn)國產(chǎn)的主動減振器產(chǎn)品在市場上銷售,國內(nèi)許多高校研究單位對主動減振器的結(jié)構(gòu)和控制等關(guān)鍵技術(shù)做了大量研究。華中科技大學(xué)提出了多種主動減振器新構(gòu)型,研究了軟式減振器的自適應(yīng)前饋和反饋控制算法[28~34]。哈爾濱工業(yè)大學(xué)研究了大型重載隔振基礎(chǔ)的速度反饋控制技術(shù)。中南大學(xué)研究了用于掃描投影光刻機(jī)的硬式減振器的主動控制技術(shù)。上海交通大學(xué)、浙江大學(xué)等單位也對主動控制技術(shù)做了一定的研究。1主動減振器主要技術(shù)難點(diǎn)減振器按工作原理可分為主動減振器、被動減振器和半主動減振器。圖1為主動減振器的結(jié)構(gòu)原理圖,通過驅(qū)動執(zhí)行器,衰減地基傳遞到負(fù)載的振動,主動補(bǔ)償作用在負(fù)載上的直接擾動力,以維持負(fù)載的絕對穩(wěn)定性。主動減振器的關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)包括:固有頻率(naturalfrequency)、振動傳遞率(vibrationtransmissibility)、響應(yīng)時間(settingtime)、調(diào)平精度(levelingaccuracy)等指標(biāo)。其中固有頻率和振動傳遞率主要用于衡量對地基的隔振性能,響應(yīng)時間和調(diào)平精度主要用于衡量抗負(fù)載直接擾動性能。針對不同的應(yīng)用需求,主動減振器主要技術(shù)難點(diǎn)如下:1)高剛性的主動減振器在極大衰減負(fù)載擾動和結(jié)構(gòu)模態(tài)振動的同時,具備優(yōu)異的地基隔振性能;2)低剛性的主動減振器在隔離地基低頻振動同時,能維持較好的位置穩(wěn)定性;3)針對特定類型的主動減振器,設(shè)計強(qiáng)魯棒性的控制方法,能同時保證負(fù)載的位置穩(wěn)定性和隔振性能。主動減振器按固有頻率的大小差異可分為硬式減振器和軟式減振器。Dijk指出軟式主動減振器的支撐共振頻率小于1Hz,而硬式減振器的支撐共振頻率在10Hz~20Hz之間。Poel按固有頻率大小對軟式減振器和硬式減振器作了嚴(yán)格區(qū)分,認(rèn)為固有頻率大于等于5Hz為硬式減振器,而固有頻率小于5Hz為軟式減振器。硬式主動減振器和軟式主動減振器都采用絕對速度反饋控制用于增大系統(tǒng)的天棚阻尼,消除共振,但是兩者的隔振性能和抗負(fù)載擾動性能差異較大。硬式主動減振器剛度較大,抗直接擾動力性能較強(qiáng),但是由地基傳遞到負(fù)載的1Hz~10Hz的低頻振動也越大。硬式主動減振器能用于衰減中高頻的結(jié)構(gòu)模態(tài)振動及負(fù)載平臺的直接擾動。硬式減振器的典型生產(chǎn)商為TMC公司,代表性產(chǎn)品為STA-CIS系列減振器。軟式主動減振器的隔振性能更為優(yōu)異,能隔離低于1Hz低頻地基振動,但是其抗直接擾動能力稍弱。軟式主動減振器能應(yīng)用于對振動要求最為嚴(yán)格高端光刻機(jī),以及精密測量設(shè)備等場合。軟式減振器的主流生產(chǎn)商包括IDE公司、特許公司和明立精機(jī)公司等。2壓縮支撐、撐硬式減振器按負(fù)載的支撐形式分為懸掛支撐和壓縮支撐;按單個減振器隔振自由度的多少分為單自由度和多自由度。以下按照硬式減振器隔振自由度的多少進(jìn)行分別描述。2.1單自由度主動減振器st4采用3個或3個以上的單自由度減振器,按照一定的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)并聯(lián),可構(gòu)成Stewart減振平臺,從而實(shí)現(xiàn)對負(fù)載的3自由度或多自由度的主動減振。每個單自由度減振器一般包括柔性鉸鏈、傳感器、制動器。Hanieh設(shè)計了立方Stewart硬式隔振平臺,包括柔性鉸鏈、力傳感器和壓電陶瓷致動器,其構(gòu)造如圖2所示。該Stewart平臺能用于光學(xué)鏡頭、望遠(yuǎn)鏡等的精密定位,也能用于衰減負(fù)載的結(jié)構(gòu)振動。CSA公司、PI公司和IAI公司等也有類似Stewart平臺。2.2硬式主動減振器reastortepterficienBeard等人最早提出了一種三自由度隔振的硬式減振器結(jié)構(gòu),其動力學(xué)原理如圖3所示。該減振器采用被動元件和主動元件串聯(lián)而成,兩者的剛度都較大,從而硬式減振器的固有頻率為20Hz左右。中間質(zhì)量塊Mi質(zhì)量較小,用于消除主動控制環(huán)路和地基的模態(tài)耦合。Schubert等人也在1994年和1997年申請了此類硬式隔振系統(tǒng)的專利,其結(jié)構(gòu)原理如圖4所示。該硬式主動減振器的被動元件為大阻尼的橡膠結(jié)構(gòu),支撐在中間質(zhì)量塊和負(fù)載之間,結(jié)構(gòu)頻率為20Hz左右。中間質(zhì)量塊約為5kg,在其上布置有3個相互正交的地音傳感器,測量中間質(zhì)量塊的振動。在中間質(zhì)量塊和基座之間布置有3個壓電陶瓷制動器,用于衰減地音傳感器所測量的振動。由于整個減振器的剛性較強(qiáng),抗直接擾動能力較強(qiáng)。TMC公司的STACIS系列減振器就是基于該原理設(shè)計。荷蘭Twente大學(xué)的Nijsse等提出了兩自由度的硬式主動減振器結(jié)構(gòu),如圖5所示。每一個硬式減振的包括成正交方向布置的壓電陶瓷致動器,壓電陶瓷致動器的兩端分別安裝有兩個加速度傳感器,用于測量擾動源和基座的振動。柔性鉸鏈的沿著軸線方向剛性較強(qiáng),而垂直于軸線方向剛性較小,用于解耦。沿著軸線的結(jié)構(gòu)固有頻率達(dá)200Hz,該減振器可隔離大于150Hz的高頻擾動力。采用3組硬式減振器可以實(shí)現(xiàn)六自由度的隔振,能應(yīng)用于MRI掃描儀。Holterman等人提出了兩自由度的主動減振器(SmartDisc)結(jié)構(gòu)。其特點(diǎn)是抗剪切元件和主動隔振元件串聯(lián),壓力傳感器和壓電陶瓷致動器串聯(lián)構(gòu)成主動隔振元件。主動控制3個所設(shè)計的硬式主動減振器可用于衰減光刻機(jī)投影物鏡的結(jié)構(gòu)模態(tài)振動。日本Saitama大學(xué)提出采用正負(fù)剛度串聯(lián)的硬式減振器的構(gòu)造形式。采用低剛度的正剛度彈簧和負(fù)剛度的磁浮結(jié)構(gòu)理論上可實(shí)現(xiàn)無窮大剛度?？傊?硬式主動減振器具有結(jié)構(gòu)剛度高,頻率響應(yīng)帶寬大、位置穩(wěn)定性好的優(yōu)點(diǎn),主要用于衰減負(fù)載擾動造成的振動,但其對地基的隔振性能稍弱。3抗振性好的地基振動主動減振器軟式主動減振器采用低剛度的被動隔振單元支撐負(fù)載,以實(shí)現(xiàn)對地基振動優(yōu)異的隔振性能。軟式主動減振器一般采用主動元件和低剛度被動隔振元件并聯(lián)而成。按隔振自由度的多少可將軟式主動減振器分為單自由度型和多自由度型。3.1軟式減振器多個單自由度軟式主動減振器按一定的拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)并聯(lián)構(gòu)成軟式Stewart隔振平臺,一般用于隔離微重力環(huán)境的振動。Preumont等人提出了一種軟式減振器,其結(jié)構(gòu)如圖6所示。其結(jié)構(gòu)一般包括柔性接頭、力傳感器、音圈電機(jī)、低剛度支撐單元,能實(shí)現(xiàn)有效隔振帶寬達(dá)5Hz到400Hz,并且,50Hz到200Hz帶寬內(nèi)的振動衰減率達(dá)-40dB。所設(shè)計的隔振平臺應(yīng)用于太空環(huán)境下的太陽能面板驅(qū)動裝置和低溫制冷機(jī)等的隔振。國內(nèi)的哈爾濱工業(yè)大學(xué)等也有類似的Stewart平臺,用于隔離運(yùn)載火箭到衛(wèi)星的振動。3.2被動隔振單元剛度多自由度的軟式主動減振器一般用于構(gòu)成重力環(huán)境下的主動隔振平臺。軟式減振器主要通過降低減振器被動隔振單元剛度來實(shí)現(xiàn)超低頻隔振。減振器中的被動隔振單元構(gòu)造形式多樣,如鋼彈簧、歐拉壓桿、柔性鉸鏈、擺、空氣彈簧等結(jié)構(gòu),都能實(shí)現(xiàn)極低的結(jié)構(gòu)支撐剛度。在軟式主動減振器中,根據(jù)被動隔振單元對負(fù)載重力支撐方式的不同,可劃分為3種形式為空氣彈簧、磁浮彈簧和接觸式支撐結(jié)構(gòu)。3.2.1空氣彈簧的垂向剛度空氣彈簧具有大負(fù)載,超低頻的隔振能力,并且具有一定的位置調(diào)整功能,廣泛用于軟式減振器的垂向負(fù)載支撐和隔振。在微小位移下,采用空氣彈簧支撐負(fù)載質(zhì)量為M的負(fù)載,則其垂向剛度為式中:P0為大氣壓力;κ為絕熱指數(shù);A為空氣彈簧的有效支撐面積;V為空氣彈簧的氣室容積。從公式(1)可看出,要減小軟式減振器空氣彈簧的垂向剛度Ka,最直接的方法是增大氣室的容積V。軟式減振器水平向隔振結(jié)構(gòu)設(shè)計則具有多樣性,典型的結(jié)構(gòu)包括空氣彈簧、擺機(jī)構(gòu)、滾珠軸承、氣浮軸承和正負(fù)剛度并聯(lián)機(jī)構(gòu)等。1主動控制裝置早期的軟式主動減振器在水平向采用空氣彈簧隔振,如圖7所示。其垂向采用一個雙腔室空氣彈簧隔振,水平向采用兩個雙腔室空氣彈簧支撐隔振,其中一個用于被動支撐隔振,一個用于主動控制。支撐柱由橡膠片和金屬片層疊而成,以確保足夠的剛度和一定的阻尼。加速度傳感器和速度傳感器分別測量負(fù)載的垂向和水平向的絕對加速度和相對位置,用于反饋控制電磁閥,實(shí)現(xiàn)主動減振。這種主動減振器構(gòu)造形式簡單,垂向空氣彈簧和水平向空氣彈簧可以用于低剛度被動支撐元件,同時也用作氣動執(zhí)行器,實(shí)現(xiàn)主動減振。但是采用空氣彈簧支撐要實(shí)現(xiàn)低剛度,則減振器的體積非常大。另外采用空氣彈簧作為氣動控制執(zhí)行器具有響應(yīng)速度慢,控制精度低,氣動帶寬小的缺點(diǎn)。佳能公司用于光刻機(jī)的主動減振器也有類似的結(jié)構(gòu)。2擺機(jī)構(gòu)主動減振器Johannes等人提出了一種水平向采用擺機(jī)構(gòu)隔振的軟式主動減振器,其結(jié)構(gòu)如圖8所示。該減振器擺機(jī)構(gòu)采用3根對稱布置的柔性桿將負(fù)載懸吊在空氣彈簧的活塞上,3根柔性桿在垂向具有高剛度,而水平向具有低剛度。同時,采用地音傳感器測量負(fù)載的水平向和垂向的絕對速度,反饋控制水平向和垂向的音圈電機(jī),用于增加系統(tǒng)的天棚阻尼(sky-hookdamping)。位置傳感器測量負(fù)載相對地基的在水平向和垂向的相對位置,反饋控制垂向空氣彈簧和水平向音圈電機(jī),用于維持減振系統(tǒng)的相對位置穩(wěn)定性。主動減振器采用擺機(jī)構(gòu)隔振具有體積小、剛度低的優(yōu)點(diǎn),同時采用音圈電機(jī)作為主動減振執(zhí)行器具有直接驅(qū)動、結(jié)構(gòu)簡單;低噪聲、低振動;高加減速,線性推力等優(yōu)點(diǎn)。IDE公司應(yīng)用該結(jié)構(gòu)設(shè)計了TCN系列減振器,其固有頻率為2Hz左右,成功用于ASML公司的PAS5500系列光刻機(jī),MIT大學(xué)研制的激光掃描束干涉光刻機(jī)等場合。Newport公司和TMC公司都有類似基于擺機(jī)構(gòu)水平隔振的減振器?；跀[結(jié)構(gòu)的主動減振器已經(jīng)取得廣泛的應(yīng)用,華中科技大學(xué)對該典型結(jié)構(gòu)減振器原理深入分析,針對該結(jié)構(gòu)阻尼較小的問題提出了改進(jìn)的構(gòu)型,并針對該類型的主動減振器深入研究了負(fù)載擾動力前饋控制算法?；跀[機(jī)構(gòu)的主動減振器的垂向剛度由空氣彈簧決定,水平向剛度由擺機(jī)構(gòu)決定。空氣彈簧的剛度可通過式(1)得出,擺機(jī)構(gòu)的剛度則可通過理論建模的方法得出從式(2)可得出,擺機(jī)構(gòu)的水平向剛度依賴于擺桿的長度L,柔性部分的長度l,以及負(fù)載質(zhì)量M。針對該類型減振器垂向阻尼較小并且不可調(diào)整的問題,陳學(xué)東等人提出了采用節(jié)流閥自動調(diào)節(jié)空氣彈簧的結(jié)構(gòu)阻尼,以及采用可變簧片調(diào)節(jié)垂向阻尼的方案。并且在不增大擺機(jī)構(gòu)桿長情況下,設(shè)計了水平向二自由度的負(fù)剛度結(jié)構(gòu),進(jìn)一步降低減振器的剛度。3滾珠首率回復(fù)力的計算Yasuda等人提出了一種在水平向采用滾珠軸承隔離水平振動的主動減振器,其結(jié)構(gòu)如圖9所示。該主動減振器的活塞和負(fù)載之間設(shè)計了多個滾動單元,這些滾動單元的上下表面為球形,并且具有不同的半徑。地基的水平向振動造成滾動單元的旋轉(zhuǎn),由于上下表面的半徑的不一致將產(chǎn)生回復(fù)力,該回復(fù)力大小與上下兩表面的平均曲率半徑(R和r)及上下兩表面曲率中心的距離H相關(guān)。滾動單元的水平向的固有頻率為從公式(3)可看出,滾動單元在水平向的固有頻率與負(fù)載無關(guān),并且通過合理設(shè)計滾珠的長度H和上下表面半徑,可以在很小的體積下,實(shí)現(xiàn)極低的水平固有頻率?；谠摷夹g(shù),特許公司設(shè)計了其獨(dú)有的α系列主動減振器,廣泛用于光刻機(jī)和精密測量設(shè)備等。4空氣彈簧式力學(xué)性能水平向采用氣浮軸承隔振,理論上具有接近于0的剛度。基于該原理,ASML公司和Nikon公司設(shè)計了應(yīng)用于光刻機(jī)的主動減振器構(gòu)型。Erik等人提出了水平向采用氣浮軸承隔振的軟式主動減振器,其結(jié)構(gòu)如圖10所示。該減振器采用止推氣浮軸承將地基和負(fù)載在水平向完全隔離開,理論上其水平向剛度近似為0?？諝鈴椈傻幕钊捎昧藦较驓飧?dǎo)向,從而消除常規(guī)采用膜結(jié)構(gòu)導(dǎo)向所帶來的摩擦力影響。支撐塊上部為圓弧形,用于旋轉(zhuǎn)運(yùn)動解耦。在空氣彈簧外接一個氣室,從而可按公式(1)實(shí)現(xiàn)接近于零的垂向剛度。采用該方案的主動減振器在水平向和垂向的剛度都趨于零,能實(shí)現(xiàn)超低頻地基振動隔離,但是該減振器需要向外界排放大量氣體,并且由于其剛度極低,對負(fù)載擾動非常敏感,必須要施加主動控制才能使系統(tǒng)穩(wěn)定,增大了系統(tǒng)裝調(diào)的難度?；谒较驓飧≥S承的主動減振結(jié)構(gòu),IDE公司設(shè)計了ATC系列主動減振器,其固有頻率低于0.5Hz,能用于對振動要求極高的高端光刻機(jī),如ASML公司的TWINSCAN1950i光刻機(jī)。5負(fù)剛度串聯(lián)串聯(lián)振動減振器正負(fù)剛度并聯(lián)技術(shù)由于其體積較小,能實(shí)現(xiàn)極低的結(jié)構(gòu)剛度,廣泛用于被動減振器。Heiland在軟式主動減振器中采用正負(fù)剛度并聯(lián)技術(shù),以降低結(jié)構(gòu)剛度,其結(jié)構(gòu)如圖11所示。金屬波紋管在水平向具有極大的剛度,在垂向具有極低的剛度,并且在垂直于重力方向能自由扭轉(zhuǎn)。這樣,柔性鉸鏈和金屬波紋管在負(fù)載重力作用下,形成了在水平方向?yàn)樨?fù)剛度的倒立擺結(jié)構(gòu)。在水平兩個正交方向,設(shè)計了正剛度的片簧結(jié)構(gòu),與倒立擺的負(fù)剛度并聯(lián),從而實(shí)現(xiàn)了接近于0的剛度。在垂向,可以通過增大附加氣室的容積從而降低減振器的垂向剛度,或者在負(fù)載和地基之間增加圖12所示的基于磁鐵的負(fù)剛度結(jié)構(gòu),部分抵消空氣彈簧的正剛度,從而實(shí)現(xiàn)垂向極低的剛度。IDE公司基于該專利技術(shù),設(shè)計了NGI系列減振器,可以廣泛用于真空環(huán)境的電子束光刻機(jī)(EPL)、EUV光刻機(jī)。在軟式主動減振器中由于使用了正負(fù)剛度并聯(lián)技術(shù),在一定程度上增大了減振器結(jié)構(gòu)的設(shè)計及安裝調(diào)試的復(fù)雜性,同時也具有如下的技術(shù)優(yōu)點(diǎn):1)由于不需要安裝降低剛度的大氣罐,主動減振器的體積大減小;2)減振器的固有頻率能降低到0.5Hz以下;3)無需向外界排放氣體,可用于真空環(huán)境。3.2.2磁浮主動減振器結(jié)構(gòu)設(shè)計主動減振器采用磁浮彈簧來支撐負(fù)載重力具有氣浮的無摩擦、靜態(tài)位置可調(diào)等優(yōu)點(diǎn),還具備氣浮支撐所沒有優(yōu)點(diǎn)如下:1)其應(yīng)用對環(huán)境要求低,不需外界提供氣源,也不會向環(huán)境排放空氣;2)能量損耗極小;3)采用直線電機(jī)作為主動元件具有高效率。由于磁浮減振器的諸多優(yōu)點(diǎn),許多學(xué)者作了大量的研究。Robertson設(shè)計了基于正負(fù)剛度并聯(lián)的磁浮結(jié)構(gòu),研究了零剛度的磁浮主動減振器結(jié)構(gòu)設(shè)計和控制技術(shù)。圖13所示為Robertson設(shè)計單自由度磁浮實(shí)驗(yàn)平臺,正剛度機(jī)構(gòu)基于磁鐵同極相斥的原理,負(fù)剛度機(jī)構(gòu)基于正負(fù)磁極相吸的原理,正負(fù)剛度并聯(lián)就形成了剛度近似等于零的磁浮彈簧。在單自由度平臺基礎(chǔ)上,Robertson設(shè)計了用于大負(fù)載的磁浮彈簧原型,如圖14所示。基于磁浮彈簧的主動減振器具有效率高、能耗低、對環(huán)境的依賴小的優(yōu)點(diǎn),但是磁浮自身存在較強(qiáng)的非線性,增大了結(jié)構(gòu)參數(shù)設(shè)計和控制器設(shè)計的難度,另外,磁浮應(yīng)用在大負(fù)載情況下有一定的難度。由于這些問題還沒有很好的解決,目前還沒有可商用的基于磁浮彈簧的主動減振器。3.2.3懸臂彈簧控制負(fù)載優(yōu)化低剛度的接觸式支撐結(jié)構(gòu)包括鋼彈簧、歐拉壓桿和橡膠等廣泛應(yīng)用于被動減振器,而在主動減振器中應(yīng)用較少。Halcyonics公司的小型主動減振器中,應(yīng)用了接觸式支撐結(jié)構(gòu),具有六自由度減振功能。該技術(shù)應(yīng)用于Halcyonics公司Micro系列減振器中,隔振帶寬為0.6Hz到200Hz,但是只能應(yīng)用于負(fù)載質(zhì)量小于100kg的場合,并且需要根據(jù)負(fù)載質(zhì)量大小手動調(diào)整減振器的靜態(tài)位置。用于重力波探測的主動減振系統(tǒng)應(yīng)用了懸臂彈簧支撐負(fù)載重力。接觸式支撐結(jié)構(gòu)對環(huán)境的依賴較小,設(shè)計成熟,但是其無法自動調(diào)整負(fù)載的靜態(tài)位置,限制了其在主動減振器中的應(yīng)用。綜上所述,軟式主動減振器具有剛度小、支撐負(fù)載大的優(yōu)點(diǎn),能隔離極低頻率的地基振動,同時應(yīng)用主動控制后,能具有較強(qiáng)的抗直接擾動性能,應(yīng)用最為廣泛。目前主流的商用軟式主動減振器基本采用空氣彈簧構(gòu)造,基于磁浮彈簧的減振器還處在研究階段。4結(jié)構(gòu)剛度方面的研究主動減振器技術(shù)經(jīng)歷了數(shù)十年的發(fā)展,已經(jīng)在高端掃描投影光刻機(jī)中得到了應(yīng)用。隨著精密設(shè)備的精度進(jìn)一步提升,以及減振器自身受環(huán)境和機(jī)械體積的約束制約,主動減振器技術(shù)的發(fā)展面臨極大的挑戰(zhàn):1)硬式主動減振器的被動支撐單元采用橡膠結(jié)構(gòu)、磁浮結(jié)構(gòu)等