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文檔簡介

1、空氣潔凈度等級標準及規(guī)范空氣潔凈標準和規(guī)范在經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的標準,都規(guī)定了有關(guān)的潔凈度等級。例如:美國、日本、西歐、北歐、俄羅斯等。我國于1984年頒布潔凈廠房設(shè)計規(guī)范(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進行較大的修改,1990年頒布潔凈室施工及驗收 規(guī)范(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。目前,該規(guī)范在重新修訂中。GBJ73-84規(guī)定的潔凈度等級等級每立方米(升)空氣中0.5 ym塵粒數(shù)每立方米(升)空氣中5ym塵粒數(shù)10035*100 3.5 100035*1000 35 250 0.25 1000035*10000 350 2500 2.5 100000

2、35*100000 350025000 25ISO 1644國際標準中潔凈室或潔凈區(qū)選用的空氣懸浮粒子潔凈度等級等于或大于相應(yīng)粒徑的最大允許濃度(粒/mISO1644的ISO5相當于Fed.St.209系列的100級( 0.5 誰子, 3嗽/升,或100顆 /ft3,或 3530 顆/m3) 潔凈度等級在100級以下者(1000, 10000級等)通常用0.5 yn粒徑考核的居多; 隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,潔凈度等級相應(yīng)提高,潔凈室檢測粒徑也越來越?。ㄒ姳恚瑢αW訖z測儀器的要求當然也越來越高,對潔凈室設(shè)計和施工方而言,在驗收時,可能不止用一個粒徑(如 0.5卩訕而要用到更多的粒徑,如 0.3卩

3、m 0.2 甚至0.1)0.1 ym0.2 ym0.3 ym0.5 ym1 ym5 ymSO1102SO210024104SO31000237102358SO4100002365101835283SO51000002365110176351783229SO61000000236514101763351688318293SO7351676831762925SO8351675783176429251SO93516757283176382925111,潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)空氣懸浮粒子潔凈等級還有著名的美國聯(lián)邦標準(Fed.St.209系列)可以參考;空氣潔凈度空氣潔凈度1 空氣潔凈度和級別空氣潔凈度是潔

4、凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。 通??諝庵泻瑝m濃度 低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來劃分 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級, 就是以每立方米空氣中的最大允許粒 子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級。潔凈度標準的制定以前有關(guān)國家都各自制定自己的標準,但基本上都是參照美國標準FS-209的各版進行,僅單位制及命名方法有所變換或改變。在命名上基本可分為兩類:一是以單位體積空氣中大于等于規(guī)定粒徑的粒子個數(shù)直接命名或以符號命名,這種命名方法以美國FS-209AE版為代表,其規(guī)定粒徑為0.5卩珂以空氣 中0.5卩粒徑的粒子濃度采用英制 pc/ft3直接命名,如標準中的1

5、00級,表示 空氣中0.5 yn粒徑的粒子濃度為100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空氣中 0.5卩粒徑的粒子數(shù)量為100個,(我們平時使用的是國際單位,即通常所指 的是每立方米的空氣中所含 0.5卩粒徑的粒子數(shù)量,因為1立方米35.2立方英 尺,所以我們看到標準中100級對應(yīng)0.5卩1粒徑的粒子數(shù)量不是100個,而是 3520個,就是這個道理)。二是以單位體積空氣中大于等于規(guī)定粒徑的粒子個數(shù)以10n表示,按指數(shù)n命名空氣潔凈度的等級,這種命名方法以日本JISB9920為代表,其規(guī)定粒徑為0.1 um以空氣中 0.1卩粒徑的粒子濃度(采用國標單位制)10n pc/m3命名為 n級,如該標

6、準2級,其表示0.1卩粒徑的粒子濃度為100 pc/m3,即102pc/m3。 俄羅斯的標準亦基本上采用此種命名方法。現(xiàn)在國際標準ISO14644-1已發(fā)布實施,美國標準FS-2009E亦于2001年11 月宣布停止使用。按國際標準,空氣中懸浮粒子潔凈度等級以序數(shù) N命名,各種被考慮粒徑D 的最大允許濃度Cn可用公式確定:式中:Cn-被考慮粒徑的空氣懸浮粒子最大允許濃度,pc/m3。Cn是以四舍五入相近的整數(shù),通常有效位數(shù)不超過三位數(shù);N-分級序數(shù),數(shù)字不超過 9,分級序數(shù)整數(shù)之間中間數(shù)可以作規(guī)定,N的最小允許增量為0.1;D-被考慮粒徑,ym;0.1-常數(shù),其量綱為ym;2 我國的潔凈室的標

7、準(1)我們國家潔凈室的標準是潔凈廠房設(shè)計規(guī)范(GB50073-2001),標準中規(guī)定的空氣潔凈度等級等同采用國際標準 ISO1466-1中的有關(guān)規(guī)定。潔凈室及 潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級見下表:空氣潔凈度等級表2.0.1等級每立方米(每升)空氣中 0.5微米塵粒數(shù)每立方米(每升)空氣中微米塵粒數(shù)100級 35 X 100(3.5)1000 級 35 X 1000(35) 250(0.25)10000 級 35 X 100(350) 2500(2.5)100000級 35 X 100000(3500) 0.5 gm 5 gm浮游菌個/立方米沉降菌個/皿.30min1003500051100

8、00350,0002,00010031000003,500,00020,0005001030000010,500,00061,800NA15國家藥品監(jiān)督管理局 1999年8月1日發(fā)布實施潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級空氣潔凈度等級(N)大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)0.1 gm0.2 gm0.3 gm0.5 gm1 gm5 gm1L1433584 (十級)352835 (百級)3520832296 (千級)3520083202937 (萬級)3520008320029308 (十萬級)3520000832000293009 (一百萬級)35200000832000029

9、3000國家標準GB50073-2001潔凈度等級標準ISO 14644根據(jù)懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區(qū))及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并且僅考慮粒徑限值(低限)在0.1 ym5.0 m范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群。 根據(jù)粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子(0.1叩5.0 m)、超微粒子(V 0.gm)和宏粒子(5.0 叩)??諝鉂崈舳确旨墭藴剩篒SO14644-1 (國際標準)空氣潔凈度等 級(N)大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)0.1 (im0.2 (im0.3 (im0.5(im1(im5 (imSO Class 1102SO Class 21002410

10、4SO Class 31 000237102358SO Class 410 0002 3701 020352&SO Class 5100 00023 70010 2003 52083229SO Class 61 000 000237 000102 00035 2008 320293SO Class 7352 00083 20C2 930SO Class 83 520 000832 00029 300SO Class 935 200 0008 320 000293 000注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數(shù)字來確定等級水平。空氣潔凈度分級標準:GB/T16292-199

11、6 (中國標準)粒徑、數(shù)值潔凈 度級別塵埃最大允許數(shù)/立方米微生物最大允許數(shù) 0.5 (im 5(im浮游菌/立方米沉降菌/皿100級3,50005110,000 級350,0002,000100V100,000 級3,500,00020,00050010300,000 級10,500,00060,00015美國聯(lián)邦標準 209D潔凈室分級:(已停用)空氣潔凈度等 級(N)大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)0.1(im0.2 (im0.3 (im0.5(im5 (im1357.5311035075301010075030010C1000100C71000010000701000001000070C英國5295標準潔凈室和空氣凈化裝置分級:空氣潔凈度等 級(N)大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個/每立方米空氣粒子)0.3(im0.5(im5(im10 m25 mC100350D10003500E1000035000F35000G100000350002000H350002000J35000020004500K3500000200004500500L200000450005000M45000050000各種國際標準的比較:美國聯(lián)邦美國聯(lián)邦英國標準澳大利亞標 準法國標準德

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